GBT15713-1995鍺單晶片.pdf

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1、免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)ICS29.040.20a81簿I中華人民共和國國家標準GB/T15713一1995吞攀苗曰體，曰月片.日日門Monocrystallinegermaniumslices1995一10一17發(fā)布1996一03一01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)無需注冊即可下載免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)中華人民共和國國家標準GB/T15713一1995鍺單晶片Monocrystallinegermaniumslices1主腸內(nèi)容與適用范圍本標準規(guī)定了鍺單晶切割片、研磨片和腐蝕片(簡

2、稱鍺片)的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于各種牌號的鍺單晶經(jīng)切割、雙面研磨、分割、腐蝕制備的圓形、方形和長方形鍺片。產(chǎn)品用于制作晶體管和紅外器件。2引用標準GB2828逐批檢查計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB/T5238鍺單晶3產(chǎn)品分類3.1分類鍺片按導(dǎo)電類型分為n型和P型，按生產(chǎn)方法分為切割片、研磨片和腐蝕片三種.3.2牌號3.2.1鍺片的牌號表示為:其中:1—表示鍺單晶的生產(chǎn)方法。Cz表示直拉法.HB表示水平法。2-Ge表示鍺單晶.3-表示鍺片的品種，分別用相應(yīng)英文單詞的第一個字母組合的大寫形式表示，當(dāng)英

3、文取兩個字母時，第二個字母應(yīng)小寫，其中:a.CW表示切割片;b.BLW表示雙面研磨片;c.EtW表示腐蝕片。4—用n或P表示導(dǎo)電類型，括號內(nèi)的元素符號表示摻雜劑。國家技術(shù)監(jiān).局1995一10-17批準1996-03-01實施免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)無需注冊即可下載免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)GB/T15713一19955—用密勒指數(shù)表示晶向。2示例:a.Cz-Ge-CW-p(Ga)-(111)表示晶向為(111)的p型摻稼直拉鍺單晶切剖片。b.Cz-Ge-EtW-n(Sb)-(111)表示晶向為(111)的n型摻銻直拉鍺單晶腐

4、蝕片。技術(shù)要求4.1物理參數(shù)和晶體完整性鍺片所涉及的鍺單晶的物理參數(shù)和晶體完整性應(yīng)分別符合GB/T5238中的4.1條和4.3條的規(guī)定o本n乙?guī)缀螀?shù)本口‘鍺片的幾何參數(shù)應(yīng)符合表1規(guī)定。表1褚片幾何參數(shù)項目大圓片小圓片方片或長方片腐蝕片直徑10--503.6,4.0,6.0,8.0,9.2直徑允許偏差同單晶直徑允許偏差士0.10.90X0.900.85X0.851.00X1.000.90又0.902.00X2.000.95X0.952.30X2.301.05X1.05邊長2.45X2.452.55X2.553.16X3.164.75X4.753.00X4.00邊長允

5、許偏差士0.05士0.05厚度0.24-0.360.24^-0.360.24^-0.300.13-0.17厚度允許偏差士0.01士0.01士0.01士0.014.2.2大回片中有邊緣破損的鍺片，其內(nèi)接圈的直徑應(yīng)不小于9.35mm，其重It應(yīng)不超過該批總重童的5%,4.2.3孺方如有特殊要求(包括紅外器件用鍺片)，由供需雙方另行商定。4.3晶向4.3.1鍺片表面取向為(111)或由供需雙方商定.4.3.2鍺片的表面取向偏離應(yīng)不大于2004.4表面質(zhì)盤4.4.1鍺小圓片崩邊徑向延伸應(yīng)不大于。3mm,深度不超過鍺片厚度的四分之一;缺口徑向延伸應(yīng)不大于0.1mm，每片的崩邊

6、和缺口總數(shù)不得多于3個，崩邊和缺口的總長度不得超過鍺片周長的5%04.4.2方片或長方片不得有長度大于邊長七分之一的崩邊.邊長不大于2mm的鍺片，崩邊寬度不得超過邊長的十分之一，邊長大于2mm的鍺片，崩邊寬度不得超過邊長的二十分之一，每片的崩邊數(shù)不得多于2個.4.4.3鍺片不允許有裂紋。4.4.4鍺片經(jīng)超聲清洗干燥后，表面應(yīng)潔凈，無色斑和沾污。免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)無需注冊即可下載免費標準下載網(wǎng)(www.freebz.net)GB/T15713一191954.4.5鍺切割片不得有明顯刀痕。4.4.6鍺研磨片表面應(yīng)無劃道和刀痕。4.4.7鍺腐蝕

7、片表面應(yīng)無劃道、刀痕、色斑、污物和盛片現(xiàn)象。5試驗方法5.1畫片的直徑用分度值為。02mm游標卡尺或精度相當(dāng)?shù)脑榫邷y蛋。5.2方片和長方片的邊長用分度值為。.01mm的千分尺或精度相當(dāng)?shù)腎具測蚤。5.3鍺片厚度用分度值為0.001mm的千分表或精度相當(dāng)?shù)耐邷y量.5.4鍺片表面質(zhì)量用目視檢查。6檢驗規(guī)則6.1檢查和驗收6.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)份部門進行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)1t符合本標準規(guī)定，并填寫質(zhì)量證明書。6.1.2需方可對收到的產(chǎn)品進行檢驗，若檢驗結(jié)果與本標準的規(guī)定不符時，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。6.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗收