場發(fā)射新掃描電鏡操作說明及注意事項

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1、場發(fā)射新掃描電鏡基本操作規(guī)程1檢查儀器狀態(tài),放入樣品,必須戴手套操作,將制備好的樣品放入樣品座中。調(diào)節(jié)樣品高度，樣品不得高于樣品座上邊沿。2預(yù)抽室放氣，按下“Vent”鍵，打開預(yù)抽室倉門，將樣品座平邊推入樣品座卡槽，關(guān)上倉門并扣緊，按下“EVAC”鍵，抽真空。3觀察樣品，待真空抽至“4.4×10-4”后，點加電壓“ON”，待電流上升至10uA的發(fā)射電流后，按下“GUN”。4加速電壓逐步從低到高升到5kv，工作距離一般選用10mm。5控制圖像移動可用鼠標(biāo)右鍵單擊實現(xiàn)，可將點擊目標(biāo)移至屏幕中央。6LowMag（快速移動到要觀察

2、的樣品上），ACB（自動黑白對比）--調(diào)焦—改變放大倍數(shù)--配合Alignment，和像散調(diào)節(jié)—得到一幅滿意的圖像；7圖像存儲，在保存一幅圖像之前，直接在QuickView時按Photo鍵，在操作下一步之前點Freeze解除。8取出樣品，先關(guān)閉“Gun”燈亮，關(guān)閉高壓，按下“ExchangePosition”鍵。確認(rèn)“EXCHPOSN”燈亮；9將樣品桿放下置水平位置，向前輕推樣品桿至無法再推動為止。10按下“Vent”鍵，待Vent指示燈停止閃爍，松開預(yù)抽室鎖扣，打開預(yù)抽室，取出樣品，將預(yù)抽室抽好真空（按“EVAC”鍵）。

3、場發(fā)射新掃描電鏡注意事項（1）在接觸到樣品座的所有操作，必須戴手套；（2）在擰樣品座上的螺絲時，要輕擰，不得使大力，防止固定螺絲損壞；（3）換樣品時樣品桿只能在水平方向上平行滑動，不得隨意傾斜、旋轉(zhuǎn)等，樣品桿操作要在水平方向上輕推輕拉；（4）樣品預(yù)抽室放大氣前必須關(guān)閉高壓系統(tǒng)；（5）關(guān)閉高壓系統(tǒng)前必須先關(guān)閉“Gun”--燈亮。操作順序不得反轉(zhuǎn)；（6）在打開“Gun”--燈滅時，樣品室真空度必須達(dá)到4.4×10-4Pa；（7）嚴(yán)禁測試磁性材料樣品；（8）樣品測試前必須確定其粘結(jié)的牢固程度，防止懸浮顆粒進(jìn)入電鏡；（9）禁止操作

4、樣品桿、樣品升降臺、軌跡球外旋鈕、背散射按鈕（否則出現(xiàn)問題，后果自負(fù)，儀器損壞，負(fù)責(zé)賠償）.預(yù)約掃描電鏡須知1.樣品必須清洗干凈，特別是腐蝕樣品，需用乙醇徹底清洗，之后在測試之前烘箱烘干2-5小時；2.禁止送磁性材料樣品測試，請?zhí)崆按_認(rèn)樣品有無磁性；3.禁止使用U盤或外帶光盤拷貝數(shù)據(jù)，以免電腦軟件中毒；4.塊體樣品大小8mm*8mm*8mm以內(nèi)，超出的請?zhí)崆扒懈钐幚恚?.測試時禁止在實驗室打鬧，禁止學(xué)生觸摸實驗設(shè)備，設(shè)備有高壓電，以免發(fā)生危險；6.預(yù)約請?zhí)崆?天以上，周末和晚上請勿打擾；7.未經(jīng)培訓(xùn)的人員，禁止操作儀器設(shè)備

5、；8.儀器設(shè)備貴重，請來測試人員注意，如有損壞照價賠償；9.測試完請?zhí)顚憣嶒炗涗?，打掃實驗室。材料分析測試中心2018年3月22日