碲鎘汞紅外探測器.ppt

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1、報告人：XSX2014年1月6HgCdTe紅外探測器HgCdTe紅外探測器的誕生合理的假設HgTe：禁帶寬度-0.3eVCdTe:禁帶寬度1.6eV光子吸收率高躍遷方式為帶間躍遷全波段相應通過調(diào)節(jié)Cd組分的數(shù)值大小，碲鎘汞材料的禁帶寬度隨之變化HgCdTe光伏探測器結(jié)構(gòu)p-on-n：超高的探測器靈敏度n-on-p:制造工藝簡單生產(chǎn)工藝n-on-p:離子注入技術(shù)消除輻射損傷控制摻雜離子的擴散激活雜質(zhì)離子的電活性p-on-n:受主摻雜探測器器件優(yōu)質(zhì)比較我國的研究情況(1)2048元線列碲鎘汞焦平面器件(2)雙色碲鎘汞紅外器探測器2048元線列碲鎘汞焦平面器件2048像元分布間接互聯(lián)示

2、意圖濾波片安裝結(jié)構(gòu)設計杜瓦制冷器探測器性能碲鎘汞光敏元響應光譜碲鎘汞焦平面器件響應率分布探測器性能達到的性能參數(shù)光敏元尺寸28探測器元數(shù)2048平均峰值探測率9.3×1010cmHz1/2W-1平均峰值響應率8.3×107V/W響應率不均勻性8%有效光敏元率99.5%工作溫度77K器件局部512元系統(tǒng)成像順序模式雙色碲鎘汞紅外探測器光譜響應技術(shù)參數(shù)測試結(jié)果截止波長SW:2.7MW:4.9平均峰值探測率cmHz1/2W-1SW:1.42×1011MW:2.15×1011響應不均勻性SW:11.73MW:26.27盲元率(%)SW:1.3MW:13.6性能參數(shù)同時模式雙色碲鎘汞紅外探

3、測器雙色紅外探測器的響應光譜光譜竄音：3.8%4.4%最大的HgCdTe短波紅外焦平面陣列陣列：2048×2048尺寸：18×18量子效率65.4%,不均勻性4.3%中波：640×480元陣列，77K，量子效率68%,NETD為0.013K長波：256×256陣列,工作溫度77～88K，量子效率70％～75％，NETD為13mk雙色：美國雷神公司1280×720陣列，像元尺寸20×20um今后的發(fā)展方向提高工作溫度實現(xiàn)長波大面陣