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《壓電陶瓷微位移器驅動電源的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、南京理工大學畢業(yè)設計說明書（論文）作者：于淑楠學號：1004520213學院（系）：電子工程與光電技術學院專業(yè)：光電信息工程題B：壓電陶瓷微位移器驅動電源的研究指導者：烏蘭圖雅（姓名）講師（專業(yè)技術職務）評閱者：（姓名）（專業(yè)技術職務）2014年5月畢業(yè)設計說明書（論文）中文摘要壓電陶瓷微位移驅動器（PZT）是一種高精度的微位移器件，它可以能實現(xiàn)微米級的位移量。在光學干涉方面，給PZT施加一淀的電壓，PZT即可以產(chǎn)生微米級的位移量。PZT的性能好壞，其驅動電源是關鍵，口前的PZT驅動電源比較注重電源的靜態(tài)特性，但有許多缺點，如：動態(tài)特性不理想，交流負載能力很差，帶負載時的頻響太低，成本高、體積
2、大等。在深入了解PZT性能的基礎上，本課題主要是設計PZT驅動電源，要求該電源不僅在靜態(tài)特性上優(yōu)于現(xiàn)有的電源，并且頻響高、體積小、成本低等優(yōu)點。該課題對移相干涉儀的移相穩(wěn)定度、精確度有重要的意義。關鍵詞口適應移相干涉儀PZT驅動電源畢業(yè)設計說明書（論文）外文摘要TitleStudyofpiezoelectricceramicmicrodisplacementdevicedriverAbstractThepiezoelectricceramicmicrodisplacementactuator(PZT)isahighprccisionmicrodisplaccmentdevice,canreal
3、izethedisplacementmicrometer.Inopticalinterferometry,mainlyusingtheinversepiezoelectriceffect,certainvoltageisappliedtothePZT,displacementPZTwhichproducemicrometer.PZTbyaspecialdrivingpowertodrive,thestaticcharacteristicsofthematurePZTdrivingpowersupplymorepower,butthiskindofpowersupplyhasdynamiccha
4、racteristicisnotideal,theACloadcapabilityisverypoor,withfrequencywhentheloadistoolow,highcost,largesizedefect.BasedondeeplyunderstandingtheperformanceofPZT,thisprojectistodesignaPZTdrivingpowersupply,thepowersupplynotonlyinthestaticcharactcristicsaresuperiortotheexistingpowersupply,andhighfrequencyr
5、esponse,smal1volume,lowcostadvantages.Thepaperhasimportantsignificaneeforphase-shiftinginterferometerphasestability,accuracy.KeywordAdaptivcphase-shiftingintcrfcromctcrPZTDrivingpower1緒論1.1課題研究背景在實驗和生活中，光學干涉測量方法是一種常見的計量測試方法。不同于一般的測量方式，由于該方法是以光的波/為單位，因此，賦予了其較高的靈敏度和更為準確的楮度。在光學測量中，我們通常使用到干涉儀作為測量儀器。在電子計
6、算機技術高速發(fā)展與成熟的現(xiàn)在，伴隨著集成化光電探測器件和激光技術的廣泛運用，憑借其對被測物測量的高速和不接觸的特性，干涉測量法也與時俱進,蓬勃發(fā)展。目前，較為成熟和廣泛運用到的是移相干涉測量技術，其分辨率其至處于納米量級，這為我們在測量光學元件表而相關參數(shù)，如微觀粗糙度、宏觀而形檢測中提供極人的輔助。而在對光學系統(tǒng)的成像結果的像質檢測中，亦冇較廣的適用性。在這樣一個現(xiàn)代化技術高速發(fā)展的時代光干涉技術高精度和高靈敏度的特點決定了其必然得到了廣泛應用，但是振動等多方面的因索都餓哦能夠以對其造成影響，主要原因在于氣流和振動會對條紋抖動和漂移產(chǎn)生干涉效果。這樣一來，不單單會使得高精度移向干涉無法進行，
7、并且連簡單的干涉計量也無法完成。為了不受振動的影響，實現(xiàn)干涉儀的在線干涉檢測，我們要研究一種小型抗振裝置，使其可以自動探測振動所引起的干涉條紋的移動量，它可以被實施，以補償由于振動的變化，現(xiàn)有技術的相移干涉儀已被組合以形成干涉儀光程差的移位口適應振動相位，［l］o壓電陶瓷廣泛用于微位移驅動領域，因其具有一種特性??電致伸縮（在一定電壓下可產(chǎn)生一亞微米級的微小位移量）。在相移干涉，微米驅動設備的位移
