硅PNP雙極型晶體管(器件工藝技術(shù))課件.ppt

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1、硅PNP雙極型晶體管PNPBipolarJunctionTransistors小組成員李釗戴金銳王偉利集成10半導(dǎo)體制造工藝1目錄 (1)器件的應(yīng)用 (2)器件的結(jié)構(gòu)及名稱 (3)器件的制作工藝 (4)器件的發(fā)展歷程 (5)雙極型器件的擴(kuò)展一、器件的應(yīng)用雙極性晶體管能夠放大信號(hào),提供較高的跨導(dǎo)和輸出電阻,并且具有較好的功率控制、高速工作以及耐久能力,所以它常被用來構(gòu)成放大器電路,或驅(qū)動(dòng)揚(yáng)聲器、電動(dòng)機(jī)等設(shè)備,并被廣泛地應(yīng)用于航空航天工程、醫(yī)療器械和機(jī)器人等應(yīng)用產(chǎn)品中。并且可以將它控制在截止和飽和狀態(tài)下用作開關(guān)器件。二、器件的結(jié)構(gòu)圖平衡條件下的PNP三極管的示意圖三極管俯視圖三

2、極管剖面圖C:collector集電區(qū)B:base基區(qū)E:emitter發(fā)射區(qū)三、器件的制作工藝四.雙極結(jié)型晶體管的發(fā)展歷史1947.12.23日第一只點(diǎn)接觸晶體管誕生-BellLab.(Bardeen、Shockley、Brattain)1949年提出PN結(jié)和雙極結(jié)型晶體管理論-BellLab.(Shockley)1951年制造出第一只鍺結(jié)型晶體管-BellLab.(Shockley)1956年制造出第一只硅結(jié)型晶體管-美德州儀器公司(TI)1956年Bardeen、Shockley、Brattain獲諾貝爾獎(jiǎng)1956年中國制造出第一只鍺結(jié)型晶體管-(吉林大學(xué)高鼎三)19

3、70年硅平面工藝成熟,雙極結(jié)型晶體管大批量生產(chǎn)在圖中的異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管中,基極區(qū)域的能隙分布不均勻有利于少數(shù)載流子(電子)通過基極區(qū)域。圖中淺藍(lán)色表示耗盡層。五.雙極型器件的擴(kuò)展——異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管(heterojunctionbipolartransistor)是一種改良的雙極性晶體管,它具有高速工作的能力。研究發(fā)現(xiàn),這種晶體管可以處理頻率高達(dá)幾百GHz的超高頻信號(hào),因此它適用于射頻功率放大、激光驅(qū)動(dòng)等對工作速度要求苛刻的應(yīng)用。異質(zhì)結(jié)是PN結(jié)的一種,這種結(jié)的兩端由不同的半導(dǎo)體材料制成。在這種雙極性晶體管中,發(fā)射結(jié)通常采用異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu),即發(fā)射極區(qū)域采用寬

4、禁帶材料,基極區(qū)域采用窄禁帶材料。常見的異質(zhì)結(jié)用砷化鎵(GaAs)制造基極區(qū)域,用鋁-鎵-砷固溶體(AlxGa1-xAs)制造發(fā)射極區(qū)域。[1]:101采用這樣的異質(zhì)結(jié),雙極性晶體管的注入效率可以得到提升,電流增益也可以提高幾個(gè)數(shù)量級(jí)。THANKS!

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