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1、退火溫度對Mo薄膜微觀結(jié)構(gòu)及形貌的影響曹德峰1,2,邢丕峰1,韋建軍2易泰民1楊蒙生1,鄭鳳成1,李朝陽1，謝軍11.中國工程物理研究院激光聚變研究中心，綿陽6219002.四川大學(xué)原子與分子物理研究所，成都610065[摘要]采用直流磁控濺射技術(shù)，制備了厚度為3.8μm的Mo薄膜，并對其在不同溫度下進(jìn)行了退火處理。采用白光干涉儀和SEM對Mo薄膜進(jìn)行了表征，討論了不同溫度對薄膜表面形貌的影響；利用XRD對M薄膜的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析。結(jié)果表明：隨著退火溫度由450℃升高到1050℃，晶粒平均尺寸逐漸增大，微曲應(yīng)力
2、呈減小趨勢；在溫度高于900℃時，薄膜發(fā)生再結(jié)晶，同時表面有微裂縫及大量氣孔出現(xiàn)；薄膜的表面粗糙度隨退火溫度的升高有逐步增大的趨勢。Mo薄膜；微觀應(yīng)力；退火溫度TG174.444;O484A1001-3660(2011)06-0085-03InfluenceofAnnealingTemperatureonMicrostructureandMorphologyofMoFilmsCAODe-fengXINGPi-fengWE1Jian-junYITai-minYANGMeng-shengZHENGFeng-che
3、ngLIZhao-yangXIEJun2011-08-242011-10-17曹德峰（1982-），男，山西朔州人，碩士生，主攻金屬薄膜的制備。邢丕峰（1963-），男，山東冠縣人，博士，研究員，主要研究方向為金屬薄膜。散能力@@[1]黃秀光,羅平慶,博思祖，等.一種激光驅(qū)動高壓狀態(tài)方程絕對測量方法的探索[J].物理學(xué)報,2002,51(2)：337.@@[2]李三偉,易榮清,蔣小華，等.神光Ⅲ原型lns激光驅(qū)動黑腔輻射溫度實驗研究[J.]物理學(xué)報,2009,58(5)：3255-3261.@@[3]ROTH
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