[建筑規(guī)范]QSG3透明石英玻璃坩堝

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1、筑神-建筑下載:http://www.zhushen.com.cnQSG3透明石英玻璃坩堝本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。本坩堝采用天然石英熔制成坯體，并在其內(nèi)表面涂一層高純?nèi)嗽焓⒉Ａ?。一、技術(shù)要求1．物理、化學(xué)性能指標(biāo)（1）化學(xué)成分a．內(nèi)涂層化學(xué)成分鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆，鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．001％。其中：鋁≤5×l0[-4]％；銅≤0．l×l0[-4]％；鐵≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；鉀≤1×l0[-4]％；鈉≤1×10[-4]

2、％。b．坩堝坯體化學(xué)成分鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．01％。其中：鋁≤60×10[-4]％；銅≤0．1×l0[-4]％；鐵≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；鉀≤4×l0[-4]％；鈉≤4×l0[-4]％。（2）熱穩(wěn)定性試樣在1100℃至20℃溫度急變下試驗(yàn)三次，不產(chǎn)生裂紋。（3）抗結(jié)晶性筑神-建筑下載:http://www.zhushen.com.cn試樣在1200℃溫度下恒溫半小時，不允許出現(xiàn)直徑大于3毫米的析晶白點(diǎn)，0．5～3毫米的析晶白點(diǎn)，每100平

3、方厘米不得超過10個。（4）涂層厚度應(yīng)均勻，折合重量應(yīng)符合表1規(guī)定。表1外徑D涂層重量外徑D涂層重量毫米克毫米克803.01064.5903.51145.51004.01307.02．外觀指標(biāo)(1)坩堝坯體部分（見表２）。項(xiàng)目直徑弧度部分0.3－0.4氣泡毫米直線部分0.3－0.7允許數(shù)量（個/厘米[2]）≤6長徑弧度部分1－4暗疤毫米直線部分2－4允許數(shù)量（條/100厘米[2]）≤4絲狀長徑（毫米）0.2－1.5點(diǎn)狀直徑（毫米）0.2－0.8色斑允許總數(shù)（個/100厘米[2]）≤4透明顆粒允許數(shù)量（個/100厘≤30米2）波

4、紋（毫米）≤0.3注：①缺陷寬度小于點(diǎn)狀下限的按絲狀計(jì)。②非圓形缺陷的直徑均按算術(shù)平均值計(jì)。(2)坩堝口部不得有缺口，不得有深、寬大于4毫米的表皮崩落。(3)坩堝內(nèi)表面不允許有色斑沾污和析晶。筑神-建筑下載:http://www.zhushen.com.cn(4)坩堝內(nèi)表面涂層上每100平方厘米中允許透明顆粒（直徑在0.5－0.7毫米）為10個。二、形狀與規(guī)格尺寸3．半導(dǎo)體用透明石英玻璃坩堝的形狀與規(guī)格尺寸應(yīng)符合下圖及表３規(guī)定。表３同一橫截面外徑高度底半徑厚度范圍的厚度公差DHR80+0.660±2D-12.0±0.50.3-

5、0.9───290+0.670±2D-22.0±0.50.3-0.9───2100+0.680±3D-22.3±0.50.3-1.1───2106+0.690±3D-22.3±0.50.3-1.1───2114+0.675±3D-22.3±0.50.3-1.1───2130+0.6110±3D-22.5±0.50.4-1.6───2三、試驗(yàn)方法4．化學(xué)成分按JC1866－81《石英玻璃原料及制品中微量雜質(zhì)元素的分析方法》中的規(guī)定進(jìn)行。5．熱穩(wěn)定性筑神-建筑下載:http://www.zhushen.com.cn按JC187－7

6、3《石英玻璃熱穩(wěn)定性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。6．抗結(jié)晶性按JC188－73《石英玻璃抗結(jié)晶性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。7．氣泡按JC190－81《透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。