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1、教學(xué)單位物理與信息技術(shù)系學(xué)生學(xué)號200991014041編號WL2013WL041応趙$驅(qū)學(xué)嘆本科畢業(yè)論文題0學(xué)生姓名專業(yè)名稱指導(dǎo)教師真空獲得任妍物理學(xué)岳喜成2013年4月12口真空獲得摘要：“真空”泛指低于一個人氣壓的氣體狀態(tài)，也就是同正常的人氣壓相比是較為稀薄的一種氣體狀態(tài)，這種氣體狀態(tài)具有一系列新的特點被廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)等各個領(lǐng)域。因而獲得真空狀態(tài)尤為重要，現(xiàn)今用來獲得真空的真空泵主要有兩人類，壓縮型真空泵（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵、蒸汽流噴射泵）和吸附型真空泵（低溫吸附泵、濺射離子泵）。同時獲得了真空的狀態(tài)，還需要對真空度進(jìn)行測
2、量，也就是真空規(guī)的學(xué)習(xí)，這篇論文是對真空泵以及真空規(guī)的研究。關(guān)鍵詞：真空技術(shù)；旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵；蒸汽流擴(kuò)散泵；低溫吸附泵；濺射離子泵VacuumtoobtainAbstract:"Vacuum^referstounderoneatmosphericpressureofthegasstate,whichiscomparedwithnormalatmosphericpressureisrelativelythin,astateofgas,thegasstatehasaseriesofnewfeaturesarewidelyusedini
3、ndustrialproductionandotherfields,isparticularlyimportantandthusobtainavacuum,avacuumpumpismainlyusedforvacuumhastwokindsbig,compressiontypevacuumpump,(rotarymechanicalpumpandsteamjetpump)andadsorptiontypevacuumpump(lowtemperatureadsorptionpump,sputterionpump)?Atthes
4、ametime,thevacuumstate,alsoneedtomeasurethevacuumdegreeofvacuumgauge,islearning,thispaperistostudythevacuumpumpandvacuumgauge.Keywords:vacuumtechnology;Rotarymechanicalpump;Thesteamflowdiffusionpump;Lowtemperatureadsorptionpump;Sputteringionpump—?正文：1真空獲得概述12真空泵22.1旋
5、轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵22.2蒸汽流擴(kuò)散泵42.3低溫吸附泵62.4鈦升華泵72?5渦旋分子泵102.7其他真空泵113真空測量12參考文獻(xiàn)15謝辭16:告告告錄報報報附題題辯、開結(jié)眷二1.2.3.17181真空獲得概述電真空技術(shù)對于真空工業(yè)、尖端科學(xué)及其其他領(lǐng)域都有重要的作用，比如真空技術(shù)在原子能、宇宙航行及空間科學(xué)研究、表面物理研究、微電子學(xué)以及真空冶金等方面都迅猛發(fā)展，真空技術(shù)除了作為基礎(chǔ)工藝，基礎(chǔ)設(shè)備起了關(guān)鍵性的作用，還常常牽扯到一系列物理現(xiàn)象的研究。至于真空技術(shù)在一般工業(yè)中的應(yīng)用，更是種類繁多，不勝枚舉。例如有機(jī)物的真空蒸館、
6、分子蒸幗、真空成形，以及某些金屬的真空蒸謂，涉及化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、制鹽制糖工業(yè)、食站工業(yè)、電機(jī)工業(yè)等各個領(lǐng)域，應(yīng)用極為廣泛，因而獲得真空技術(shù)至關(guān)重要。用來獲得真空的器械被稱Z為真空泵，冃前在真空技術(shù)屮，采用各種不同的方法，已經(jīng)能夠獲得和測量從大氣圧力1()5化到10一門幾，寬達(dá)18個數(shù)量級的壓力范圍。顯然，只用一種真空泵，獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài)，是十分困難的。真空泵按照其工作原理可以分為兩大類：壓縮型真空泵和吸附型真空泵。壓縮型真空泵是將氣體由泵的入口端壓縮至出口端，而吸附型真空泵則是利用各種吸氣作用將氣體吸掉，在這類
7、泵屮氣體分子并不排出泵外，而是被暫時或永久地貯存于泵內(nèi)。任何的真空泵，在工作時除了抽氣作用，總是伴隨著出現(xiàn)一些破壞抽氣的效應(yīng)。例如氣體被壓縮后要反擴(kuò)散；分子被吸附后還會脫附等。只有在抽氣作用強(qiáng)于破壞抽氣的因素時，泵才能有效的工作，因此每種泵都有它自己的有效運(yùn)用壓強(qiáng)范圍及固有的特點。我們在研究各種真空泵的性能時，必須知道各種真空泵的基本參數(shù)，其屮最主要的參數(shù)有如下幾點：1、抽氣速率S：它的定義是在泵進(jìn)氣口處，在任意給定的壓強(qiáng)下，單位時間內(nèi)流入泵的氣體體積數(shù)，即AVIArIp=pl式中：應(yīng)&時間內(nèi)從泵進(jìn)口流入泵的氣體體積數(shù);P1在測
8、定該氣體體積時的進(jìn)口壓強(qiáng)。則有單位時間內(nèi)流入泵內(nèi)的氣體量Q：Q=SP或2、極限壓強(qiáng)#泵對一個不漏氣、不放氣的容器抽氣時，經(jīng)過足夠長時間的抽氣所能達(dá)到的最低平衡用強(qiáng)。3、最大工作壓強(qiáng)：泵能正常工作的最高壓強(qiáng)，如壓強(qiáng)超過此值，泵將失去抽氣能力。4、運(yùn)用范圍：指泵能具
