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《壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源的研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫(kù)。
1、南京理工大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書（論文）作者：于淑楠學(xué)號(hào)：1004520213學(xué)院（系）：電子工程與光電技術(shù)學(xué)院專業(yè)：光電信息工程題B：壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源的研究指導(dǎo)者：烏蘭圖雅（姓名）講師（專業(yè)技術(shù)職務(wù)）評(píng)閱者：（姓名）（專業(yè)技術(shù)職務(wù)）2014年5月畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書（論文）中文摘要壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器（PZT）是一種高精度的微位移器件，它可以能實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的位移量。在光學(xué)干涉方面，給PZT施加一淀的電壓，PZT即可以產(chǎn)生微米級(jí)的位移量。PZT的性能好壞，其驅(qū)動(dòng)電源是關(guān)鍵，口前的PZT驅(qū)動(dòng)電源比較注重電源的靜態(tài)特性，但有許多缺點(diǎn)，如：動(dòng)態(tài)特性不理想，交流負(fù)載能力很差，帶負(fù)載時(shí)的頻響太低，成本高、體積
2、大等。在深入了解PZT性能的基礎(chǔ)上，本課題主要是設(shè)計(jì)PZT驅(qū)動(dòng)電源，要求該電源不僅在靜態(tài)特性上優(yōu)于現(xiàn)有的電源，并且頻響高、體積小、成本低等優(yōu)點(diǎn)。該課題對(duì)移相干涉儀的移相穩(wěn)定度、精確度有重要的意義。關(guān)鍵詞口適應(yīng)移相干涉儀PZT驅(qū)動(dòng)電源畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書（論文）外文摘要TitleStudyofpiezoelectricceramicmicrodisplacementdevicedriverAbstractThepiezoelectricceramicmicrodisplacementactuator(PZT)isahighprccisionmicrodisplaccmentdevice,canreal
3、izethedisplacementmicrometer.Inopticalinterferometry,mainlyusingtheinversepiezoelectriceffect,certainvoltageisappliedtothePZT,displacementPZTwhichproducemicrometer.PZTbyaspecialdrivingpowertodrive,thestaticcharacteristicsofthematurePZTdrivingpowersupplymorepower,butthiskindofpowersupplyhasdynamiccha
4、racteristicisnotideal,theACloadcapabilityisverypoor,withfrequencywhentheloadistoolow,highcost,largesizedefect.BasedondeeplyunderstandingtheperformanceofPZT,thisprojectistodesignaPZTdrivingpowersupply,thepowersupplynotonlyinthestaticcharactcristicsaresuperiortotheexistingpowersupply,andhighfrequencyr
5、esponse,smal1volume,lowcostadvantages.Thepaperhasimportantsignificaneeforphase-shiftinginterferometerphasestability,accuracy.KeywordAdaptivcphase-shiftingintcrfcromctcrPZTDrivingpower1緒論1.1課題研究背景在實(shí)驗(yàn)和生活中，光學(xué)干涉測(cè)量方法是一種常見(jiàn)的計(jì)量測(cè)試方法。不同于一般的測(cè)量方式，由于該方法是以光的波/為單位，因此，賦予了其較高的靈敏度和更為準(zhǔn)確的楮度。在光學(xué)測(cè)量中，我們通常使用到干涉儀作為測(cè)量?jī)x器。在電子計(jì)
6、算機(jī)技術(shù)高速發(fā)展與成熟的現(xiàn)在，伴隨著集成化光電探測(cè)器件和激光技術(shù)的廣泛運(yùn)用，憑借其對(duì)被測(cè)物測(cè)量的高速和不接觸的特性，干涉測(cè)量法也與時(shí)俱進(jìn),蓬勃發(fā)展。目前，較為成熟和廣泛運(yùn)用到的是移相干涉測(cè)量技術(shù)，其分辨率其至處于納米量級(jí)，這為我們?cè)跍y(cè)量光學(xué)元件表而相關(guān)參數(shù)，如微觀粗糙度、宏觀而形檢測(cè)中提供極人的輔助。而在對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的成像結(jié)果的像質(zhì)檢測(cè)中，亦冇較廣的適用性。在這樣一個(gè)現(xiàn)代化技術(shù)高速發(fā)展的時(shí)代光干涉技術(shù)高精度和高靈敏度的特點(diǎn)決定了其必然得到了廣泛應(yīng)用，但是振動(dòng)等多方面的因索都餓哦能夠以對(duì)其造成影響，主要原因在于氣流和振動(dòng)會(huì)對(duì)條紋抖動(dòng)和漂移產(chǎn)生干涉效果。這樣一來(lái)，不單單會(huì)使得高精度移向干涉無(wú)法進(jìn)行，
7、并且連簡(jiǎn)單的干涉計(jì)量也無(wú)法完成。為了不受振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)干涉儀的在線干涉檢測(cè)，我們要研究一種小型抗振裝置，使其可以自動(dòng)探測(cè)振動(dòng)所引起的干涉條紋的移動(dòng)量，它可以被實(shí)施，以補(bǔ)償由于振動(dòng)的變化，現(xiàn)有技術(shù)的相移干涉儀已被組合以形成干涉儀光程差的移位口適應(yīng)振動(dòng)相位，［l］o壓電陶瓷廣泛用于微位移驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域，因其具有一種特性??電致伸縮（在一定電壓下可產(chǎn)生一亞微米級(jí)的微小位移量）。在相移干涉，微米驅(qū)動(dòng)設(shè)備的位移
