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《rena清洗制絨設(shè)備培訓(xùn)》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫(kù)。
1、2011-5-1TrainingForRENARENA培訓(xùn)Overview/概述Part1:componentsoftherena/第一部分：RENA清洗機(jī)的組件Part2:turnontherena/第二部分：RENA的開機(jī)Part3:operatingsystem/第三部分：操作系統(tǒng)Part4:turnofftherena/第四部分：RENA的關(guān)機(jī)Part1ComponentsoftheRENA RENA清洗機(jī)的組件?1InTex./InTex1臺(tái)?2intermediatetransports(inputstation/o
2、utputstation)./進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各1個(gè)?1chiller./冷卻器1個(gè)?1electricalcabinet./電器柜1個(gè)?1InOxSide./InOxSide1臺(tái)?2intermediatetransports(inputstation/outputstation)./進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)各1個(gè)?1chiller./冷卻器1個(gè)?1electricalcabinet./電器柜1個(gè)intex/inOxSideChiller（冷卻器）ElectricalCabinet（電器柜）ElectricalCabinetInside電
3、器柜內(nèi)部圖Chemicalpipesandexhaustpipes化學(xué)品供應(yīng)管和排風(fēng)管CDAandDI-waterpipes壓縮空氣和純水供應(yīng)管Hotairsystem熱風(fēng)系統(tǒng)Generalinformation/概述InTexPurpose:washingthespeckandetchasuedeonthesurfaceofthewafers./目的:清洗硅片表面的污漬，并在硅片表面刻蝕出絨面。InOxSidePurpose:removethephosphorglassandthephosphorendowedsiliconf
4、ilmfromthebottomsurfaceandtheedgesofthewafers./目的:去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉背面及四周的P-N結(jié)。Workingprocess/工作流程EtchbathInputstationOutputstationACDRinse3AcidicRinseRinse2AlkalineRinseDryer1Rinse1InOxSideEtchbathInputstationOutputstationACDRinse3AcidicRinseRinse2Rinse1AlkalineRinseInt
5、ex工作流程制絨槽上料臺(tái)下料臺(tái)干燥漂洗3#酸洗漂洗2#堿洗吹干漂洗1#InOxSide刻蝕槽上料臺(tái)下料臺(tái)干燥漂洗3#酸洗漂洗2#漂洗1#堿洗IntexStations/各槽子位置圖Stations?Station1-Etchbath:Thewafersareetchedwithanacidmixture./槽1–制絨槽:用酸液在硅片表面刻蝕出絨面。?Station2-Rinse1:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽2–漂洗槽1:去除來自上一個(gè)槽子的化學(xué)品。?
6、Station3-Alkalinecleanbath:Thewaferswillbealkalinerinsedtoavoidspecking./槽3–堿洗槽:用堿液清洗硅片表面的污漬。?Station4-Rinse2:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽4–漂洗槽2:去除來自上一個(gè)槽子的化學(xué)品。?Station5-Acidiccleanbath:Thewaferssurfacewillbetreatedwithanacidmixture./槽5–酸洗槽:用酸
7、液清洗硅片表面。?Station6-Rinse3:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽6–漂洗槽3:去除來自上一個(gè)槽子的化學(xué)品。?Station7–AirChannelDryer:Inthelaststepthewafersareairdriedonbothsides./槽7–空氣干燥槽:在最后一步中,硅片的兩面使用熱空氣吹風(fēng)干燥.Part2TurnontheRENA第二部分RENA的開機(jī)Step1.CheckthemediasupplysuchasDI-wa
8、ter、CDA、HF、HNO3、HCl、KOHandsoon./檢查氣、水和化學(xué)品的外部供應(yīng)。例如DI-water、CDA、HF、HNO3、HCl、KOH等等.InOxSideCheckingbeforepoweron/開機(jī)前檢查CDACold-waterChe
