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1、VDMOS工藝VDMOSFET的結構基本結構n+襯底，漏極Dn-外延層，漂移區(qū)p阱（又叫p基區(qū) 或體區(qū)）n+源區(qū)，源極S多晶硅柵，柵氧層， 柵極G2整個器件的構成前述結構實際只是器件的一個元胞，整個器件實際是由很多這樣的元胞并聯而成的剖面圖34、清洗5、氧化：dox=6500±250?800℃-1000℃-800℃6、一次版7、腐蝕，去膠，清洗腐蝕：溫度25℃N-N+78、P+擴散預擴：R□=80～100Ω/□700℃-940℃-700℃主擴：R□=150～180Ω/□800℃-1150℃-800℃89、氧化10、光刻：二次版反刻P+區(qū)，5000pm911、腐蝕，(溫度25℃)
2、t=8.1s12、去膠清洗13、柵氧化dox=1000-1100?作C-V檢查實測dox=1060-1050?10此步驟須單獨做，主要是為了生長出高質量的氧化層6000～7000?SiO21000?SiO21114、生長多晶硅7000?±200?15、清洗1216、三次版：光刻P-區(qū)（多晶硅）三次版留下柵和互連的多晶硅（使多晶硅成為p型）SiO24000?以上7000±200?多晶硅1000～1100?SiO21317、腐蝕多晶硅（P-區(qū)），干腐：9'50''18、漂柵氧，（注意不要過漂，留下50～100?）（P-區(qū)內）50～100?1419、硼注入（帶膠）60Kev1.7×1
3、014/cm2＜15μAB1520、正面涂膠（5000pm）21、背面腐蝕多晶硅（干法）和SiO2干腐4'38''漂2'22、去膠清洗1623、P-推進dox=1000?800-1150-800℃多晶硅7000?SiO21000?1724、漂SiO2,擴磷(N+),同時形成溝道,R□=6～7Ω/□,Xjn=1.1μ,Xjp=5μ,R□poly-Si≤30Ω/□N+G25、漂磷硅玻璃（PSiO2）（去離子水HF）1826、氧化950℃5'干氧+20'濕氧+5'干氧dox=2100?1928、刻邊緣多晶硅（即刻場限制環(huán)上的多晶硅）5000pm接觸環(huán)上dox＞1000?合格29、腐蝕
4、（先濕腐多晶硅上的SiO2）6'45'‘30、去膠清洗3-3-1-2爐口烘800℃20'N22031、光刻孔（源，柵）（刻引線孔）5000pm32、蒸鋁：2.2μm33、反刻Al5000rpm（刻電極）34、合金35、涂聚酰氬胺,氬胺化36、背面金屬化：釩360?，鎳8000?，金1000?37、測試21謝謝！22《素問·咳論第三十八》原文導讀Contents2咳，即咳嗽?？人砸蛔C雖散見于《內經》各篇，但獨詳于此篇?！酒狻緾ontents2本篇從整體觀念出發(fā)，系統地討論了咳嗽的病因病機、辨證分類、傳變規(guī)律和治療原則等問題，是《內經》論述論咳的專篇，故篇名為“咳論”。Conte
5、nts2（一級）黃帝問曰：肺之令人咳，何也？岐伯對曰：五藏六府皆令人咳，非獨肺也。帝曰：愿聞其狀。岐伯曰：皮毛者，肺之合也，皮毛先受邪氣，邪氣以從其合也。其寒飲食入胃，從肺脈上至于肺，則肺寒，肺寒則外內合邪，因而客之，則為肺咳。五藏各以其時受病，非其時各傳以與之。人與天地相參，故五藏各以治時，感于寒則受病，微則為咳，甚者為泄、為痛。乘秋則肺先受邪，乘春則肝先受之，乘夏則心先受之，乘至陰則脾先受之，乘冬則腎先受之?！驹摹?一）手太陰肺經Contents2【校注】強調掌握詞語1、非其時各傳以與之2、治時3、乘Contents21、非其時各傳以與之：若不在肺所主之時受病，是它臟傳至
6、于肺。 2、治時：指五藏所主旺的時令。3、乘：趁也。此指當……之時。Contents2一、提出了“五藏六府皆令人咳，非獨肺也”的觀點。【分析】※本句意為五藏六腑的病變都能使人發(fā)生咳嗽，不只是肺?！揪鋸恼w觀念出發(fā)，揭示出咳嗽雖為肺的病變，但如果其它藏腑發(fā)生病變，也可影響到肺而導致咳嗽。Contents2※因為肺主氣，為藏之長，肺朝百脈，故五藏六腑功能失調均能影響到肺，導致肺失宣降，肺氣上逆而發(fā)生咳嗽。如脾虛生痰，痰濕上犯于肺；肝火上沖，氣逆犯肺；腎虛水泛，寒水射肺等?！揪湔f明了咳不離乎肺，然不止于肺。Contents2※原文指出：“皮毛者，肺之合也，皮毛先受邪氣，邪氣以從其
7、合也。其寒飲食入胃，從肺脈上至于肺，則肺寒，肺寒則外內合邪，因而客之，則為肺咳?！薄鹊牟∫蚴恰巴鈨群闲啊保赐庥酗L寒邪氣侵襲，內有寒涼飲食入胃?！鹊牟C是風寒外襲，邪氣由表及里內舍于肺；內有寒冷飲食入胃，邪氣從肺脈上至于肺，肺為嬌臟不耐寒涼，內外之寒傷及于肺，導致肺氣失調，宣降失常，發(fā)為肺咳。二、論述了肺咳的病因病機。Contents2※原文為“乘秋則肺先受邪，乘春則肝先受之，乘夏則心先受之，乘至陰則脾先受之，乘冬則腎先受之。”說明了外邪傷五藏各有一定的針對性，不同的季節(jié)有不同的外邪，傷
