制絨異常工藝排除指南

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1、制絨異常減薄量異常單晶制絨后局部發(fā)白單晶制絨后臟污單晶制絨后手指印單晶制絨后“花籃印”與“水紋印”單晶制絨后“雨點”與制絨時硅片漂浮單晶制絨后表面白斑減薄量異常異常描述原因分析解決方案減薄量偏大1、減薄量稱量錯誤：通常表現(xiàn)為三片減薄量正常，剩下一片明顯偏大,可能為員工在轉(zhuǎn)籃過程中將預(yù)先稱量的硅片弄混。常出現(xiàn)在交接班在制品中確認(rèn)絨面后可以流入擴散工序2、初始配液濃度過大，可能員工為減少制絨時間提升產(chǎn)能而人為的在初始配液時將配液量超過SOP規(guī)定范圍。減少制絨時間3、制絨槽溫度偏高加大冷卻水流量，減少制絨時間4、制絨時間過長減少制絨時間減薄量偏小1、減薄量稱量錯誤：通常表現(xiàn)為三片

2、減薄量正常，剩下一片明顯偏小,可能為員工在轉(zhuǎn)籃過程中將預(yù)先稱量的硅片弄混。常出現(xiàn)在交接班在制品中確認(rèn)絨面后可以流入擴散工序2、制絨槽溫度偏低。如多晶制絨初始配液后由于制絨槽自身沒有加熱裝置，需要靠自身反應(yīng)放熱升溫。1、單晶制絨時請設(shè)備人員維修，待溫度正常后繼續(xù)生產(chǎn)2、多晶制絨時則需要減少冷卻水流量，繼續(xù)生產(chǎn)，靠自身反應(yīng)升溫3、制絨時間過短增加制絨時間4、制絨溶液使用后期溶液失效更換制絨溶液單晶制絨后局部發(fā)白原因分析解決方案1、NaOH與IPA比例失調(diào)：NaOH含量偏低，不能充分進行反應(yīng)1、補加NaOH或者延長制絨時間2、不良品重新制絨，如果發(fā)白區(qū)域可以消除，則可以確認(rèn)為Na

3、OH濃度問題導(dǎo)致2、如果減薄量小于控制范圍，則為制絨時間不足導(dǎo)致延長制絨時間3、硅片自身性質(zhì)決定：通常德國與日本硅片會出現(xiàn)這種難以腐蝕的情況，如millionsea加大初始配液量4、制絨初期制絨溶液未處于最佳工作狀態(tài)繼續(xù)生產(chǎn)，約五籃后會正常5、制絨添加劑或NaOH異常確認(rèn)添加劑/NaOH批號，如果確認(rèn)為添加劑/NaOH問題，則立即換液，使用另一批號添加劑/NaOH，問題化學(xué)試劑待白班工程師確認(rèn)6、制絨溶液不均勻開啟循環(huán)泵，對制絨液進行攪拌圖示：發(fā)白處絨面：很小，類似原始硅片單晶制絨后臟污原因分析解決方案1、貼紙片：目前硅片在離廠包裝中通常用紙片來隔離一定數(shù)量的硅片。與隔離紙

4、片相鄰的硅片可能會因此受到污染。判斷是否為貼紙片的主要依據(jù)是臟污片是否為單面臟污，因為貼紙片全部為單面貼紙。不良片過燒結(jié)爐后重新制絨，如制絨后依舊無法將臟污去除，則流入擴散工序，盡量挑選干凈的一面作為擴散面（制絨次數(shù)過多會導(dǎo)致硅片過薄，后道加工過程中導(dǎo)致碎片）2、來料不良：硅片出廠前的預(yù)清洗不徹底導(dǎo)致有機物附著。遺憾的是在制絨前這種臟污通常難以被發(fā)現(xiàn)。如果發(fā)現(xiàn)則立即請IQC確認(rèn)，此為來料不良；一旦硅片經(jīng)過制絨，IQC是不會承認(rèn)為來料臟污的。圖示單晶制絨后手指印原因分析解決方案1、如果是大量手指印，可能為硅片出廠前人為導(dǎo)致不良片過燒結(jié)爐后重新制絨，如制絨后依舊無法將手指印去除

5、，則流入擴散工序，盡量挑選干凈的一面作為擴散面（制絨次數(shù)過多會導(dǎo)致硅片過薄，后道加工過程中導(dǎo)致碎片）2、IQC在抽測過程中用手觸摸硅片導(dǎo)致，如監(jiān)測電阻率、少子壽命時。通常出現(xiàn)在某批次硅片結(jié)批前，幾百至上千片的IQC檢測片投料后會出現(xiàn)。3、少量和個別手指印通常為制程過程中人為接觸導(dǎo)致圖示單晶制絨后“花籃印”和水紋印原因分析解決方案1、花籃?。褐平q溶液使用后期溶液硅酸鈉濃度偏高，溶液流動性差，硅片兩側(cè)由于被小花籃縫隙遮擋導(dǎo)致制絨不充分。1、及時換液，如果情況嚴(yán)重則提前換液。2、不良片重新制絨2、水紋?。褐平q溶液使用后期溶液硅酸鈉濃度偏高，大花籃在提籃過程中殘留在硅片表面的制絨溶

6、液附著于硅片表面，在緩慢流下來的過程中繼續(xù)與硅片反應(yīng)，生成水紋印。注：在使用新型S929-B添加劑后水紋印現(xiàn)象已經(jīng)基本消失花籃印水紋印單晶制絨后“雨點”與制絨時硅片漂浮原因分析解決方案1、“雨點”：制絨過程中IPA的主要作用除了緩和溶液對硅片的腐蝕外，一個重要的作用就是通過改善硅片表面活化能來促進附著于硅片表面的氫氣氣泡的釋放。如果反應(yīng)溫度過高，IPA可能會大量揮發(fā)，造成小氣泡無法充分釋放，附著于硅片表面的小氣泡會阻止反應(yīng)溶液對硅片的腐蝕，造成類似于“雨點”的發(fā)白區(qū)域1、補加IPA2、輕微“雨點”片在鍍膜時可以被遮擋，但嚴(yán)重不良片必須重新制絨2、硅片漂?。焊街诠杵砻娴男?/p>

7、氣泡無法及時釋放，小氣泡將硅片漂浮。注：目前這種情況已經(jīng)很少見單晶制絨后表面白斑原因分析解決方案1、制絨槽PM維護不達(dá)標(biāo)：制絨槽內(nèi)的雜質(zhì)附著于硅片表面換液，對制絨槽進行徹底維護2、IPA異常：可能為某批次IPA質(zhì)量不合格；或者是不同批次甚至廠家IPA混用換液，使用其他批次IPA進行配液和補液圖示