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《工業(yè)潔凈室風淋系統(tǒng)測量方法研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、2010年8月宇航計測技術(shù)Aug．，2010第30卷第4期JournalofAstronauticMetrologyandMeasurementV01．30，No．4文章縮號：1000—7202(2010)04—0066—04rpltll分類號：x964文獻標識碼：A工業(yè)潔凈室風淋系統(tǒng)測量方法研究季啟政顧世紅王慧(北京東方計量測試研究所，北京100086)摘要簡要介紹了工業(yè)潔凈室常用風淋系統(tǒng)的原理及其應用，分析了影響風淋系統(tǒng)凈化效果的幾種因素，給出了工業(yè)潔凈室常用風淋系統(tǒng)的具體計量檢測方法。關(guān)鍵詞空氣吹淋室風速噪聲潔凈度測量方法ResearchontheMeasur
2、ementMethodsoftheAirShowerSystemintheIndustrialCleanRoomJIQi-zhengGUShi-hongWANGHui(BeijingOrientInstituteofMeasurement＆TestChineseAcademyofSpaceTechnology，Beijing100086)AbstractThetheoryoftheairshowersysteminindustrialcleanloomanditsapplicationsaredescribedbriefly．Theseveralfactorsimp
3、actingonpurifyingeffectoftheairshowersystemareanalyzed．Themeasurementmethodsoftheairshowersystemintheindustrialcleanroomaregiven．KeywordsAirshowerWindvelocityNoiseCleanlinessMeasurementmethod1引言潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品成品率和產(chǎn)品質(zhì)量可靠性、長壽命的重要條件。工業(yè)潔凈室便是專門提供潔凈環(huán)境的專業(yè)實驗室。隨著我國基礎工業(yè)的不斷發(fā)展，各行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越
4、高，尤其是潔凈環(huán)境，已經(jīng)成為影響基礎工業(yè)發(fā)展的重要因素之一。風淋系統(tǒng)是設置在工業(yè)潔凈室潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的通道，主要對由非潔凈區(qū)進入潔凈區(qū)的人員或貨物進行除塵凈化，并對非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)進行氣閘隔離，從而減小外界因素污染潔凈室可能性。對于已建成的工業(yè)潔凈室，若其通風過濾系統(tǒng)工作正常，那么人員或貨物帶人或產(chǎn)生的灰塵即是影響潔凈室潔凈效果的主要因素?，約占粒子來源總數(shù)的93％，其中人員或貨物攜帶的灰塵約占60％，表1給出了工業(yè)潔凈室粒子來源的分析。風淋系統(tǒng)最大作用就是通過吹淋進入潔凈室的人員或貨物來清除其所攜帶的灰塵，并隔斷非潔凈區(qū)的灰塵泄漏。因此，風淋系統(tǒng)的質(zhì)量直接影響著
5、潔凈室的凈化效果。然而，到目前為止，還沒有針對工業(yè)潔凈室風淋系統(tǒng)的具體檢測方法。本文根據(jù)對風淋系統(tǒng)凈化性能的研究成果，提出了風淋系統(tǒng)計量檢測的方法。收麓日期：20∞一10-21；修回日期：2009—12—04作者籬介：季啟政(1979一)，男，工程師，碩士，主要從事：電磁計量測試技術(shù)和技術(shù)安全與環(huán)境條件測試技術(shù)研究。第4期工業(yè)潔凈室風淋系統(tǒng)測量方法研究·67·表1工業(yè)潔凈室粒子來源分析3風淋系統(tǒng)的技術(shù)要求及計量方法2風淋系統(tǒng)介紹2．1工作原理風淋系統(tǒng)通常由風機、過濾器、箱體以及電器控制部分組成，其結(jié)構(gòu)示意如圖l所示。環(huán)境空氣經(jīng)過初效過濾器，由風機壓入靜壓箱，再經(jīng)過高
6、效過濾器過濾后從噴淋口吹出高速潔凈氣流，潔凈氣流以高速均勻的風速噴射到人員或貨物表面，有效而迅速地清除人員或貨物從非潔凈區(qū)所攜帶的塵埃粒子，再經(jīng)由初、高效過濾器過濾后重新循環(huán)到風淋區(qū)域內(nèi)，從而形成內(nèi)部循環(huán)。圈I風淋系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖計時器(b)內(nèi)壁2．2分類與使用工業(yè)潔凈室風淋系統(tǒng)的分類方式有多種舊J。本文根據(jù)控制方式的不同將風淋系統(tǒng)分為手動控制風淋、自動聯(lián)鎖感應風淋以及自動門風淋。使用經(jīng)過可描述為人員或貨物進入風淋室，待前后門關(guān)閉后，開始吹淋，待吹淋一定時間后，停止吹淋。其中手動控制風淋可以人為選擇是否吹淋，而自動聯(lián)鎖感應風淋和自動門風淋為強制風淋，人員或貨物進入風淋
7、問必須經(jīng)過風淋后才能出去。另外，還有一種風淋隧道，工作時間啟動后便不再需要控制，始終處于風淋狀態(tài)，直到工作結(jié)束才停止。對于強制風淋系統(tǒng)，使用比較頻繁時，通常在風淋室旁單獨設置隔離室，用于人員或貨物離開潔凈室。風淋系統(tǒng)最關(guān)注的就是凈化性能，而影響風淋系統(tǒng)凈化性能最重要因素就是風速、靜壓差和潔凈度，粘塵墊初粘力也對風淋系統(tǒng)凈化性能具有一定影響。另外，諸如聯(lián)鎖功能、自動感應以及自動計時等控制功能將直接影響著風淋系統(tǒng)的正常運行，噪聲、照度等環(huán)境因素也是風淋系統(tǒng)使用者非常關(guān)注的方面。本文將對上述各方面的測量必要性及相應測量方法進行研究。3．1凈化性能3．1．1風速風淋系統(tǒng)
