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1、TFT-LCD產(chǎn)業(yè)觀察與現(xiàn)況解析報告Y98Q3主辦單位：經(jīng)濟部工業(yè)局執(zhí)行單位：金屬工業(yè)研究發(fā)展中心作做作者：產(chǎn)業(yè)研究組中華民國九十八年九月財團法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心文目錄壹、全球LCD曝光設(shè)備產(chǎn)業(yè)動向2一、前言2二、NIKON啟動10G設(shè)備2三、PSA以及光配向以量產(chǎn)程度正式起跑3四、EGIS將CF以及TFT的設(shè)備納入目標(biāo)5五、主要廠商戰(zhàn)略5六、2010年第三季國際TFT-LCD設(shè)備廠動態(tài)整理9貳、我國TFT-LCD設(shè)備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)況11一、2010年1~8月總營收統(tǒng)計11三、TFT-LCD設(shè)備廠商動態(tài)1111智權(quán)所有．翻印必究智壹、全球LCD曝光設(shè)備產(chǎn)業(yè)動向壹、全球LCD曝光設(shè)備產(chǎn)業(yè)動向
2、一、前言受到2008年金融危機的影響，2010年的LCD設(shè)備投資活動沉寂。但是，因為目前面板需求快速回溫，之前凍結(jié)的投資案又重新復(fù)活，據(jù)說在2010年上半期將會出現(xiàn)第一波的高峰。其中，Nikon的第10代設(shè)備已經(jīng)交貨並開始啟動，並針對下一世代展開第11代對應(yīng)設(shè)備的研發(fā)。另一方面，降低成本技術(shù)也是各界關(guān)心的焦點。二、NIKON啟動10G設(shè)備Nikon終於開始啟動第10代（10G）對應(yīng)的曝光設(shè)備「FX-101S」。沿用以前的概念，光學(xué)部分採用多鏡頭掃描方式。在第8代（8G）對應(yīng)設(shè)備中，雖然使用了11個解析度3μm的大口徑鏡頭，在10G的設(shè)備中又增加了連接數(shù)量，以因應(yīng)大尺寸面板的需求。並且，
3、還改良設(shè)備的平臺，在擴大基板尺寸的同時，盡力抑制大型化後的設(shè)備尺寸。雖然還不清楚解析度以及產(chǎn)品生產(chǎn)時間等具體規(guī)格，不過應(yīng)確保了與既有設(shè)備相同程度的規(guī)格。在第7代（7G）/8G對應(yīng)設(shè)備中，發(fā)表了可以滿足高產(chǎn)出率需求的最新機種「FX-75S/85S」（表1）。相較於當(dāng)初開始銷售的同一系列71S/81S機種，產(chǎn)品生產(chǎn)時間速度加快，可達到15s/plate。投入該設(shè)備後，可滿足電視面板的需求，並可望再進一步提升市佔率。今後，除了推動下一代設(shè)備之第11代（11G）機器研發(fā)之外，同時，也將更進一步改善10G對應(yīng)設(shè)備的產(chǎn)品生產(chǎn)時間。11智權(quán)所有．翻印必究智壹、全球LCD曝光設(shè)備產(chǎn)業(yè)動向Canon也集
4、中資源開發(fā)11G對應(yīng)設(shè)備。在光學(xué)部分以及平臺技術(shù)部分，繼續(xù)沿用以前的技術(shù)，在製程腔部分，以朝盡量減少人工作業(yè)的方向推動研發(fā)。作業(yè)員在腔室內(nèi)作業(yè)除了會產(chǎn)生塵埃之外，因為高度高達6~7公尺，也必須考慮安全上的問題。因此，將以前手動操作的光學(xué)部分調(diào)整作業(yè)等，更改為直接操作設(shè)備外部的控制盤。另外，為了可以順利開始啟動，以及假設(shè)必須在客戶公司現(xiàn)場有效率地完成組裝，也重新檢討了零配件的結(jié)構(gòu)。11G對應(yīng)設(shè)備的交貨預(yù)定於2011年的下半期。在曝光設(shè)備部分，提高開口率以降低面板的消費電力、安裝120/240Hz驅(qū)動等，以改善裝置的性能。既確保了開口率，也出現(xiàn)更多改善解析度以及套準(zhǔn)精度的需求。另外，因為既
5、有的大尺寸a-SiTFT的精密程度已經(jīng)與中小尺寸LCD並駕齊驅(qū)，相信將會出現(xiàn)裝置精密度必須高達1.5~2μm程度的要求。至於Netbook筆記本電腦等級的7~11吋，因為隨身攜帶移動，必須降低消費電力。也有人認(rèn)為製程革新，將從第5代（5G）起重現(xiàn)江湖。三、PSA以及光配向以量產(chǎn)程度正式起跑各家LCD廠商為了因應(yīng)逼近成本的面板價格降價，紛紛再度降低了生產(chǎn)成本。包括背光源（BL）、光學(xué)薄膜的組成、Cell結(jié)構(gòu)、變流器以及電源迴路等所有部分，似乎會出現(xiàn)翻天覆地的變化。第一步就是重新檢討Cell結(jié)構(gòu)。透過重新檢討Cell結(jié)構(gòu)，提高面板的透過率與BL的光使用效率，減少光源的搭載數(shù)量。這樣一來，可
6、同時降低成本與降低消費電力。至於最近受到各界矚目的LED-BL，則遇到發(fā)熱的問題。在側(cè)光式模組中，因為熱度容易集中在面板邊緣部位，液晶材料受損，並且聽說出現(xiàn)了外圍與中央回應(yīng)速度不同的例子。提高透過率，雖然可幫助減少光源裝載數(shù)量，同時也可以成為一種散熱方案，深受各界期待。表1「FX-75S/85S」（Nikon）規(guī)格解析度3.5μm（g/h/i線模式)、3.0μm(i線模式)投影倍率1：1對準(zhǔn)精度≦±0.6μm基板尺寸1950×2250mm（75S）、2500×2200（85S）光罩尺寸1220×1440mm產(chǎn)品生產(chǎn)時間58s/plate（75S）、60s/plate（85S）（4光罩掃
7、描方式時，30mJ/cm2，4EGA/scan，g/h/i線模式）資料來源：ElectronicJournal(2010/08);金屬中心產(chǎn)研組(2010/09)11智權(quán)所有．翻印必究智壹、全球LCD曝光設(shè)備產(chǎn)業(yè)動向圖1Nikon的最新曝光設(shè)備的透視圖資料來源：ElectronicJournal(2010/08);金屬中心產(chǎn)研組(2010/09)在Cell相關(guān)技術(shù)部分，臺灣友達（AUO）在大尺寸生產(chǎn)線上採用PSA（PolymerSustaine
