潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)標(biāo)準(zhǔn).doc

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1、......潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)一、定義二、控管項(xiàng)目三、分類亂流式(TurbulentFlow)層流式(Laminar)復(fù)合式(MixedType)四、氣流的流動(dòng)氣流的重要性風(fēng)速的控制影響因素五、潔凈室之構(gòu)成六、潔凈室按用途分類（可分為兩大類）工業(yè)潔凈室生物潔凈室七、潔凈室污染源知識(shí)1、發(fā)塵量2、發(fā)菌量八、潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范九、行業(yè)應(yīng)用十、詳細(xì)參數(shù).專業(yè)資料.......　　目錄一、定義二、控管項(xiàng)目三、分類亂流式(TurbulentFlow)層流式(Laminar)復(fù)合式(MixedType)四、氣流的

2、流動(dòng)氣流的重要性風(fēng)速的控制影響因素五、潔凈室之構(gòu)成六、潔凈室按用途分類（可分為兩大類）工業(yè)潔凈室生物潔凈室七、潔凈室污染源知識(shí)1、發(fā)塵量2、發(fā)菌量八、潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范九、行業(yè)應(yīng)用十、詳細(xì)參數(shù)一、定義二、控管項(xiàng)目三、分類亂流式(TurbulentFlow)層流式(Laminar)復(fù)合式(MixedType)四、氣流的流動(dòng)氣流的重要性風(fēng)速的控制影響因素五、潔凈室之構(gòu)成六、潔凈室按用途分類（可分為兩大類）工業(yè)潔凈室生物潔凈室七、潔凈室污染源知識(shí)1、發(fā)塵量2、發(fā)菌量八、潔凈室標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范九、行業(yè)應(yīng)用

3、十、詳細(xì)參數(shù)展開(kāi).專業(yè)資料.......一、定義　　潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的

4、生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求?！　∶苛⒎矫讓⑿∮?.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。　　潔凈室用途主要有以下三個(gè)：　　空氣潔凈室：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備?！　§o態(tài)潔凈室：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正

5、在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員?！　?dòng)態(tài)潔凈室：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。二、控管項(xiàng)目　　1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。　　2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。.專業(yè)資料.......　　3、溫度和濕度之控制?！　?、壓力之調(diào)節(jié)?！　?、有害氣體之排除?！　?、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性?！　?、靜電之防制。　　8、電磁干擾預(yù)防。　　9、安全因素之考慮?！　?0、節(jié)能之考量。三、分類亂流式(TurbulentFlow)　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣

6、過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)?！　《x：氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室?！　≡恚簛y流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別）?！　√匦裕簛y流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）.專業(yè)資料.......　　（1）自凈時(shí)間：

7、是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘)(可取15min計(jì)算)10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘)(可取25min計(jì)算)100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘)(可取30min計(jì)算)　?。?）換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí)43.5—55.3次/小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí))10,000級(jí)23.8—28.6次/小時(shí)(規(guī)范:25次/小時(shí))100,000級(jí)14.4—19.2次/小時(shí)(規(guī)范:15次/小時(shí))　　優(yōu)點(diǎn)：

8、構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)?！　∪秉c(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。層流式(Laminar)　　層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之