圓柱表面微結(jié)構(gòu)陣列超精密車削加工技術(shù).pdf

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1、第12卷第5期納米技術(shù)與精密工程Vo1.12No.52014年9月NanotechnologyandPrecisionEngineeringSept.2014DOI10.13494/j.ripe.20140033圓柱表面微結(jié)構(gòu)陣列超精密車削加工技術(shù)范占斌,戴一帆,關(guān)朝亮,鐵貴鵬,朱登超’(1.國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機電工程與自動化學(xué)院,長沙410073;2.超精密加工技術(shù)湖南省重點實驗室,長沙410073)摘要:輥子是光學(xué)薄膜模壓制造的關(guān)鍵零件,其圓柱表面微結(jié)構(gòu)復(fù)雜,表面粗糙度要求也極高.超精密車削成形作為微結(jié)構(gòu)的一種高效加工方式,其加工的可達性、伺服刀具動態(tài)特性的制約、海量微結(jié)構(gòu)的加工

2、長時一致性等是高質(zhì)量輥子微結(jié)構(gòu)加工所需解決的關(guān)鍵問題.本文以圓柱球面微結(jié)構(gòu)陣列為例,從其數(shù)學(xué)描述入手,分析了刀具幾何尺寸、伺服系統(tǒng)動態(tài)特性與微結(jié)構(gòu)加工可達性之間的制約關(guān)系,并在自主研制的超精密車床和快刀伺服系統(tǒng)上進行了兩種球面微結(jié)構(gòu)的加工實驗,得到了預(yù)期的微結(jié)構(gòu)形貌,并對加工實驗中發(fā)現(xiàn)的切深不一致現(xiàn)象給出了初步的解釋.關(guān)鍵詞:輥子;微結(jié)構(gòu)陣列;超精密車削;快刀伺服系統(tǒng)中圖分類號:TH161文獻標志碼:A文章編號:1672~030(2014)05-0358-07Ultra-PrecisionTurningProcessingTechniqueofMicrostructureArray

3、onCylindricalSurfaceFanZhanbin,DaiYifan,GuanChaoliang,TieGuipeng,ZhuDengchao'(1.CollegeofMechatronicEngineeringandAutomation,NationalUniversityofDe~nseTechnology,Changsha410073,China;2.HunanKeyLaboratoryofUltra—PrecisionMachiningTechnology,Changsha410073,China)Abstract:Therollerisacriticalpart

4、intheembossingofopticaldiffuserfilm.Itsmicrostructureoncy—lindricalsurfaceiscomplicatedanditsrequirementofSOl'aceroughnessisextremelyhigh.Astheultra—precisionturningmethodisahighlyefficientwaytoprocessmicrostructure,thekeyproblemsinneedofsolutioninmachiningrollermicrostructurewithhighqualityar

5、ethereachabilityofturningprocess,re—strictionofdynamiccharacteristicsofservotool,andprocessingconsistencyofmassivemicrostructure.Takingsphericalmicrostructurearrayoncylindricalsurfaceforexample,thispaperstartedwithmath—ematicexpressionofthesphericalarray,andanalyzedthegeometricdimensionoftheto

6、ol,andthere—strictiverelationshipsbetweendynamiccharacteristicsoftheservotoolandreachabilityofthemachineformicrostructure.Theexperimentfortwokindsofsphericalmicrostructurearrayswereconductedonself-developedultra—precisionlatheandfasttoolservosystem,andtheprospectivemorphologywasobtained.Thisst

7、udyprovidespreliminaryexplanationforthephenomenonofcuttingdepthinconsistencywhentheservotoolisrunning.Keywords:roller;microstructurearray;ultra—precisionturning;fasttoolservosystem光學(xué)薄膜廣泛應(yīng)用在手機、掌上電腦及筆記本電構(gòu).輥子模壓是將輥子表面的微結(jié)構(gòu)直接復(fù)印到光學(xué)腦等顯示領(lǐng)域¨,其表面經(jīng)

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