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《實(shí)驗(yàn)報(bào)告中的討論》由會(huì)員上傳分享,免費(fèi)在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展,保障停車場(chǎng)安保新項(xiàng)目的正常、順利開展,特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個(gè)人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃實(shí)驗(yàn)報(bào)告中的討論 研究生實(shí)驗(yàn)報(bào)告(范本) 實(shí)驗(yàn)課程:實(shí)驗(yàn)名稱:實(shí)驗(yàn)地點(diǎn): 學(xué)生姓名:學(xué)號(hào):指導(dǎo)教師: 實(shí)驗(yàn)時(shí)間:年月日 一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康摹 ∈煜る娮栊蜌怏w傳感器結(jié)構(gòu)及工作原理,進(jìn)行基于聚苯胺敏感薄膜的氣體傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料制作、材料表征、探測(cè)單元制作與測(cè)試、實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析,通過該實(shí)驗(yàn)獲得氣體傳感器從設(shè)計(jì)到性能測(cè)試完整的實(shí)驗(yàn)流程,鍛煉同學(xué)學(xué)習(xí)能力、動(dòng)手能力和分析問題能力?! 《?、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容 1、理解電阻式氣體
2、傳感器工作原理 2、進(jìn)行傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 3、進(jìn)行敏感材料的合成與測(cè)試 4、開展氣體傳感器制作 5、器件性能測(cè)試與分析討論 三、實(shí)驗(yàn)原理目的-通過該培訓(xùn)員工可對(duì)保安行業(yè)有初步了解,并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力,可提升其的專業(yè)水平,并確保其在這個(gè)行業(yè)的安全感。為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展,保障停車場(chǎng)安保新項(xiàng)目的正常、順利開展,特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個(gè)人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃 氣體傳感器是化學(xué)傳感器的一大門類,是氣體檢測(cè)系統(tǒng)的核心,通常安裝在探測(cè)頭內(nèi)。從本質(zhì)上講,氣體傳感器是一種將某種氣體體積分?jǐn)?shù)轉(zhuǎn)化成對(duì)應(yīng)電信號(hào)的轉(zhuǎn)換
3、器。根據(jù)氣敏特性來分類,主要分為半導(dǎo)體氣體傳感器、固體電解質(zhì)氣體傳感器、接觸燃燒式氣體傳感器、光學(xué)式氣體傳感器、石英諧振式氣體傳感器、表面聲波氣體傳感器等?! 怏w傳感器的檢測(cè)原理一般是利用吸附氣體與高分子半導(dǎo)體之間產(chǎn)生電子授受的關(guān)系,通過檢測(cè)相互作用導(dǎo)致的物性變化從而得知檢測(cè)氣體分子存在的信息,大體上可以分為: (l)氣體分子的吸附引起聚合物材料表面電導(dǎo)率變化 (2)p型或n型有機(jī)半導(dǎo)體間結(jié)特性變化 (3)氣體分子反應(yīng)熱引起導(dǎo)電率變化 (4)聚合物表面氣體分子吸、脫附引起光學(xué)特性變化 (5)伴隨氣體吸附脫附引起微
4、小量變化 對(duì)于電阻型氣體傳感器,其基本的機(jī)理都是氣體分子吸附于膜表面并擴(kuò)散進(jìn)體內(nèi),從而引起膜電導(dǎo)的增加,電導(dǎo)變化量反應(yīng)了氣體的濃度情況?! ∷?、實(shí)驗(yàn)器材 電子天平BS2245:北京賽多利斯儀器系統(tǒng)有限公司 KSV5000自組裝超薄膜設(shè)備:芬蘭KSV設(shè)備公司 Keithley2700數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):美國Keithley公司 KW-4A型勻膠機(jī):ChematTechnologiesInc. 85-2型恒溫磁力熱攪拌機(jī):上海司樂儀器公司 優(yōu)普超純水制造系統(tǒng):成都超純科技有限公司目的-通過該培訓(xùn)員工可對(duì)保安行業(yè)有初步了解
5、,并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力,可提升其的專業(yè)水平,并確保其在這個(gè)行業(yè)的安全感。為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展,保障停車場(chǎng)安保新項(xiàng)目的正常、順利開展,特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個(gè)人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃 動(dòng)態(tài)配氣裝置北京匯博隆儀器 S-450型掃描電鏡:日本日立公司 UV1700紫外一可見分光光度計(jì):北京瑞利分析儀器公司 BSF-GX-2型分流式標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器:國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心、北京耐思達(dá)新技術(shù)發(fā)展公司 五、實(shí)驗(yàn)步驟 1、電阻型氣體探測(cè)器工作原理認(rèn)識(shí) 2、器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 電阻型氣體探測(cè)器基于敏感薄膜電阻變化來進(jìn)行
6、氣體濃度測(cè)定,因此電阻是探測(cè)器件的一個(gè)重要參數(shù)。叉指電極結(jié)構(gòu)測(cè)量出的電導(dǎo)可由下式表示: 其中L和W為叉指電極基底的長(zhǎng)度和寬度,N為叉指電極的數(shù)目對(duì)數(shù),d為兩相鄰電極之間的間距,σ為薄膜的本征電導(dǎo)率。結(jié)合基底尺寸、材料電導(dǎo)率和工藝能力可以設(shè)計(jì)出結(jié)構(gòu)優(yōu)化的叉指結(jié)構(gòu),獲得較顯著的電學(xué)輸出信號(hào)?! D1、基于敏感膜的氣體傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)意圖 圖1為設(shè)計(jì)的電阻型氣體傳感器結(jié)構(gòu),在絕緣襯底上制作叉指電極,然后在叉指電極上制作敏感薄膜,通過測(cè)試兩個(gè)叉指電極間的電學(xué)信號(hào),可獲得敏感薄膜的電阻信息。設(shè)計(jì)完成的整個(gè)氣體 傳感器的制作流程示意
7、圖如圖2所示?! D2、氣體傳感器制作工藝流程示意圖目的-通過該培訓(xùn)員工可對(duì)保安行業(yè)有初步了解,并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力,可提升其的專業(yè)水平,并確保其在這個(gè)行業(yè)的安全感。為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展,保障停車場(chǎng)安保新項(xiàng)目的正常、順利開展,特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個(gè)人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃 詳細(xì)流程可表述為:硅片清洗—硅片表面氧化—濺射生長(zhǎng)NiCr合金—濺射生長(zhǎng)金—?jiǎng)蚰z、顯影、曝光、去膠—刻蝕金屬層(Kl、硫酸)—中測(cè)—?jiǎng)澠粶y(cè)試在器件的制作中,所使用的基片是電阻率為?cm的n型單晶硅片([100]取向)。其上氧化生長(zhǎng)二氧
8、化硅作為絕緣層,然后濺射鎳鉻合金(200-300?),以提高金電極的附著性。其后再在鎳鉻合金上濺射導(dǎo)電的金層(400~500?),采用負(fù)膠光刻,電極間距和寬度相等,為50μm,整個(gè)器件尺寸大小為8*5mm2,該設(shè)計(jì)由自己完成,工藝由成都亞光電子股份有限公司加工?! ?、聚苯胺復(fù)合薄膜制備