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《超聲噴霧熱分解法制備 ZnO 薄膜及襯底溫度對其性能的影響-論文.pdf》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、第43卷第3期人工晶體學(xué)報Ve1．43No．32014年3月JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALSMarch．2014超聲噴霧熱分解法制備ZnO薄膜及襯底溫度對其性能的影響黎波，龔恒翔，孟祥杰，任維義，陳太紅(1．西華師范大學(xué)理論物理研究所，南充637009；2．重慶理工大學(xué)物理實驗中心，重慶400054)摘要：以醋酸鋅水溶液為前驅(qū)體溶液，采用超聲噴霧熱分解法在玻璃襯底上制備得到了溫度在350℃到450oC范圍內(nèi)的ZnO薄膜。用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)及紫外．可見分光光度計分析了ZnO薄膜的
2、晶體結(jié)構(gòu)、微觀形貌及其光學(xué)性質(zhì)，重點探究了襯底溫度對ZnO薄膜生長過程及微觀結(jié)構(gòu)的影響。分析表明：制備的ZnO薄膜為六角鉛鋅礦結(jié)構(gòu)，襯底溫度對薄膜的質(zhì)量有著重要的影響；所得薄膜在400oC時結(jié)晶性能好，沿c軸擇優(yōu)取向生長，具有優(yōu)良的均勻性和致密性；所制備的薄膜在可見光區(qū)透過率高達(dá)86％以上，在紫外光區(qū)吸收強(qiáng)烈。關(guān)鍵詞：ZnO薄膜；超聲霧化熱解法；襯底溫度；微觀形貌；透過率中圖分類號：0484文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：1000．985X(2014)03-0523-05InfluenceofSubstrateTemperatu
3、reonthePerformanceofZnOThinFilmsPreparedbyUltrosonicSprayPyrolysisMethodBo，GONGHengxiang，MENGXiang-jie，RENWei—yi，CHENTai—hong(1．InstituteofTheoreticalPhysics，ChinaWestNormalUniversity，Nanchong637009，China；2．PhysicsExperimentCenter，ChongqingUniversityofTechnology，
4、Chongqing400054，China)(Received13September2013，accepted24January2014)Abstract：ZnOthinfilmswerepreparedonglasssubstratebyultrasonicspraypyrolysismethodfrom350℃to450oC，usingzincacetatesolutionsasprecursorsolution．Thecrystalstructure，morphologyandopticalpropertyofth
5、eZnOfilmswereanalyzedbyX-raydiffraction(XRD)，scanningelectronmicroscopy(SEM)andultraviolet-visiblespectrophotometer．TheeffectofthesubstratetemperatureonthegrowthprocessingandthemicrostructureofZnOfilmswerestudied．TheresultsshowthattheZnOthinfilmsexhibitthehexagon
6、alwurzitepolycrystallinestructure．Temperaturehasgreatinfluenceonthequali~ofthethinfilms．Theas—preparedthinfilmshavegoodcrystallinitywithexcellentuniformityandcompactnessandexhibitthehighlypreierentialorientationalongCaxiswhenthesubstratetemperatureis400cc．Allthef
7、ilmshaveahighvisibletransmittancewhicharemorethan86％andhighultravioletabsorptionvalue．Keywords：ZnOthinfilm；ultrasonicspraypyrolysis；substratetemperature；morphology；transmittance1引言ZnO薄膜是一種禁帶寬度約3．37eV的II．VI族氧化物半導(dǎo)體材料，同時具有較大的激子束縛能(60收稿日期：2013-09—13；修訂日期：20141-24基金項目
8、：四川省科技廳基金資助項目(009JY0143)；西華師范大學(xué)基本科研基金資助項目(13C008)作者簡介：黎波(1987-)，男，四川省人，碩士。E—mail：libex626@163．eom通訊作者：任維義，教授。E—mail：renweiyil18@163．com1i1J1J11川第3期黎波等：超聲噴霧熱分解法
