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《PCVD直流脈沖頻率對(duì)TiN／TiSiN復(fù)合涂層結(jié)構(gòu)與性能的影響.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、2012年第46卷No．1213PCVD直流脈沖頻率對(duì)TiN／TiSiN復(fù)合涂層結(jié)構(gòu)與性能的影響宋之敏，曾天，高見，李洪林，宿福利，李祝四川大學(xué)分析測(cè)試中心；成都工具研究所有限公司摘要：為了探討頻率對(duì)硬質(zhì)合金基體上TiN／TiSiN復(fù)合涂層組織結(jié)構(gòu)及性能的影響，選擇了幾個(gè)不同頻率來(lái)制備TiN／TiSiN復(fù)合涂層。研究結(jié)果表明：不同頻率制備TiN／TiSiN復(fù)合涂層的表面形貌都呈圓盤狀顆粒，頻率在30kHz一70kHz變化時(shí)，復(fù)合涂層顆粒尺寸隨頻率的增加而增大，均勻性隨頻率的增加而變差；復(fù)合涂層頻率在30kHz一70kHz變化時(shí)，TiN始終在(200)方向
2、上擇優(yōu)取向；硬質(zhì)合金基體上，TiN／TiSiN復(fù)合涂層比單一TiN涂層的硬度提高更大，從1973HV0．05增加到3417HV0．05；30kHz時(shí)TiN／TiSiN復(fù)合涂層的硬度、涂層結(jié)合力和耐磨性能明顯優(yōu)于其他兩種TiN／TiSiN復(fù)合涂層。故在硬質(zhì)合金基體上，30kHz制備的TiN／TiSiN復(fù)合涂層工藝最佳。關(guān)鍵詞：TiN／TiSiN涂層；脈沖頻率；微觀結(jié)構(gòu)；性能中圖分類號(hào)：TG174．4文獻(xiàn)標(biāo)志碼：AInfluenceofPCVDDCPulseFrequenciesonTiN／TiSiNMultilayerCoatingsMicrostruct
3、ureandPropertiesSongZhimin，ZengTian，GaoJian，LiHongli，SuFuli，LiZhuAbstract：SeveralfrequenciestodeposeTiN／TiSiNmuhilayercoatingswereselectedinthepaperinordertostudytheinfluenceofthe~equencytoTiN／TiSiNmultilayercoatingsmicrostructureandpropertiesonsubstrateofWC—Co．Theresultsofthestu
4、dyshowthatthesurfacemorphologyofTiN／TiSiNcoatingswerethediscparticles．TiNphaseofTiN／Ti—SiNcoatingshadselectedgrowthdirectionon(200)crystalsidewhenthe~equencyof30kHz一70kHz；TiN／TiSiNmulti—layercoatingsthansingleTiNcoatingshardnessimproveconsiderablyfrom1973HV0．05increasedto3417HV0．
5、05．Themicro—hardness，adherencesthengthandthewearpropertyofTiN／TiSiNthatwerecoatedbythefrequencyof30kHzwerebetterthanthatofotherTiN／TiSiNmuhilayercoatings．So，theconditionof30kHzisthebesttodeposeTiN／TiSiNmulti—layercoatingsonsubstrateofWC—Co．Keywords：TiN／TiSiNcoatings；pulse~equency
6、；microstructure；mechanicalproperties本文研究了在脈沖直流PCVD法制備TiN和1引言TiN／TiSiN復(fù)合涂層中，涂層頻率在30—70kHz變TiN涂層具有優(yōu)良的耐腐蝕性能，與基體結(jié)合化時(shí)對(duì)TiN／TiSiN復(fù)合涂層組織結(jié)構(gòu)、硬度、基體結(jié)好以及高的硬度和耐磨性能。添加合金元素si制合力和耐磨性等的影響，以期得到兼具TiN涂層與備出的TiSiN涂層，不僅具有比TiN更高的硬度，而基體的良好結(jié)合力以及TiSiN涂層的高硬度和高耐且其耐磨性能也有較大提高¨J。采用兩種或多種磨性能的TiN／TiSiN復(fù)合涂層及其制備工藝。不同
7、材料經(jīng)過適當(dāng)配合組成復(fù)合涂層，綜合了單種2涂層制備和試驗(yàn)方法涂層的某些性能指標(biāo)，比其中的單一組元材料的性能好。TiN／TiSiN復(fù)合涂層兼具TiN涂層與基體的2．1涂層制備工藝良好結(jié)合力以及TiSiN涂層的高硬度和高耐磨性試驗(yàn)所用基體材料為硬質(zhì)合金YG8，密度14．65能。om，維氏硬度1025HV0．05。電流脈沖頻率對(duì)涂層硬度和質(zhì)量影響的一些研TiN涂層：通入一定比例的N、H、TiC1氣體，沉積溫度550℃，頻率30kHz。究，都展現(xiàn)出電流脈沖頻率影響的不可忽視，但TiN／TiSiN復(fù)合涂層：首先涂覆TiN涂層，涂覆這些研究在制備方法、涂層類型、脈沖
8、頻率與本文相工藝與單一TiN涂層相同。然后，保持其他工藝不差較大。而在PCVD法
