SEM操作規(guī)程.doc

SEM操作規(guī)程.doc

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1、JSM-7800F掃描電鏡操作規(guī)程1、確認(rèn)Maintenance界面內(nèi)的GUN/AC內(nèi)GUN參數(shù)(電流值穩(wěn)定)和SIP1和SIP2的真空度正常方可運(yùn)行??!2、選擇正確的樣品座放置樣品并固定,樣品高度不要超過樣品座上方10mm。注意:接觸樣品座,取放樣品時(shí)務(wù)必戴手套操作?。?!3、裝樣品前必須確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)。4、點(diǎn)擊SEM應(yīng)用程序軟件中Specimen窗口的ExchangePosition按鈕,使樣品交換室控制面板EXCHPOSN燈點(diǎn)亮,并確認(rèn)樣品臺(tái)處于樣品交換的位置(X:0.000mm,Y:0.000mm,Z=40.0mm,R:0.00,T:0.00)。5、按下VENT按鈕對(duì)

2、Exchangechamber放氣,直至VENT常亮,表示樣品交換室處于大氣狀態(tài)。6、松開交換室鎖扣,打開樣品交換室,將已固定好樣品的樣品座,按箭頭方向置于樣品座夾具內(nèi)。7、完全關(guān)閉樣品交換室門,扣好鎖扣。?8、按下EVAC按鈕,開始抽真空,EVAC閃爍,待真空達(dá)到要求時(shí),EVAC常亮。9、手持樣品交換桿,將樣品桿放下至水平并向前輕推,將樣品Holder完全送進(jìn)交換室中,注意當(dāng)HLDR燈亮起后,再完全拉出樣品桿,垂直立起放置,此時(shí)樣品已正常放置于樣品室內(nèi)。注意:在拉動(dòng)樣品桿時(shí),若有警報(bào)聲,應(yīng)立即停止操作,將樣品桿歸位,檢查操作步驟是否正確。10、在SEM應(yīng)用程序軟件界面正確選擇所

3、使用Holder的類型,輸入樣品高度值,點(diǎn)擊OK確認(rèn)。11、輸入Z值10mm。11、查看樣品室真空度,確認(rèn)真空度小于5.0×10-4Pa時(shí)才可開始進(jìn)行圖像操作。12、觀察樣品,獲取圖像。(1)點(diǎn)擊ON,打開高壓,根據(jù)樣品選擇所需的電壓。(2)如果有多個(gè)樣品,按下LDF按鈕切換到低倍模式,選擇要觀察的樣品位置,選好后按LDF按鈕切換回高倍模式。(3)確認(rèn)ScanningMode在QuickView狀態(tài),尋找樣品表面的明顯特征。先切換到較高倍率,轉(zhuǎn)動(dòng)FOCUS的旋鈕進(jìn)行聚焦,X、Y散光像差校正旋鈕進(jìn)行像散調(diào)整,調(diào)整亮度與對(duì)比度(可按ACB自動(dòng)調(diào)整或手動(dòng)調(diào)整),直至樣品表面特征的圖像清

4、晰為止(低倍率時(shí),利用AUTO鍵進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦)。然后切回所需之倍率進(jìn)行圖像觀察。a)如果聚焦時(shí)出現(xiàn)圖像是模糊的,需要進(jìn)行電子束對(duì)中調(diào)整。b)按鍵盤上RDC?IMAGE鍵,打開調(diào)整窗口,按鍵盤上WOBB鍵,此時(shí)圖像會(huì)來回?cái)[動(dòng),旋轉(zhuǎn)鍵盤上X、Y調(diào)整旋鈕使圖像停止擺動(dòng)(X方向擺動(dòng)調(diào)整X旋鈕,Y方向擺動(dòng)調(diào)整Y旋鈕)。c)關(guān)閉WOBB鍵,此時(shí)STIG鍵自動(dòng)亮,分別旋轉(zhuǎn)鍵盤上X、Y調(diào)整旋鈕將圖像調(diào)整清晰。d)繼續(xù)放大倍數(shù),轉(zhuǎn)動(dòng)FOCUS旋鈕進(jìn)行聚焦,如圖像不清晰,重復(fù)c步直到將圖像調(diào)整清晰。e)如果圖像已經(jīng)調(diào)整好,,按鍵盤上“RDC?IMAGE”鍵關(guān)閉調(diào)整窗口,進(jìn)行全屏顯示。(4)圖像聚焦像

5、散調(diào)整完畢后,按下FINE?VIEW鍵及FREEZE鍵掃描圖像并定格,也可按下PHOTO鍵獲取最終圖像,輸入樣品名稱,選擇文件類型和文件保存位置,點(diǎn)擊“Save”進(jìn)行保存。(5)按“FREEZE”鍵取消鎖定,按“QUICK?VIEW”進(jìn)行快速掃描,為下一次調(diào)整圖像做好準(zhǔn)備。13、背散射(BEIdetector)觀察1)點(diǎn)擊ExchangePosition,EXCHPOSN燈同步亮,樣品臺(tái)回到樣品交換的初始位置。2)點(diǎn)擊OFF,關(guān)閉高壓,確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)!3)在儀器狀態(tài)區(qū)域?qū)EI勾選,BEIdetector自動(dòng)伸入樣品室。4)點(diǎn)擊ON,打開高壓,根據(jù)樣品選擇所需的電壓。5)找

6、好要分析的樣品位置,調(diào)整好倍率,聚焦及像散。6)在圖像顯示區(qū)域選擇圖像信號(hào)為BEC7)按Fineview2獲取圖像,按下PHOTO鍵獲取最終圖像,選擇“Save”模式進(jìn)行保存。。8)使用完成后,先關(guān)閉高壓,再將BEI打勾取消(即表示BEIdetector退回)。14、結(jié)束觀察:1)將放大倍率調(diào)至最低倍。2)點(diǎn)擊OFF,關(guān)閉高壓,確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)!2)點(diǎn)擊軟件中Specimen窗口的ExchangePosition按鈕,EXCHPOSN燈同步亮,樣品臺(tái)復(fù)位,處于樣品交換的初始位置。3)利用樣品交換桿將樣品Holder拉出樣品交換室。4)按下VENT鍵放氣,直至VENT常亮。5)

7、打開樣品交換室,按箭頭方向取出樣品Holder及樣品,并檢查樣品交換室是否正常。6)關(guān)閉樣品交換室并按EVAC抽真空,待EVAC燈不再閃動(dòng)后,觀察結(jié)束。注意事項(xiàng)1、接觸樣品座,取放樣品時(shí)務(wù)必戴手套操作,并確保樣品在樣品臺(tái)上固定牢固;樣品柱高度最好不要超過樣品座上方10mm。樣品高出樣品臺(tái)時(shí),不要將Z值輸入過小,造成鏡頭碰撞樣品臺(tái)。2、注意:在拉動(dòng)樣品桿時(shí),若有警報(bào)聲,應(yīng)立即停止操作,將樣品桿歸位,檢查操作步驟是否正確。3、拉出拉桿時(shí),切記一定要將拉桿完全拉出后才可以立起,否則樣品

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