濺射靶材和蒸鍍膜料.doc

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1、.一、濺射靶材工具鍍膜工業(yè)????非凡物質奇妙世界工具鍍膜常應用于車削刀具、機械手、模具等各種機械及冶金用途。刀具、模具的超硬保護層，膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、DLC等，鍍層產(chǎn)品包括鉆頭、銑刀、齒輪刀具、絲錐、剪刀、切刀、頂頭、沖模等。膜層厚度一般為2~10μm，膜層要求高硬度，低磨損，耐沖擊，高附著型等，其技術層次高于裝飾鍍膜。常用靶材與裝飾鍍膜基本相同，為Ti、Al、Cr、C、Ti/Al等，常通入N2,?O2,?C2H2?等反應氣體，除了以氮化物為主要膜層，還多了類金剛鉆膜(Di

2、amond?Like?Coating,?DLC)。產(chǎn)品應用?為了追求更佳的膜層機械性質，合金靶材也已經(jīng)被大量采用在刀具上，如Ti/Si、Cr/Si、Cr/Al、Ti/Cr、Al/Ti/Si、Al/Cr/Si等。而且持續(xù)有新的多元合金正被開發(fā)測試中，制造工藝分為真空熔煉工藝、擠壓熔煉工藝、熱等靜壓工藝、熱壓燒結工藝等，不同的方法制出的靶材特性各有不同。..裝飾鍍膜工業(yè)????非凡物質奇妙世界應用真空陰極電弧源沉積技術?(Cathodic?Arc?Coating)?可在大量民生用五金件上鍍上不同的顏色，做為裝飾用途，與一般

3、表明處理用的電鍍，烤漆相比，有高硬度，高亮度，抗蝕氧化，不易脫落，不掉色等優(yōu)異特色。目前市場上最常見的衛(wèi)浴五金（蓮蓬頭、水龍頭等），建筑五金（門鎖、門把、電梯內(nèi)板），汽車五金（后視鏡），機殼（手機、電腦等），裝飾配件（發(fā)簪、紐扣）等都已大量采用此種鍍膜技術。鍍膜產(chǎn)品包括表件、日用五金件、衛(wèi)浴潔具、建筑五金件、表殼、表帶、小飾品、不銹鋼板等等，彩色膜除仿金色外，還有槍黑、烏黑、玫瑰金、棕色、藍色、綠色、灰色、銀色以及幻彩等等。常用的靶材有Ti、Zr、Cr、C、TiAl等幾種，通入N2，O2，C2H2等氣體后，可形成金黃，

4、古銅，灰黑等多種不同色調。膜層一般在1um以下。具備開發(fā)新色彩能力已經(jīng)成為裝飾鍍膜業(yè)者極力爭取的技術優(yōu)勢。???..光學/光通訊工業(yè)????非凡物質奇妙世界制備光學薄膜可用來得到各種各樣的光學特性，阿石創(chuàng)可提供光學鏡片、晶體以及光通訊行業(yè)鍍膜所需用到的高純度靶材，產(chǎn)品包括硅靶、鈮靶、鉭靶、二氧化硅靶、鈦靶等。..熱反射汽車玻璃????非凡物質奇妙世界熱反射鍍膜玻璃又稱陽光控制鍍膜玻璃，也就是通常說的鍍膜玻璃，是指具有反射太陽能作用的鍍膜玻璃。一般是通過在玻璃表面鍍覆金屬或者金屬氧化物薄膜，以達到大量反射太陽輻射和光的目

5、的，熱反射玻璃具有良好的遮光性能和隔熱性能。近年來熱反射鍍膜玻璃在賓館、飯店、商業(yè)場所得到較多應用，隨著節(jié)能問題的日益突出，熱反射玻璃在南方民用住宅中亦得到了應用。熱反射汽車玻璃：使太陽光的紅外線有效的被反射（20~25%），阻隔熱能進入車體內(nèi)（隔熱性能>30%），降低空調負荷，同時維持良好的透光性（70~75%），保持視野的清晰。阿石創(chuàng)可為客戶提供其鍍膜常用到的Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu、SS等不同規(guī)格材質的靶材，純度要求從99%~99.9%不等。低輻射建

6、筑玻璃????非凡物質奇妙世界Low-E(低輻射鍍膜玻璃)建筑玻璃，它是在玻璃表面鍍銀膜或摻氟的氧化錫膜后，利用上述膜層反射遠紅外線，達到隔熱、保溫的目的。并具有可見光高透過率（自然采光），低反射（低光污染），紫外線及近紅外線低透過率（遮陽）的效果。真空磁控濺射Low-E鍍膜中空玻璃具有最低的輻射率（0.08~0.15），能夠有效降低室內(nèi)熱能的流失，因此是最佳的“采光節(jié)能系統(tǒng)”。其使用靶材以大型平面靶和噴涂/澆鑄旋轉靶材為主，為適合不同的膜層設計，靶材有如下的多種選擇。Ag、Ni/Cr、Sn(SnO2?Film)、Ti

7、/TiO2?(TiO2?Film)、Zn(ZnOx?Film)、Si/SiAl?(SiN?x?Film)、ZnAl、ZnSn、ZnSnSb、Cr、Nb、Nb2O5等，阿石創(chuàng)可為客戶提供以上不同規(guī)格材質的濺射靶材，純度要求從99%~99.9%不等，可適各種鍍膜系統(tǒng)。其中一些脆性材料（SiAl,?Si,?TiO2），需要用等離子熱噴涂工藝制作，其材質具有低含氧量及高清潔度。..硅薄膜電池????非凡物質奇妙世界目前太陽能電池的主流為結晶硅制程，單晶或多晶硅基板形成P/N接面，再加上Ag漿印刷電路而成，轉換效率11~16%（

8、最高16~24%）。受限于硅晶的供應緊張，體積過大，及重量過重，薄膜太陽能電池成為新的趨勢走向。薄膜太陽能電池分為硅薄膜及化合物半導體二大類。硅薄膜技術（轉換效率5~8%）又可分為非晶硅a-Si，微晶硅uc-Si，及薄膜多晶硅Poly-Si三種材料的組成。由CVD法生長的a-Si搭配uc-Si或Poly-Si，形成多層堆疊結構，可