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1、ESD教育訓練教材製作：MES專案組陳大偉訓練課程大綱壹.靜電放電(ESD)介紹貳.ESD防制之目的參.ESD基本知識介紹肆.ESD防制之設(shè)備儀器介紹與使用伍.ESD防制基本作業(yè)規(guī)範壹.靜電放電(ESD)介紹靜電原因:摩擦、剝離、感應(yīng)...機制:物質(zhì)因失去或得到電子而帶電靜電放電原因:電位不同物體間的電荷移轉(zhuǎn)不一定伴隨有電弧或火花發(fā)生摩擦生電與靜電放電人體與地毯摩擦產(chǎn)生靜電放電後人體電荷平衡人體經(jīng)接地後放電剝離生電物質(zhì)A(電荷平衡)接觸分離物質(zhì)B(帶負電荷)物質(zhì)A(帶正電荷)物質(zhì)B(電荷平衡)感應(yīng)生電--金屬葉片驗電器Metal-leafElec
2、troscope靜電放電模式人體放電模式(Human-BodyModel，HBM)機器放電模式(MachineModel，MM)元件充電模式(Charged-DeviceModel，CDM)人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到IC時，人體上的靜電便經(jīng)由IC的腳(pin)而進入IC內(nèi)，再經(jīng)由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns,nanosecond,10-9sec)的時間內(nèi)產(chǎn)生數(shù)安培的瞬間放電電流，電流會把IC內(nèi)的元件給燒毀。機器放電模式(MM)的ESD是指機器(例如
3、機器手臂)本身累積了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經(jīng)由IC的pin放電。因為大多數(shù)機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為0?；由於機器放電模式的等效電阻為零，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內(nèi)會有數(shù)安培的瞬間放電電流產(chǎn)生，因此對元件的破壞力更大。此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內(nèi)部累積了靜電，但在靜電累積的過程中IC並未受傷。此帶有靜電的IC在處理過程中，當其pin去碰觸到接地面時，IC內(nèi)部的靜電便會經(jīng)由pin自IC內(nèi)部流出來，而造成了放電的現(xiàn)象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內(nèi)，而且此放電
4、現(xiàn)象更難以真實的被模擬。ESD三種模式比較HBM與MM-->人體、機器或環(huán)境帶電HBM是最古老且最常發(fā)生的模式，但並非最嚴重的危害模式MM造成的故障與HBM類似，但電壓卻遠低於HBM，速度亦較HBM快CDM-->元件帶電造成ESD故障的主要原因上升時間最快速，產(chǎn)生大電流，快速放電貳.ESD防制之目的改善產(chǎn)品品質(zhì)並減少及防制ESD對電子產(chǎn)品的損害。藉由教育訓練的實行，降低產(chǎn)品不良的發(fā)生與耗損。改善客戶產(chǎn)品損害，增加產(chǎn)品可靠度。降低客戶抱怨，提昇DELTA信譽。參.ESD基本知識介紹影響靜電荷產(chǎn)生量的因素相對溼度物質(zhì)材料(摩擦電序列)接觸的面積摩擦頻
5、率摩擦電序列靜電防治材料特性ConductiveMaterial導電材料表面電阻率小於105?/sq的材料(ESDADV1.0,MIL-263B,EIA-625)StaticDissipativeMaterial靜電消散材料表面電阻率至少為105?/sq且小於1012?/sq的材料(ESDADV1.0,MIL-263B,EIA-625)Anti-StaticMaterial抗靜電材料--能抑制摩擦生電的材料(ESDADV1.0)--能抑制摩擦生電至200V以下的材料(EIA625)--抗靜電材料並不需要量測其表面電阻率來決定其特性。(JEDECS
6、TANDARDNO.42)接地系統(tǒng)主要目的：將靜電防護設(shè)施接地，提供一個路徑使靜電消散材料、導電材料及個人接地設(shè)備在同一個電位上，減少ESDS元件受到破壞。(ESDS6.1)人員安全防護：考慮人員碰觸電源時，通過人體的電流。故接觸人體的接地系統(tǒng)必須要有限流電阻(靜電環(huán))。ESDGround(SoftGround)靜電放電接地能夠使靜電產(chǎn)生源(人或物)藉由此路徑到接地的端點、排線、金屬線或其他接地系統(tǒng)。(EIA-625)Ground(HardGround)實接地藉由電子線路或特殊設(shè)備和大地(Earth)連接的導電接點，和大地間具零電位差。接地線用導
7、體接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發(fā)生斷線之電線或金屬導體。固定設(shè)備的接地用導體須用1.25mm2以上的600V級PVC絕緣電線，絕緣被覆採用綠色。(經(jīng)濟部工業(yè)局)移動設(shè)備的接地用導體須用1.25mm2以上的橡膠、人造橡膠或塑膠絕緣柔性(可繞)電線。移動及震動頻繁設(shè)備的接地用導線須用1.25mm2以上絞線、網(wǎng)線。為容易發(fā)現(xiàn)斷線，最好是未加絕緣的電線。使用鏈子做接地導體(搬運車)，應(yīng)確定其不因腐蝕、生鏽影響導通情況，且不因其不連性而接觸不良。1.接地斷路警報器操作說明與校正、認證。2.接地線接地是否良好,以“接地斷路警報器”偵測結(jié)果為評
8、斷標準。3.警報器之安裝位置必須在接地線末端。4.接地線必須以電木支撐固定,不可以其他導電物體固定或接觸。5.工作桌面之接地線架設(shè)連接方
