精密和超精密加工.doc

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1、精密和超精密加工part?1?概念1、微細加工:指制造微小尺寸零件的生產(chǎn)加工技術(shù)2、電子束加工:利用電子束的高能量密度進行鉆孔，切槽，光刻等工作3、空氣潔凈度:指空氣中含塵埃量多少的程度4、恒溫精度:指相對于空氣平均溫度所允許的偏差值5、鏡面磨削:一般指加工表面粗糙度達到Ra0.02-0.01um，表面光澤如鏡的磨削方法6、解理現(xiàn)象:是某些晶體特有的現(xiàn)象，晶體受到定向的機械力作用時，可以沿平行于某個平面平整地劈開的現(xiàn)象。7、進化原則:即在精度比工件要求較低的機床上，利用誤差補償技術(shù)，提高加工精度，使加工精度比機床原有精度高。也稱創(chuàng)造性原則。8、研磨加工：是指利用硬度比被加工材

2、料更高的微米級磨粒，在硬質(zhì)研磨盤作用下產(chǎn)生的微切削和滾扎作用實現(xiàn)被加工表面的微量材料去除，使工件的形狀，尺寸精度達到要求值，并降低表面粗糙度、減小變質(zhì)層的加工方法。part2?判斷1、最近出現(xiàn)的隧道掃描顯微鏡的分辨率是0.01nm，是目前世界上精度最高的測量儀，可用于測量金屬和半導體零件表面的原子分布的形貌。最新研究，在掃描隧道顯微鏡下可移動原子實現(xiàn)精密工程最終目標--原子的精密加工2、用金剛石刀具進行超精密切削，用于加工鋁合金，無氧銅，黃銅，非電解鎳等有色金屬和某些非金屬材料3、使用切削液后，以消除了積屑瘤對加工表面粗糙度的影響，這時切屑速度已和加工表面粗糙度無關(guān)，這種情況

3、和普通切削時鋼的規(guī)律不同4、超精密切削實際能達到的最小切削厚度和金剛石刀具的鋒銳度，使用的超精密機床的機能狀態(tài)，切削的環(huán)境條件等都直接有關(guān)4、金剛石有較大的熱容量和良好的導熱性，不適宜磨削，鋼鐵材料，不能加工黑色金屬材料5、無論是正電壓或者負電壓，傳感器的伸長量是相同的6、保證零件加工精密途徑1）靠所用機床保證?即機床精度高于工件所要求精度，｛蛻化原則??母性原則｝2）精度比工件要求較低的機床利用誤差補償技術(shù)提高加工精度，使加工精度化機床原有精度高｛進化原則，創(chuàng)造性原則｝part3??單選?填空1、精度和超精度的三個領(lǐng)域1）超精密切削2）精密和超精密磨削研磨3）精密特種加工2

4、、金剛石具有兩個比較重要的問題1）晶面的選擇2）金剛石刀具的研磨質(zhì)量--切削刀鈍圓半徑rn3、超精密切削實際選擇的切削速度，經(jīng)常根據(jù)所使用的超精密機床的動特性，切削系統(tǒng)的動特性選取，即選擇振動的最小轉(zhuǎn)速4、積屑瘤高時，切削力大。小時，切削力小5、超精密切削時，切削速度不受刀具壽命制約，這點和普通切削規(guī)律不同6、研磨金剛石晶體時，（110）晶面摩擦因數(shù)最大（100）次之（111）晶面最小7、金剛石刀具的磨損，主要屬于機械磨損，磨損的本質(zhì)是微觀解理的積累8、金剛石晶體定向方法1）人工目測定向2）x射線晶體定向3）激光晶體定向9、（110）晶面的激光衍射光像呈二葉形10、金剛石刀具

5、一般不采用主切削刃和副切削刃相交為一點的尖銳刀尖11、由于金剛石的脆性，在保證獲得較小的加工表面粗糙度的前提下，為增加切削刃死亡強度，應(yīng)采用較大的刀具楔角阝（貝塔），故刀具前角后角取得較小12、主張選用（110）晶面作為前面或后面13、（100）晶面的耐磨性明顯高于（110）晶面14、精密和超精密磨料加工是利用細粒度的磨料和微粉對黑色金屬，硬脆材料等，用精密和超精密加工是當前最主要的精密加工手段15、在磨削鋼件及鑄鐵件時，采用剛玉磨料16、在加工硬質(zhì)合金及非金屬硬脆材料時，金剛石砂輪的金屬清除率優(yōu)于立方化硼砂輪17、金剛石砂輪磨削時常用，磨削硬質(zhì)合金時普遍采用煤油18、鏡面磨

6、削一般指加工表面粗糙度達到Ra0.02-0.01mm?19、超精密度磨削時有?微切削作用，塑性流動和彈性破壞作用，同時還有滑擦作用20、從加工機理來看，砂帶磨削兼有磨削、研磨和拋光的集合作用，是一種復合加工21、工件直徑較大并且重量較重時，超精密機床多采用立式結(jié)構(gòu)布局22、床身材料：1）優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵2）花崗巖3）人造花崗巖23、?精密和超精密機床現(xiàn)采用的導軌1）滾動導軌??2）液體靜壓導軌3）氣浮導軌4）空氣靜壓導軌24、?電致伸縮式微量進給機構(gòu)（比較成熟試用）25、金屬材料的研磨，其特點之一是沒有裂紋26、微細切削時，為保證工件尺寸精度要求，其最后一次表面切除層厚度必須小于

7、尺寸精度值27?、離子束加工的特點：離子束加工是靠微觀力效應(yīng)，不引起機械應(yīng)力和損傷28?、精密和超精密加工的環(huán)境，（一般情況下）相對濕度應(yīng)控制在35%-45%之間29?、恒溫精度一般分為?0.2?級，0.5?級?1?級和2?級四個等級。分別代表恒溫精度為±0.2℃、±0.5℃、±1℃、±2℃30、納米級加工的物理實質(zhì)就是要切斷原子間的結(jié)合，實現(xiàn)原子或分子的去除。31、光刻加工技術(shù)是針對繼承電路制作的。32、金剛石晶體可以沿解理面（111面）平整的劈開兩半。33、在高切削率方向上，（110）晶面的磨削率最