掩模板功能用途書(shū)面書(shū)

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1、掩模板功能用途說(shuō)明書(shū)中文名稱(chēng)：掩模板英文名稱(chēng)：PhotoMask原產(chǎn)地：韓國(guó)照片：掩模板簡(jiǎn)介1.客戶(hù):LGDisplay等2.何為掩模板:所謂液晶光學(xué)掩模板(PhotoMask)就是先將玻璃加工成所需尺寸的形狀，再對(duì)玻璃進(jìn)行粗磨、精修、磨平及拋光，然后利用激光在石英玻璃基板上的金屬鉻層和光阻層上的加工所形成圖紙的基板。3.掩模板用途:Photomask(掩模板)，是生產(chǎn)TFT(薄膜晶體管)、CF(彩色濾光片)必要的光學(xué)組件。它是連接設(shè)計(jì)與制程之間的關(guān)鍵組件，大尺寸掩模板的制作與薄膜晶體管(ThinFilmTransistor,TFT）、彩色濾光片(ColorFilter，C

2、F)等，有著十分密切的關(guān)系。4.使用光掩膜制成的產(chǎn)品:液晶顯示板內(nèi)的TFT((薄膜晶體管)、CF(彩色濾光片)5.客戶(hù)使用方式：技術(shù)人員通過(guò)曝光機(jī)把基板上面的圖案轉(zhuǎn)印到液晶面板上。技術(shù)說(shuō)明1.1物品名稱(chēng)：PhotoMask1.2功能說(shuō)明：所有顯示器(Display)的顯示部位，都是以掩模板為原版、透過(guò)寫(xiě)真平版印刷術(shù)(利用光的技術(shù)，將精密的圖案轉(zhuǎn)印至玻璃基版上)而制成的。面板廠(chǎng)或彩色濾光片廠(chǎng)，以曝光方式使用掩模板進(jìn)行生產(chǎn)所有與顯示器(Display)相關(guān)的產(chǎn)品。1.3工作原理及技術(shù)說(shuō)明：配合曝光機(jī)，將掩模板上的圖形轉(zhuǎn)移到面板上。凹鏡凸鏡棱鏡掩模板光源玻璃基板曝光機(jī)臺(tái)1.4制造

3、流程：CAD數(shù)據(jù)基板?顯影?蝕刻?剝離/清洗檢測(cè)/修復(fù)裝保護(hù)膜質(zhì)量檢驗(yàn)激光描畫(huà)圖案結(jié)構(gòu)成形保護(hù)膜掩模板制作光阻Cr膜基板