PVD設(shè)備及工藝簡介.ppt

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1、PVD設(shè)備及工藝簡介目錄PVD設(shè)備簡介泵靶真空測量真空檢漏PVD工藝簡介PVD相關(guān)概念定義磁控濺射鉑陽生產(chǎn)線相關(guān)工藝簡介合金靶的濺射金屬氧化物的濺射PVD設(shè)備簡介鉑陽生產(chǎn)線PVD真空設(shè)備布局圖抽空系統(tǒng)抽空系統(tǒng)一、2X泵1.概述:1.1用途:2X型旋片式真空泵(以下簡稱真空泵)是用已抽除特定密封容器內(nèi)的氣體,使該容器獲得一定真空度的基本設(shè)備.可供電器、電真空、半導(dǎo)體、食品、原子能、編織等科研機(jī)關(guān)、大專院校、工礦企業(yè)和生產(chǎn)與教學(xué)之用,真空泵可直接獲得1.3×10Pa以下的真空度,也可作為其它真空設(shè)備的前級使用.1.2特點(diǎn)及其不適用范圍:真空泵是用黑色金屬制

2、造,屬較精精密的設(shè)備,真空泵的主要工作部件浸在特制的真空泵油中工作,因此不適用于抽含氧過高的、有毒的、有爆炸性的、對真空泵油起化學(xué)作用或?qū)谏饘儆懈g作用的氣體,如必須使泵抽出前述情況的氣體,應(yīng)在進(jìn)氣管道上加裝中和、冷卻、過濾等有關(guān)裝置配合使用,否則將影響真空泵使用性能和壽命,也不能作為壓縮機(jī)和輸送泵使用.常用泵為2X-30、2X-70泵兩種.抽空系統(tǒng)抽空系統(tǒng)2.技術(shù)要求:2.1品種規(guī)格及性能:（見右表）?.熱偶計測量的是各種蒸汽和永久氣體的總壓力,而麥化計只能測出永久氣體占的分壓力.?.幾何抽速是根據(jù)幾何尺寸算出的抽速在大氣壓力時,實(shí)際抽速與幾何抽

3、速基本相符合,在各種不同的壓力時,抽速有一定下降.?.溫升是指泵溫穩(wěn)定后,在排氣閥門處的油的溫度與室溫之差.抽空系統(tǒng)2.2型號的組成及代表意義:X-30表示每秒的抽氣速率表示旋片式真空泵表示雙級泵2.3使用環(huán)境條件:環(huán)境溫度5~40℃.相對溫度不大于90%。抽空系統(tǒng)3.結(jié)構(gòu)與工作原理.3.1結(jié)構(gòu):2X系列的各種真空泵外形和結(jié)構(gòu)基本相同.泵由電機(jī)經(jīng)三角皮帶傳動轉(zhuǎn)子電機(jī)和泵用螺釘卡板固定在底盤上.泵由泵體、高轉(zhuǎn)子、低轉(zhuǎn)子、前端板、后端板、高轉(zhuǎn)片、低轉(zhuǎn)片、排氣閥、排氣罩、視鏡……等零部件組成.在泵體內(nèi)壓入一個中隔板,將泵體分成高低真空室,各室都有排氣門.高真

4、空室排氣與低真空室進(jìn)氣相通.高轉(zhuǎn)子前端伸出前軸,后端伸出后軸.前軸通過前端板的軸承支持,經(jīng)過油密封室而伸出前端板外;后軸由中隔板上的軸承支持;而伸入低真空室內(nèi),低真空室轉(zhuǎn)子則裝在后軸上,故高低轉(zhuǎn)子均由前軸帶動,高低轉(zhuǎn)子都有對開的槽子,呈“T”型的轉(zhuǎn)片由彈簧支撐開而裝于槽內(nèi).泵的進(jìn)氣口處有過濾網(wǎng),而排氣口處有擋油網(wǎng),大泵還有擋油板,視鏡左邊有摻氣閥,下邊有放油塞。抽空系統(tǒng)1.皮帶輪2.鍵3.前端板4.高轉(zhuǎn)子5.高轉(zhuǎn)片6.進(jìn)氣嘴7.密封圈8.排氣罩9.過濾網(wǎng)10.泵體11.低轉(zhuǎn)子12.彈簧13.低轉(zhuǎn)片14.后端板15.密封圈16.手柄17.放油塞18.紙墊

5、19.閥座20.閥片21.擋板22.視鏡23.鏡框24定位銷釘抽空系統(tǒng)1.進(jìn)氣嘴2.密封圈3.過濾網(wǎng)4.皮帶輪5.前端板6.高轉(zhuǎn)片7.高轉(zhuǎn)子8.軸承9.前軸10.油密封室11.彈簧12.定位銷13.排氣罩14.排氣墊15.擋油網(wǎng)16.泵體17.中隔板18.后端板19.低轉(zhuǎn)子20.水接頭21.鍵22.低轉(zhuǎn)片23.水蓋板24.排氣閥25.視鏡27.摻氣閥27.放油塞表示真空氣格.表示低真空氣路.抽空系統(tǒng)3.2工作原理:圖3是2X系列真空泵原理圖,轉(zhuǎn)子3及7與高真空室1及低真空室6相切,轉(zhuǎn)子3與7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn),帶動轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的轉(zhuǎn)片8旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心

6、力的作用,轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動,把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個容積,并且周期性地大小變化,當(dāng)在圖標(biāo)位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沿氣嘴進(jìn)入泵內(nèi),同時B及D容積逐漸減小,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T的,故能防止氣體返回真空室,當(dāng)抽氣壓力較高時,高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級泵;當(dāng)真空度較高時,全部氣體進(jìn)入低真空室,再由排氣閥門10排出,此時二級串聯(lián)即進(jìn)入雙級泵工作。如被

7、抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時,在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓力時,此時蒸汽被壓縮成為液體,真空泵無法排出而混在真空油內(nèi),使泵的性能大大降低,如果摻入適量的空氣,使蒸汽在受到壓縮時其分壓力也低于泵溫時的飽和壓力,則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去,故本系列2X-1以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11(見下圖)。抽空系統(tǒng)圖三2X系列真空泵原理圖抽空系統(tǒng)二.ZJP-300羅茨泵1.概述:1.1應(yīng)用:羅茨真空泵也稱機(jī)械增壓泵,它是快速抽除密封容器中氣體的一種較為理想的真空獲得設(shè)備.它不能直接從大氣壓下抽氣,須與各類前級泵

8、(如旋片泵、液環(huán)泵、滑閥泵等)配套組成真空系統(tǒng).廣泛應(yīng)用于冶金、化工、電子、輕紡等領(lǐng)域。抽空系