Quanta-200掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室安全操作規(guī)程.doc

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1、Quanta200掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室安全操作規(guī)程1．開機(jī)前的檢查1.1室溫：18℃～25℃；1.2濕度：<80％；1.3Quanta200真空泵PVP1和PVP2的油面指示應(yīng)在規(guī)定位置，油要干凈，無色透明，無污染，每月檢查一次；2．試樣制備2.1微細(xì)和超細(xì)粉體（粒度<10mm）樣品，取少量樣品直接放在燒杯中，用無水乙醇做溶劑，超聲分散，用干凈滴管吸取少量液滴置于銅托上，并用紅外燈照射干燥；2.2粗顆粒樣品，取少量粘在銅托上的導(dǎo)電膠帶上，用無毛紙輕壓，使樣品顆粒牢牢粘住，并清楚粘在銅托側(cè)面上的粉樣；2.3塊狀樣品，高度應(yīng)在15mm以下，要用無水乙醇浸泡，清洗干凈，放在超聲波水槽中處理，

2、以除去油脂、灰塵、贓物和水分；2.4試樣一定要無水、無油，觀察前要用紅外燈照射干燥。3．開機(jī)嚴(yán)格按開機(jī)順序操作，開機(jī)抽真空5分鐘內(nèi)，系統(tǒng)真空應(yīng)達(dá)到要求（<1.0′10-4Torr），如果系統(tǒng)真空不能達(dá)到要求，應(yīng)檢查樣品室門是否關(guān)好、樣品室密封圈墊圈及密封平面是否干凈或其它連接處是否有漏氣現(xiàn)象。如果不能解決應(yīng)及時(shí)報(bào)告，并與廠商聯(lián)系。4．試樣觀察4.1按儀器說明步驟操作，選擇合適工作參數(shù)；4.2注意樣品高度，樣品的高度要小于卡尺的長(zhǎng)度，千萬不要使樣品觀察面碰觸物鏡下方的背散射電子探測(cè)器；4.3更換樣品時(shí)，一定要先切斷燈絲高壓，待燈絲冷卻5分鐘以后再放氣。開關(guān)樣品室門，手扶住門下側(cè)的拉

3、桿，輕輕地向外或向里推。勿抓X、Y、Z、R調(diào)節(jié)桿來開關(guān)門，門要拉到合適的位置，才能更換試樣。要帶手套取放樣品架，手千萬不要伸到樣品室內(nèi)，以防止碰傷各種探測(cè)器；4.3更換樣品時(shí)，開關(guān)門動(dòng)作要輕，不使鏡筒產(chǎn)生過大振動(dòng)。更換樣品后要及時(shí)關(guān)門，樣品室放大氣的時(shí)間不宜過長(zhǎng)，一般不得超過20分鐘；4.4樣品室內(nèi)如果臟了，用無塵紙（布）擦拭，注意不要碰觸探測(cè)器；4.5儀器觀察過程中，若暫時(shí)停止觀察，應(yīng)立即切斷燈絲高壓；4.6儀器觀察過程中，若突然發(fā)生斷電事故，應(yīng)立即切斷計(jì)算機(jī)電源開關(guān)再切斷服務(wù)器電源開關(guān)，最后切斷總電源開關(guān)。1．關(guān)機(jī)關(guān)機(jī)順序：1)切斷燈絲高壓；2)將SEM放大倍數(shù)調(diào)至最小3)等

4、待燈絲冷卻5分鐘后，放大氣；4)關(guān)SEM程序，退出XTserver；5)關(guān)閉計(jì)算機(jī)；6)關(guān)閉服務(wù)器電源；7)關(guān)閉房間內(nèi)總電源。2．維護(hù)6.1粉體樣品易污染樣品室和鏡筒，制樣時(shí)使用量盡量少，樣品托上樣品層厚度要非常薄，不要“起皮”；6.2更換試樣時(shí)，開關(guān)門動(dòng)作要輕，防止造成粉末樣的飛濺，污染樣品室；6.3SEM系統(tǒng)從安裝起就應(yīng)一直保持真空，所以在長(zhǎng)期不用或放假時(shí)，要求每隔五天抽真空一次；6.4更換樣品過程中，要等軟件控制面板上的VENT鍵變成黑色后才可以打開樣品室的門，SEM樣品室通大氣的時(shí)間不宜過長(zhǎng)，一般不超過20分鐘；6.5樣品室內(nèi)的探頭，千萬不要用氣球吹，尤其是二次電子的閃爍

5、體；6.6每季度檢查一次渦輪分子泵油的顏色和液位，及時(shí)更換或補(bǔ)充專用真空油；6.7保持實(shí)驗(yàn)室的清潔，擦拭儀器時(shí)，要切斷整個(gè)儀器的電源，用柔軟的濕布擦，切忌用溶劑擦拭；6.1系統(tǒng)真空達(dá)不到要求時(shí)，重點(diǎn)檢SEM樣品室門和電子槍的密封墊圈，密封平面是否干凈，若有灰塵或粉體樣顆粒，用無塵紙擦拭干凈，并涂少量真空密封油脂；6.2更換燈絲時(shí)，揭開電子槍，取下燈絲后，馬上將電子槍還原蓋好，以防止臟物進(jìn)入鏡筒；6.3儀器工作時(shí)，尤其在進(jìn)行高倍數(shù)（>10，000X時(shí)）照相時(shí)，禁止手扶或靠壓在電鏡系統(tǒng)上；6.4儀器通電時(shí)，禁止電子槍的高壓電纜線，以防發(fā)生危險(xiǎn)。Quanta200掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室2005

6、.1.17