潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)和節(jié)能措施

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1、潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)和節(jié)能措施　　摘要：隨著科技進(jìn)步和技術(shù)的提升，各企業(yè)的成品率都大幅度提高，產(chǎn)品的質(zhì)量在很大程度上得到了保證。但隨著產(chǎn)品集成度和生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求的提高，電子廠房的耗能卻在急劇的增大，成為典型的耗能大戶。進(jìn)入新世紀(jì)，能源問題已成為制約我國(guó)持續(xù)快速發(fā)展的瓶頸問題。能源的短缺，又致使能源價(jià)格不斷攀升，這些都使得電子廠房的節(jié)能問題成為相關(guān)企業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。企業(yè)要迎面競(jìng)爭(zhēng)，想在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中不被淘汰，就必須面對(duì)潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能問題。文章對(duì)潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)進(jìn)行了分析，并就如何在其設(shè)計(jì)和運(yùn)行過程中實(shí)現(xiàn)良好的節(jié)能效果提出了一些建議。關(guān)鍵詞：潔凈廠房；空調(diào)系統(tǒng)；節(jié)能措施中圖

2、分類號(hào)：TE08文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A引言：隨著世界制造業(yè)向我國(guó)的戰(zhàn)略性轉(zhuǎn)移，我國(guó)出現(xiàn)了越來越多的各式潔凈廠房。在這些潔凈廠房中，特別是IC(IntegratedCircuit)的生產(chǎn)廠房，潔凈度要求特別嚴(yán)格，成為潔凈廠房的典型用戶。在這些集成電路的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)中，起初由于成品率很低，企業(yè)最關(guān)注的是產(chǎn)品的成品率問題。7潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)由于潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)的作用與普通民用空調(diào)系統(tǒng)存在著較大的不同，這也使得潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)呈現(xiàn)出了一些不同于民用空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)，無論是對(duì)環(huán)境的潔凈度，還是對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)和噪聲都有比較嚴(yán)格的要求?？偟膩砜?，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)主要表現(xiàn)在以下三個(gè)方面：1.運(yùn)行

3、成本高潔凈廠房由于潔凈等級(jí)的需要，需要采用大量的送風(fēng)和排風(fēng)過濾系統(tǒng)，這使運(yùn)行成本大大增加，相對(duì)于同等規(guī)模的辦公建筑，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能耗要提高10～30倍。以單向流潔凈室為例，單向流的潔凈度一般控制在ISO5級(jí)以上，一個(gè)高為3m、面積為500m2的潔凈廠房如果采用上送下回的垂直單向流形式，廠房?jī)?nèi)的送風(fēng)口風(fēng)速控制在0.2～0.35m/s之間時(shí)，那么潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的換氣次數(shù)已經(jīng)達(dá)到了24～60次/h，這會(huì)導(dǎo)致巨大的電能消耗。另外，潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)散熱量也很大，由于產(chǎn)品生產(chǎn)過程中對(duì)溫度和濕度都有比較嚴(yán)格的要求，因此導(dǎo)致能耗進(jìn)一步增大，這大大增加了運(yùn)行成本。2.新風(fēng)負(fù)荷大7在電子廠房的

4、生產(chǎn)過程中，由于經(jīng)常產(chǎn)生一些有害氣體，因此為了通過排風(fēng)的形式將這些有害氣體及時(shí)加以排除，就需要將空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量加大。與空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備散熱負(fù)荷相比，新風(fēng)冷負(fù)荷是這三者中最大的。對(duì)于一般的電子潔凈廠房來說，其所需的平均新風(fēng)量一般維持在45～60m3/（h·m2）。3.風(fēng)機(jī)全壓高在潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)中的過濾器很多，這使得過濾器總的阻力大大增加。以空調(diào)系統(tǒng)中的高效過濾器為例，其初阻力和終阻力分別達(dá)到了200Pa和400Pa以上。而對(duì)于要求比較高的潔凈廠房來說，其阻力會(huì)更大，其新風(fēng)通常要求進(jìn)行三級(jí)過濾，另外還要進(jìn)行化學(xué)過濾，這使得新風(fēng)過濾機(jī)組的總阻力達(dá)到了2500Pa以上，為

5、了克服過濾系統(tǒng)的阻力，需要增大風(fēng)機(jī)全壓，這使得系統(tǒng)的能耗大大增加。潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)首先是一空調(diào)系統(tǒng)，因此，一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施，如圍護(hù)結(jié)構(gòu)保溫、系統(tǒng)變流量、排風(fēng)熱回收、選用高效制冷機(jī)、水泵風(fēng)機(jī)設(shè)備等，都可以適用于潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)和改造。同時(shí)，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點(diǎn)，也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點(diǎn)和方式。1.潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量分開7潔凈室送風(fēng)的功能，一是空調(diào)(空氣進(jìn)行溫、濕處理，滿足沽凈室的溫、濕度要求)；二是凈化(空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求)。一般情況下凈化風(fēng)量大大超過空調(diào)風(fēng)量。如果讓空調(diào)送風(fēng)同時(shí)起到空調(diào)和凈化的作用，即空調(diào)風(fēng)量和凈化風(fēng)量不分開，

6、所有的回風(fēng)都要經(jīng)過空調(diào)箱集中處理。此非常大風(fēng)量經(jīng)過空氣處理設(shè)備時(shí)，阻力會(huì)很大，風(fēng)機(jī)耗能急劇增大。同時(shí)，為了除濕，所有回風(fēng)都要處理到露點(diǎn)狀態(tài)，后為了不使室內(nèi)溫度過低，還需對(duì)送風(fēng)進(jìn)行再熱。冷熱抵消，造成不必要的浪費(fèi)。而如果把空調(diào)和凈化兩部分風(fēng)量分開處理，凈化風(fēng)量就只進(jìn)行過濾處理，可大大縮短凈化風(fēng)量輸送管道長(zhǎng)度；而對(duì)于空調(diào)風(fēng)量，由于風(fēng)量變小，可以節(jié)省空氣冷熱處理，并且同時(shí)可以減小輸送斷面和輸送耗能。在常見的潔凈空調(diào)送風(fēng)方式中，集中送風(fēng)方式、隧道式送風(fēng)方式都沒有很好地將空調(diào)風(fēng)量與潔凈風(fēng)量分開。為了方便空調(diào)和凈化功能的分離，可充分利用房間結(jié)構(gòu)就近完成，下圖1即為一種分離方式。在圖1的潔凈室中，利用

7、房間夾層將大部分潔凈風(fēng)量直接送至頂層的高效過濾器處，而無需離開潔凈室，從而降低了潔凈風(fēng)量的輸送能耗。通過回風(fēng)口處的風(fēng)閥，可以調(diào)節(jié)潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量的比例。2.減少空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)量潔凈廠房對(duì)潔凈度的高要求，造就了其空調(diào)系統(tǒng)的大風(fēng)量。由空氣動(dòng)力學(xué)的知識(shí)可知，動(dòng)力設(shè)備如風(fēng)機(jī)的耗能與其風(fēng)量的37次方成正比，因此，減少系統(tǒng)風(fēng)量，對(duì)于潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能有著重要的意義。凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量取決于換氣次數(shù)和房間體積。因此，減少系統(tǒng)的送風(fēng)量可從減少換