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1、進(jìn)入夏天，少不了一個(gè)熱字當(dāng)頭，電扇空調(diào)陸續(xù)登場(chǎng)，每逢此時(shí)，總會(huì)想起那一把蒲扇。蒲扇，是記憶中的農(nóng)村，夏季經(jīng)常用的一件物品?！ ∮洃浿械墓枢l(xiāng)，每逢進(jìn)入夏天，集市上最常見(jiàn)的便是蒲扇、涼席，不論男女老少，個(gè)個(gè)手持一把，忽閃忽閃個(gè)不停，嘴里叨叨著“怎么這么熱”，于是三五成群，聚在大樹(shù)下，或站著，或隨即坐在石頭上，手持那把扇子，邊嘮嗑邊乘涼。孩子們卻在周?chē)芘芴?，熱得滿頭大汗，不時(shí)聽(tīng)到“強(qiáng)子，別跑了，快來(lái)我給你扇扇”。孩子們才不聽(tīng)這一套，跑個(gè)沒(méi)完，直到累氣喘吁吁，這才一跑一踮地圍過(guò)了，這時(shí)母親總是，好似生氣的樣子，邊扇邊訓(xùn)，“你看熱的，跑什么？”此時(shí)這把蒲扇，是那么涼快，那么的溫馨幸福，有母親的味道！
2、 蒲扇是中國(guó)傳統(tǒng)工藝品，在我國(guó)已有三千年多年的歷史。取材于棕櫚樹(shù)，制作簡(jiǎn)單，方便攜帶，且蒲扇的表面光滑，因而，古人常會(huì)在上面作畫(huà)。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇諸名，實(shí)即今日的蒲扇，江浙稱(chēng)之為芭蕉扇。六七十年代，人們最常用的就是這種，似圓非圓，輕巧又便宜的蒲扇?！ ∑焉攘鱾髦两瘢业挠洃浿?，它跨越了半個(gè)世紀(jì)，也走過(guò)了我們的半個(gè)人生的軌跡，攜帶著特有的念想，一年年，一天天，流向長(zhǎng)長(zhǎng)的時(shí)間隧道，裊TFT制程簡(jiǎn)介目錄:TFT制作流程圖TFT制作過(guò)程說(shuō)明TFT五層制程說(shuō)明TFT的制作類(lèi)型TFT的工作原理補(bǔ)充說(shuō)明:1.實(shí)際顯微鏡下的比對(duì)2.TFT-LCD的工作說(shuō)明其它…TFT制作流程圖:PreCleanT
3、hinFilmDeposition1.Macro-Inspection2.MonitorPRcoatingExposureDeveloping1.ADI2.CDmeasurement3.AOIDryorWetEtchingResiststripping1.AEI2.CDmeasurement3.Etchratemonitor4.AOIPreClean1.Testkey2.Functiontest3.LaserrepairPhotoProcessThinFilmProcessEtchingProcessFinaltestingTFTLayers五層結(jié)構(gòu)圖GateGlassSubstratea-S
4、iGatemetalLayer-1Insulator(G-SiNx)Layer-2n+a-SiS/DmetalLayer-3S/DmetalLayer-3PassivationLayer-4ITOLayer-5PassivationLayer-4SourceDrainTFT制作流程圖:Initialclean初始清洗Metal1DepositionGate薄膜沈積Pre-Depclean沈積前清洗Pre-Photoclean光阻被覆/曝光/顯影Metal1photoLayer1黃光制程WetetchLayer1蝕刻PRstrip去除光阻Pre-depclean沈積前預(yù)洗G-I-NDeposit
5、ionG-I-N薄膜沈積ADICD顯影后CD量測(cè)CDLoss蝕刻后CDLoss量測(cè)MarcoInspection強(qiáng)光檢查INphotoIN黃光制程ADICD顯影后CD量測(cè)INetchIN蝕刻MarcoInspection強(qiáng)光檢查L(zhǎng)ayer-1Layer-2TFT制作流程圖:PRstrip去除光阻MarcoInspection強(qiáng)光檢查Pre-Depclean沈積前預(yù)洗S/DsputterS/D薄膜沈積MarcoInspection強(qiáng)光檢查S/DphotoS/D黃光ADICD顯影后CD量測(cè)S/DetchS/D蝕刻BAKE蝕刻前烘烤N+etchchannel蝕刻PRstrip去除光阻Surfacec
6、onditionS/DCDLoss量測(cè)Pass.CVD護(hù)層沈積MarcoInspection強(qiáng)光檢查Pass.photo護(hù)層黃光ADICD顯影后CD量測(cè)Layer-2Layer-3Layer-4TFT制作流程圖:Pass.etch護(hù)層蝕刻PRstrip去除光阻ITOSputterITO薄膜沈積MarcoInspection強(qiáng)光檢查ITO.photoITO黃光ADICD顯影后CD量測(cè)ITO.etchITO蝕刻PRstrip去除光阻ITOspaceCDLossITOCDLoss量測(cè)FinalAnneal回火TEG電性量測(cè)ArraytestArray測(cè)試LaserRepair雷射修護(hù)Layer-4L
7、ayer-5Test說(shuō)明CsongateCst金屬不透光區(qū)BM遮進(jìn)來(lái)的區(qū)域ITO電極區(qū)能夠控制液晶分子排列的區(qū)域A.R.=65%顯微鏡下的DOT等效電路圖:說(shuō)明CsoncommonBM遮進(jìn)來(lái)的區(qū)域ITO電極區(qū)能夠控制液晶分子排列的區(qū)域Cst金屬不透光區(qū)A.R.=61%等效電路圖:顯微鏡下的DOTTFTDevice原件動(dòng)作原理:視為一個(gè)開(kāi)關(guān)組件GDSGDSGDSONOFFi)在閘極給予適當(dāng)之電壓:V
