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1、附件1：JZ-460/660多晶鑄錠爐技術參數(shù)一、JZ-460/660型多晶鑄錠爐介紹JZ-460/660型多晶鑄錠爐能牛產(chǎn)520KG/660KG-800KG優(yōu)質(zhì)的多晶硅錠，本設備的牛產(chǎn)量很大，能在60個小時的時間內(nèi)生產(chǎn)岀合格的硅錠。設備操作簡單，直觀的界面，給操作人員節(jié)省很多時間來處理設備的運行情況，從而極大的提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了成本。JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用高純度的內(nèi)涂氮化硅的石英圮垠，運行過程中，通過隔熱層的提升，在熱場內(nèi)產(chǎn)生溫度梯度，從而由下往上定向長晶，在整個長晶過程中只有隔熱層一個部件在運動，大大減少了故障的發(fā)生，從而提高了爐子的穩(wěn)定性能。整個工藝過程分為裝料，
2、抽真空，檢漏，加熱，熔化，長晶，退火，冷卻。裝料是在噴有氮化硅涂層的石英坨堀內(nèi)，在保證不破壞涂層的條件下，進行裝料。裝完料后開始抽真空，當壓力降到0.OOSmbar時即可檢漏，如果設備檢漏通過，此時我們即可開始自動運行設備，按照配方工藝步驟運行。在晶體生長過程中，一般自圮埸底部開始降溫,當硅熔體溫度低于熔點時，在接近塩坍底部處首先凝固，形成許多細小的核心，然后橫向生長，當核心相互接觸時，再逐漸向上生長，長大，形成柱狀晶，柱狀方向與晶體方向平行，直至所有的硅熔體都結晶為止，這樣制備岀來的多晶硅的晶粒大小，晶界結構,缺陷類型都很相似。對于重量為520kg的鑄造多晶硅而言，硅錠尺寸一般為840
3、*840*316mmo目前JZ-460/660爐型已被著名硅片制造廠家批量采用，穩(wěn)定生產(chǎn)岀高質(zhì)量的硅錠。二、JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用需要的環(huán)境條件（戶內(nèi)）a）環(huán)境溫度：20±5°Cb）環(huán)境濕度：W65%（不結露）c）地質(zhì)震動要求：外界震源：當大于10HZ時，振幅小于0?0.003mm三、我公司JZ-460/660多晶鑄錠爐技術性能參數(shù)表序號項目參數(shù)備注1電源電壓380VAC2電源頻率50I1Z3電源相數(shù)3相4電源功率200KW真空機組電源功率11.5KW,電控系統(tǒng)電源10KW5圮煙尺寸520?550Kg870X870X480mm推薦660?800Kg1040XI040X480
4、mm推薦6鑄錠尺寸520Kg840X840X316mm660Kg1000X1000X283mm7爐內(nèi)真空度抽空極限真空度IPa以下長晶等階段工作壓力600mbar允許泄漏量W2Pa/5min測量范圍0.0133?1.33X10BPa8爐內(nèi)溫度與測量最高極限溫度1575°C測量最高溫度1800°CR型熱電偶重復精度：土0.5°C紅外測溫儀重復精度：+rc9內(nèi)/外部尺寸爐體內(nèi)直徑C2100mm爐體內(nèi)高度2625mm下腔室升降行程950mm隔熱鋼籠升降行程380mm主機（長X寬X高）3230X3200X4850mm平臺（含單邊梯子）（長X寬X高）5160X4730X4160mm10重量主機55
5、00kg平臺3350kg11冷卻水入口壓力最大0.45MPa入、出口壓力差0.25MPa入口水溫W28°C（最好24±1°C）流量160?180L/min12備用水（緊急情況）流量>160L/min停水時能立即換至備用水維持時間$10h13所需氮氣壓力0.3MPa以上可選項用量6?7n?/硅錠14所需氮氣壓力0.3MPa以上用量70?75n?/硅錠流量控制范圍0?200L/min15壓縮空氣壓力0.5?0.7MPa用量0.5m3/爐流量100L/min16所需真空機組電源電壓380V功率11.5KW頻率50Hz相數(shù)3相17所需電控系統(tǒng)電源電壓380V功率10KW頻率50Hz相數(shù)3相18所
6、需加熱系統(tǒng)電源電壓380V功率200KW頻率50Hz相數(shù)3相19泄露率7、序號貨物名稱規(guī)格型號單位數(shù)量備注1主機JZ-460/660臺—、1、Z2L樂適通2電控柜厶、?、一*、工3變壓器電源柜臺英杰電器4真空機組臺力鑫5熱場套西格里石墨美國UC保溫氈五、變壓器技術規(guī)范1.輸入額定電壓：變壓器每相帶3個抽頭3AC380V,3AC400V,3AC420V額定頻率：50/60HZ電壓波動范圍：342V~418V2.輸出額定容量：200KW額定電壓：3AC25V3.其他加熱控制方式：定周期調(diào)功方式調(diào)壓方式：變壓器
