晶體生長(zhǎng)仿真軟件femag介紹文檔(一)--概述

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1、晶體生長(zhǎng)仿真軟件FEMAG介紹文檔(一)概述全國(guó)統(tǒng)一客戶服務(wù)熱線：4008885100網(wǎng)址:www.CnTech.com.cn郵箱:info@cntech.com.cnii隨著社會(huì)的發(fā)展和人類科技的進(jìn)步，人工晶體材料在半導(dǎo)體、集成電路、太陽(yáng)能光伏、LED、航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片制造等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。這些社會(huì)應(yīng)用需求驅(qū)動(dòng)了晶體生長(zhǎng)科學(xué)與技術(shù)的迅速發(fā)展，人們借助先進(jìn)的技術(shù)手段可制備各種優(yōu)質(zhì)的多功能晶體。此外，隨著計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)的發(fā)展，利用高效的CAE數(shù)值模擬技術(shù)進(jìn)行虛擬預(yù)測(cè)、優(yōu)化晶體生長(zhǎng)工藝，已成為提高產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率、降低研發(fā)

2、成本的有效途徑。???FEMAG軟件是世界上第一款商業(yè)的材料晶體生長(zhǎng)數(shù)值模擬軟件，由比利時(shí)新魯汶大學(xué)教授Dr.Fran?oisDupret于20世紀(jì)80年代中期領(lǐng)導(dǎo)開發(fā)。Dr.Fran?oisDupret是第二屆晶體生長(zhǎng)模型國(guó)際研討會(huì)主席、EUROTHERM相變熱力學(xué)研討會(huì)聯(lián)合主席、機(jī)械工程學(xué)位委員會(huì)主席，曾擔(dān)任國(guó)際晶體生長(zhǎng)（JournalofCrystalGrowth）期刊主編。作為FEMAG公司創(chuàng)始人和首席科學(xué)家，Dr.Fran?oisDupret主持開發(fā)的FEMAG軟件擁有國(guó)際上最先進(jìn)、最高效、最全面的晶體生長(zhǎng)工藝模擬技術(shù)和多

3、物理場(chǎng)耦合仿真功能，可模擬的晶體生長(zhǎng)工藝包括提拉法（柴氏法，Cz法）、泡生法（Ky法）、區(qū)熔法（FZ法）、坩堝下降法（垂直布里茲曼法，VB法）、物理氣相傳輸法（PVT法）等，廣泛應(yīng)用于集成電路、太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體、藍(lán)寶石等領(lǐng)域。???ONSemiconductor（安森美半導(dǎo)體）、美國(guó)Kayex、Siltronic（世創(chuàng)電子材料）、AXT（美國(guó)晶體技術(shù)集團(tuán)）、韓國(guó)Nexolon、LG、韓國(guó)漢陽(yáng)大學(xué)、Norut（挪威北方研究所）、日本SUMCO集團(tuán)、Gritek（有研新材料）、天津環(huán)歐半導(dǎo)體材料、中環(huán)股份、北京有色金屬研究總院、清華大

4、學(xué)等企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)，均是FEMAG軟件的用戶。????目前，F(xiàn)EMAG軟件包括以下六款產(chǎn)品：?FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶體生長(zhǎng)模擬軟件?FEMAGCZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶體生長(zhǎng)模擬軟件?FEMAG/FZ——FEMAG區(qū)熔法晶體生長(zhǎng)模擬軟件-2-?FEMAG/DS——FEMAG三維定向凝固模擬軟件?FEMAG/VB——FEMAGVB/VGF法晶體生長(zhǎng)模擬軟件?FEMAG/PVT——FEMAG物理氣相傳輸法晶體生長(zhǎng)模擬軟件????經(jīng)過近三十多年的開發(fā)與完善，F(xiàn)EMAG軟件以其深厚的晶體生長(zhǎng)理論基礎(chǔ)、高效穩(wěn)健的數(shù)

5、值算法，業(yè)已在晶體生長(zhǎng)數(shù)值計(jì)算領(lǐng)域處于國(guó)際領(lǐng)先地位。FEMAG軟件可以高效地模擬晶體生長(zhǎng)工藝過程以及預(yù)測(cè)晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量，有力地促進(jìn)了晶體生長(zhǎng)技術(shù)相關(guān)的生產(chǎn)與研發(fā)工作。????FEMAG軟件已在以下行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用：?半導(dǎo)體用單晶硅生產(chǎn)與研發(fā)?太陽(yáng)能光伏用單晶硅、多晶硅錠生產(chǎn)與研發(fā)?集成電路級(jí)單晶硅生產(chǎn)與研發(fā)?航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片單晶高溫合金生產(chǎn)與研發(fā)?LED光電技術(shù)用氧化物晶體和藍(lán)寶石晶體生產(chǎn)與研發(fā)?晶體生長(zhǎng)熔爐設(shè)計(jì)與生產(chǎn)-2-