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《ZEISS FIB軟件及操作說明.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、ZeissFIB培訓(xùn)資料ZEISSFIB軟件及操作說明1、設(shè)置樣品的優(yōu)中心和共聚點在設(shè)置樣品的優(yōu)中心和共聚點之前，先確認以下四項：SpecimenCurrentMonitor已經(jīng)關(guān)閉，以保證接觸報警處于激活狀態(tài)；SEMControl中的Stage選項卡，右擊空白處CentrePoint/Feature=Stageonly；SEMControl中的Aperture選項卡的Beamshift=0；FIBControl中的Align選項卡處于30kV：50pA的Beamshift=0。-51.1放入樣品，等systemvacuum
2、好于5×10mbar，加SEM的加速電壓；FIBGun-7pressure好于1×10mbar時，打開離子束；點擊打開FIBcontrol或者按F5快捷鍵，在FIB選項卡中點擊打開離子束。1.2在SEM模式下調(diào)節(jié)圖像至最佳，參數(shù)為：120μm光闌；高電流模式；WD在10-15mm之間；500X左右；5kV；快速掃描；1.3View→Crosshairs打開“米”字圖，選擇一特征點處于屏幕中間；1.4傾斜樣品臺至10°，此時特征點會偏離屏幕中心，需調(diào)節(jié)M軸進行補償，使特征點重新處于屏幕中心，即樣品臺傾斜10°和水平放置時都是同
3、一視野。（特征點上移，增加M；下移，減少M）1.5重新聚焦并檢查優(yōu)中心。將樣品臺傾斜至0°，檢查特征點是否處于屏幕中心，否則移動樣品臺（centerpoint）將特征點移至屏幕中心，重復(fù)1.4；1.6傾斜樣品臺至54°，并激活TiltCorrection=54°，改變M軸將特征點移至屏幕中心，聚焦。1.7在SEM模式下，移動Z軸時樣品臺上升至WD為5mm左右（勾選TrackZ）；1.8選擇一特征點處于屏幕中心，鎖定FIB模式和SEM模式的放大倍數(shù)。點擊工具欄中的“EMparameter”,在圖中左鍵畫個方框并找到FIBLoc
4、kMags，點擊窗口中的OK，雙擊彈出的FIBLockMags圖標會在“No”和“Yes”之間進行卻換（或者可將這一功能加到Toolbar中）。1.9按F8切換至FIB模式，采用移動Z軸將1.8中所選的特征點重新移至屏幕中心，此時樣品臺就處于共聚點。ZeissFIB培訓(xùn)資料2、切割milling確認已設(shè)置好樣品臺的優(yōu)中心和共聚點。1.1按F8切換至FIB模式，點擊FIBTools中的，選擇其中一種對象作為對樣品切割的區(qū)域；1.2在FIBControl的shape選項卡中選擇切割的模式（millfordepth，millfor
5、time，depositionfortime）；1.3設(shè)置切割對象的參數(shù)，如大小、位置、深度、束流等等；1.4點擊FIBControl的Mill選項卡中的mill，開始切割；1.5自動切換至SEM+mill模式對切割的過程進行監(jiān)控，選用120μm光闌和高束流模式進行觀察。1.6可對切割的過程進行停止、開始/暫停等操作（參照第四部分的軟件說明,FIBControl的Mill選項卡）。3、沉積deposition確認已設(shè)置好樣品臺的優(yōu)中心和共聚點，在實驗半小時之前對氣體進行加熱，促使氣體穩(wěn)定。1.1GIS經(jīng)常使用，直接進行下一步
6、。否則，關(guān)閉SEM的加速電壓、FIB的加速電壓和Columnchambervalve；直接勾選FIBControl的GIS選項卡中所需氣-5體對應(yīng)的Openvale，直至正空穩(wěn)定在1-2×10mbar之間；去選openvalve。打開Columnchambervalve、加SEM的加速電壓和FIB的加速電壓。1.2按F8切換至FIB模式，點擊FIBTools中的，選擇矩形作為沉積區(qū)域；1.3選擇沉積模式（depositiontime或depositionw.thickness）,對沉積的對象設(shè)置參數(shù)，如大小、位置、束流等。1
7、.4選擇所需氣體所對應(yīng)的通道，此時GIS會緩慢地、自動地靠近樣品的表面；1.5沉積完畢后，點擊FIBControl的GIS選項卡中的Parked，使GIS自動撤回歸位。4、軟件功能說明FIBtoolbarZeissFIB培訓(xùn)資料4.1Millingdialog點擊Millingdialog彈出如下的菜單欄，無論選擇哪一個選項都將會自動打開FIBcontrol中的Shape選項卡對所選擇的形狀進行參數(shù)設(shè)置?？涛g標志只能使用MillforTime模式；細和粗分別對應(yīng)于將該圖形所設(shè)置的離子束束流大小，可將其保存為默認；ZeissF
8、IB培訓(xùn)資料4.2FIBControl4.2.1FIB選項卡Emissioncurrent共有三種顏色：紅色：抑制電壓（suppressionvoltage達到極限）黃色：emissioncurrent與目標電流差大于0.1μA綠色：emissioncurrent與目標電流差小于±0.1μ
