K+P常見異常處理方法

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1、K+P常見異常處理方法1、刻蝕常見異常及處理方法1.1預(yù)抽抽不下去（預(yù)抽結(jié)束時壓力大于500Pa或預(yù)抽已超過設(shè)定時間卻不進(jìn)行下一步）：可能原因1)刻蝕機蓋子沒有蓋緊；2）機械泵傳動帶松動；3）泵油需要更換；4）管道借口漏氣；5）石英缸破裂。處理方法：通知設(shè)備維修。1.2主抽抽不下去（主抽結(jié)束時壓力大于15Pa）：可能原因及處理方法同1.1。1.3送氣時氣體流量超出允許范圍（CF4流量為210±15sccm，O2流量為21±3sccm），同時可能附帶有報警聲音或報警燈閃爍：可能原因1）質(zhì)量流量計損壞；2）管道堵塞或接口漏

2、氣；3）動力供應(yīng)異常。處理方法：確認(rèn)是否是動力供應(yīng)異常，并通知設(shè)備維修，同時將該組片子在其他刻蝕機重刻。1.4輝光時報警：可能原因1）輝光時功率超出設(shè)定范圍（500W-600W）2）氣體流量超出設(shè)定范圍。處理方法：通知設(shè)備維修，同時將該組片子在其他刻蝕機重刻后附實驗單下傳，追蹤其電池性能（注意在打開刻蝕機蓋前必須抽空反應(yīng)室內(nèi)氣體）。1.5輝光時壓力或功率超出設(shè)定范圍（壓力100±20Pa，功率500W-600W，一般要求不低于550W）:可能原因1）泵油需要更換2）氣體流量未達(dá)到設(shè)定范圍。處理方法：通知設(shè)備維修，同時將

3、該組片子在其他刻蝕機重刻后附實驗單下傳，追蹤其電池性能（注意在打開刻蝕機蓋前必須抽空反應(yīng)室內(nèi)氣體）。1.6刻蝕完畢后不能打開蓋子：可能原因是充氣設(shè)定時間過短導(dǎo)致內(nèi)部壓力太低。處理方法：可手動充氣打開刻蝕機蓋，若多次出現(xiàn)此種情況，可將充氣設(shè)定時間適當(dāng)加長。1.7刻蝕后硅片邊緣發(fā)黑：原因尚不明確。處理方法：若P/N型檢測無異常，可附實驗單下傳，并追蹤其電池性能。2、刻蝕后PN檢測異常及處理方法2.1反面檢測呈N型：可能原因1）超凈裝片時裝反；2）雙面擴散；3）反面擴散；4）P/N型檢測儀不合格或出現(xiàn)故障。處理方法：1）檢查

4、P/N型檢測儀，用手觸摸熱探針是否正常發(fā)熱，或換其他P/N型檢測儀重新檢測；2)重新檢測并檢測該組其他硅片是否異常，若是，則聯(lián)系超凈工藝工程師確認(rèn)是否為反面擴散或裝片裝反；3）若裝片裝反，則返超凈重新裝片，檢測無異常附實驗單下傳，并追蹤其電池性能；若為反面擴散且超凈工藝工程師同意下傳，則附實驗單下傳，并追蹤其電池性能。2.2硅片側(cè)面檢測呈N型：可能原因1）刻蝕不完全；2）未刻蝕；3）P/N型檢測儀不合格或出現(xiàn)故障。處理方法：1）檢查P/N型檢測儀，用手觸摸熱探針是否正常發(fā)熱，或換其他P/N型檢測儀重新檢測；2）重新檢測

5、后仍為N型，查找刻蝕該組硅片的刻蝕機，通知設(shè)備并同設(shè)備一起檢查該刻蝕機是否有異常，該組片子在其他刻蝕機重刻后附實驗單下傳，并追蹤其電池性能。3）若刻蝕機有異常，待設(shè)備修好后做復(fù)機實驗；若無異常，注意查看該刻蝕機后續(xù)生產(chǎn)時的工作狀況有無異常并注意觀察該刻蝕機后續(xù)生產(chǎn)硅片的電池性能有無異常。2.3其他異常：1）有些員工憑經(jīng)驗可以判斷硅片的正反面，但是與P/N型檢測儀檢測的結(jié)果不同；2）硅片正反兩面檢測結(jié)果均為P型或N型。處理方法：1）原則上P/N型檢測儀只用于檢測硅片的反面，不允許檢測正面，一面破壞PN結(jié)；2）對于不能判斷

6、正反面的，可返超凈由超凈工藝工程師確認(rèn)，若可以下傳，可附實驗單下傳，并追蹤電池性能。3、PSG清洗常見異常及處理方法3.1每班出現(xiàn)500片清洗不凈硅片，無論任何時間，必須立即通知主管工藝工程師；出現(xiàn)1000片清洗不凈，無論任何時間，必須立即通知工藝部經(jīng)理。3.2自動清洗機出現(xiàn)的所有報警，均需首先通知設(shè)備，由設(shè)備確認(rèn)是否為動力或設(shè)備異常。3.3清洗機換酸后走實驗片的原則是循序漸進(jìn)，每次實驗由5片，到半籃、一籃、一框，防止一次出現(xiàn)大量清洗不凈。3.4自動清洗出現(xiàn)清洗不凈:可能原因1)換酸周期(24小時換一次)到;2)清洗機

7、某槽受其他物質(zhì)污染;3)設(shè)備故障導(dǎo)致硅片清洗時間改變。處理方法：1）若確認(rèn)設(shè)備無故障，重新?lián)Q酸；2）換酸后走實驗片看是否能清洗干凈；3）若仍清洗不凈可適當(dāng)增加HF酸用量，走實驗片觀察；4）若仍未解決通知主管工藝工程師。3.5手工清洗出現(xiàn)清洗不凈：可能原因1）剛換完酸，溶液尚未混合均勻；2）硅片在酸槽停留時間過短（或過長）；3）硅片水槽停留時間過短（或過長）；4）換酸周期（24小時換一次）到。處理方法：1）剛換完酸容易出現(xiàn)清洗不凈，一般一個小時之后會正常；2）硅片在各槽停留時間要嚴(yán)格按照工藝要求執(zhí)行，過長或過短都會造成清

8、洗不凈，若出現(xiàn)清洗不凈可適當(dāng)增加或減少在酸槽的停留時間；3）手工清洗不凈的片子可在自動清洗機里走少量做實驗。4、烘干機異常及處理方法4.1工藝設(shè)定溫度為60℃，氧氣流量20L/min，時間360秒，氮氣流量15L/min，時間180秒（若參數(shù)有變化，以機臺旁邊所貼工藝卡為準(zhǔn)），若設(shè)備不能達(dá)到所設(shè)定的溫度、時間或流量，通知設(shè)備解決。