壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度測量

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1、壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度測量第六圖書館提出了一種亞角秒精度的轉(zhuǎn)角測量方法。利用ZYGO數(shù)字干涉儀測量壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺驅(qū)動待測標準平面鏡偏轉(zhuǎn)前后鏡子面形精度的PV(PeakValley)值,二者的差值除以待測標準平面鏡的直徑,其結(jié)果近似等于壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)動的角度。通過測量與誤差分析,驗證了壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度小于1μrad(0.2^n),而測量的總誤差和壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺移動的角度大小有關(guān),移動距離越大,產(chǎn)生的誤差越大,但其相對誤差小于1%。本測量方法證明壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)角精度達到了極紫外太陽望遠鏡(EUT)0.8"的角分辨率的要

2、求。提出了一種亞角秒精度的轉(zhuǎn)角測量方法。利用ZYGO數(shù)字干涉儀測量壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺驅(qū)動待測標準平面鏡偏轉(zhuǎn)前后鏡子面形精度的PV(PeakValley)值,二者的差值除以待測標準平面鏡的直徑,其結(jié)果近似等于壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)動的角度。通過測量與誤差分析,驗證了壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度小于1μrad(0.2^n),而測量的總誤差和壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺移動的角度大小有關(guān),移動距離越大,產(chǎn)生的誤差越大,但其相對誤差小于1%。本測量方法證明壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)角精度達到了極紫外太陽望遠鏡(EUT)0.8"的角分辨率的要求。極紫外太陽望遠鏡ZYGO干涉儀壓電陶

3、瓷轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)角精度光學精密工程高亮闞珊珊李敏尼啟良陳波[1]中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應(yīng)用光學國家重點實驗室,吉林長春130033[2]中國科學院研究生院,北京1000392007第六圖書館第六圖書館www.6lib.com第15卷第2期光學精密工程Vol_15No．22007年2月OpticsandPrecisionEngineeringFeb．2007文章編號1004924X(2007)02—0206—06壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度測量高亮，闞珊珊，李敏，尼啟良，陳波(1．中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應(yīng)用光學國家重點實

4、驗室，吉林長春130033；2．中國科學院研究生院，北京100039)摘要：提出了一種亞角秒精度的轉(zhuǎn)角測量方法。利用ZYGO數(shù)字干涉儀測量壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺驅(qū)動待測標準平面鏡偏轉(zhuǎn)前后鏡子面形精度的PV(PeakValley)值，=者的差值除以待測標準平面鏡的直徑，其結(jié)果近似等于壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)動的角度。通過測量與誤差分析，驗證了壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺的轉(zhuǎn)角精度小于1rad(0．2”)，而測量的總誤差和壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺移動的角度大小有關(guān)，移動距離越大，產(chǎn)生的誤差越大，但其相對誤差小于1。本測量方法證明壓電陶瓷精密轉(zhuǎn)動平臺轉(zhuǎn)角精度達到了極紫外太陽望遠鏡(EU

5、T)0+8”的角分辨率的要求。關(guān)鍵詞：極紫外太陽望遠鏡；ZYGO干涉儀；壓電陶瓷轉(zhuǎn)動平臺；轉(zhuǎn)角精度中圖分類號：TH751；TB92文獻標識碼：ARotation。。angle-accuracymeasurementofpiezotiltplatformGAOLiang，K第六圖書館ANShan—shan，LIMin，NIQi—liang。CHENBo(1．StateKeyLaboratoryoJAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，F(xiàn)ineMechanicsandPhysics，ChineseAcadem

6、yofScience，Changchun130033，China；2．GraduateschooloftheChinwww.6lib.comeseAcademytlScience，Beijing100039，China)Abstract：Asub—arcsecond—accuracymethodformeasuringrotation—anglewasproposed．Thetinyro—tation-angleofthePZTwasobtainedusingthediameterofthereferenceflatmirrordividethed

7、iffer—encebetweenthePVswhenPZTmoveanddon’tmove．Bymeasuringandanalyzing，therotationan—gleaccuracyofthePZTislessthan1Frad(0．2”)．ThetotalerrorchangeswiththerotationangleofthePZT，butitsrelativeerrorwassmallerthan1．Theresultindicatesthatthemeasuringtechniquecanmeettheresolutionofth

8、eEUTto0．8．Keywords：extraultravioletsolartelescope(EUT)；ZYGOin