資源描述：
《80爐單晶工藝》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、一．目的為了正確、規(guī)范地操作單晶爐，確保生產作業(yè)正常，特制評本規(guī)范。二．范圍適用于DTR-70A/B和JRDL-800型單晶爐操作。三．依據(jù)單晶爐使用說明書及硅單晶生長物理基礎。四．權責單位浙江昱輝陽光能源有限公司技術管理部單晶科。五．作業(yè)流程作業(yè)準備熱態(tài)檢漏取單晶和籽晶石墨件取出冷卻單晶爐室清洗石墨件清洗真空泵油檢查真空過濾器清洗石墨件安裝石英坩堝安裝硅料安裝籽晶安裝（二次加料、再熔料）充氬氣、升功率熔料抽空、檢漏引晶、縮頸、放肩、轉肩等徑生長收尾降功率、停爐冷卻六．主要內容1.作業(yè)準備（1）進入單晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。（2）開爐前，按工藝要求檢查水、電、氣，確認無誤后方
2、能開爐。（3）準備一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、紙巾、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。（4）準備好鉗子、扳手和各類拆裝爐專用工具。（5）取單晶的架子，裝石墨件的不銹鋼小車，裝鍋底料的不銹鋼桶和裝硅料的不銹鋼小車，并處理干凈。（6）用毛巾將爐體從上到下擦一遍，擦洗時注意：不要將控制接線及開關碰斷或碰壞，并把爐體周圍清掃干凈。2.熱態(tài)檢漏（1）檢查上一爐功率關閉時間，在確認單晶冷卻時間達到2h時，關閉氬氣總閥門（關閉前保持副室流量計調節(jié)閥打至30L/min，在關閉氬氣進氣總閥門，然后打開主室流量計調節(jié)閥，副室調節(jié)閥仍然保持打開狀態(tài)），開始抽高真空，并作時間記錄。（2）待爐內
3、壓力到達極限（要求達到3Pa以下）后，先關閉主室抽空球閥而后關閉真空泵電源進行檢漏，并作相應時間記錄，若0.7h內抽不到3Pa以下，交有關維修人員處理，在此期間須配合有關維修人員進行裝拆爐，并作好相關記錄。（3）檢漏要求5min以上，漏氣率<0.2Pa/min為正常，同時作好漏氣率記錄，若漏氣率>0.2Pa/min時，交有關維修人員處理，在此期間須配合有關維修人員進行裝拆爐，并作好相關記錄。（4）作好熱態(tài)檢漏時的抽空時間，檢漏時間，極限真空，漏氣速率等記錄。3.取單晶和籽晶（1）熱態(tài)檢漏后，必須繼續(xù)冷卻，等總時間達到5h后，再緩慢調節(jié)晶轉、堝轉為零，關閉晶轉、堝轉。充氬氣至常壓，關
4、閉氬氣，打開副室小門（在此之前須先擰松副室小門螺絲）。（2）提升單晶至副室（提升單晶時注意單晶通過副室爐頸時不得有碰撞），從副室小門內確認單晶升至所需高度，若無異常，打開液壓泵，升起副室。（3）把安全接盤移到爐筒口處晶體下方（若晶體過長，則需連同爐蓋一起同步移動），緩慢轉動副室至左側。（4）把取單晶的架子放在副室爐筒的正下方，準備接單晶。（5）穩(wěn)定單晶，移開安全接盤，按下籽晶快降，將單晶降入架子內。（6）確認單晶安全降入架子內后，按住籽晶，用鉗子將籽晶從細晶處鉗斷，鉗斷籽晶后，應穩(wěn)定重錘防止重錘快速轉動，損壞鋼絲繩。（7）將籽晶從重錘上取下，放到指定場所，再將重錘升至副室內適當位置
5、。（8）將單晶移到中轉區(qū)，及時準確的將單晶編號寫在晶體上，并觀察晶體的顏色及籽晶是否有積渣等，作好相應記錄。待自然冷卻后對單晶進行各項參數(shù)檢測筆作好記錄。1.石墨件取出冷卻（1）石墨小件取出打開液壓泵電源，按爐蓋升按鈕上升爐蓋。爐蓋上升到位后，再旋轉爐蓋到側面。（2）戴好耐高溫手套按順序取出導流筒及保溫蓋放在裝石墨件的不銹鋼小車上，注意要穩(wěn)并輕放。（3）在整個拆裝爐過程中，嚴禁赤手接觸石墨器件，石墨器件安放必須在清潔的不銹鋼小車或平板車上，仔細觀察爐頸、石英坩堝口是否積渣及石英坩堝是否變形，導流筒是否有開裂、粘硅現(xiàn)象，并及時作好相應記錄。（4）戴好耐高溫手套用鉗子夾住石英坩堝的上端
6、部分提起，使其松動，將石英坩堝取出。若石英坩堝能將鍋底料全部帶出則直接放入不銹鋼筒；若不能則先取出石英坩堝，剩下的鍋底料隨三瓣堝一并取出后，再將鍋底料放入不銹鋼筒內。若出現(xiàn)悶爐等意外情況則用專用工具夾住石墨三瓣堝一并取出或用鉗子像裝料一樣一塊、一塊取出，直至徹底取出。最后將不銹鋼筒移到指定地方，并寫上單晶編號，自然冷卻。冷卻后對鍋底料進行重量檢測并做記錄。（5）戴好耐高溫手套依次取出三瓣堝、堝托放在裝石墨件的不銹鋼小車上，三瓣堝放上后要注意放穩(wěn)當。（6）用堝桿扳手從堝桿中央孔的位置擰下不銹鋼螺絲，取出堝桿扳手，再將堝桿連不銹鋼螺絲一起放在不銹鋼小車上，注意堆放穩(wěn)當。（7）仔細觀察石
7、墨三瓣堝看是否有堝底部漏硅、開裂，堝桿、加熱器是否有損傷、斷裂，電極是否有打火現(xiàn)象，排氣管是否有堵塞現(xiàn)象，并做好相應的記錄。（8）取出的石墨件一并放在不銹鋼小車上，在不銹鋼小車邊上掛上石墨件所屬爐號牌，移到指定的位置，自然冷卻，移動過程中注意石墨件放置，防止墜落。（9）石墨大件的取出（一般3爐做一次，須做好大清記錄）a．取出上保溫罩放在不銹鋼小車上。取下熱電錐，將其及對應的密封圈及玻璃放到適當?shù)奈恢?，以防損壞丟失。b．打開油泵開關，按住爐筒升按鈕，升起爐筒至限位，旋轉
