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《多晶鑄錠爐技術(shù)參數(shù)》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫(kù)。
1、附件1：JZ-460/660多晶鑄錠爐技術(shù)參數(shù)一、JZ-460/660型多晶鑄錠爐介紹JZ-460/660型多晶鑄錠爐能牛產(chǎn)520KG/660KG-800KG優(yōu)質(zhì)的多晶硅錠，本設(shè)備的牛產(chǎn)量很大，能在60個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)岀合格的硅錠。設(shè)備操作簡(jiǎn)單，直觀的界面，給操作人員節(jié)省很多時(shí)間來(lái)處理設(shè)備的運(yùn)行情況，從而極大的提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了成本。JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用高純度的內(nèi)涂氮化硅的石英圮垠，運(yùn)行過(guò)程中，通過(guò)隔熱層的提升，在熱場(chǎng)內(nèi)產(chǎn)生溫度梯度，從而由下往上定向長(zhǎng)晶，在整個(gè)長(zhǎng)晶過(guò)程中只有隔熱層一個(gè)部件在運(yùn)動(dòng)，大大減少了故障的發(fā)生，從而提高了爐子的穩(wěn)定性能。整個(gè)工藝過(guò)程分為裝料，
2、抽真空，檢漏，加熱，熔化，長(zhǎng)晶，退火，冷卻。裝料是在噴有氮化硅涂層的石英坨堀內(nèi)，在保證不破壞涂層的條件下，進(jìn)行裝料。裝完料后開(kāi)始抽真空，當(dāng)壓力降到0.OOSmbar時(shí)即可檢漏，如果設(shè)備檢漏通過(guò)，此時(shí)我們即可開(kāi)始自動(dòng)運(yùn)行設(shè)備，按照配方工藝步驟運(yùn)行。在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，一般自圮埸底部開(kāi)始降溫,當(dāng)硅熔體溫度低于熔點(diǎn)時(shí)，在接近塩坍底部處首先凝固，形成許多細(xì)小的核心，然后橫向生長(zhǎng)，當(dāng)核心相互接觸時(shí)，再逐漸向上生長(zhǎng)，長(zhǎng)大，形成柱狀晶，柱狀方向與晶體方向平行，直至所有的硅熔體都結(jié)晶為止，這樣制備岀來(lái)的多晶硅的晶粒大小，晶界結(jié)構(gòu),缺陷類型都很相似。對(duì)于重量為520kg的鑄造多晶硅而言，硅錠尺寸一般為840
3、*840*316mmo目前JZ-460/660爐型已被著名硅片制造廠家批量采用，穩(wěn)定生產(chǎn)岀高質(zhì)量的硅錠。二、JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用需要的環(huán)境條件（戶內(nèi)）a）環(huán)境溫度：20±5°Cb）環(huán)境濕度：W65%（不結(jié)露）c）地質(zhì)震動(dòng)要求：外界震源：當(dāng)大于10HZ時(shí)，振幅小于0?0.003mm三、我公司JZ-460/660多晶鑄錠爐技術(shù)性能參數(shù)表序號(hào)項(xiàng)目參數(shù)備注1電源電壓380VAC2電源頻率50I1Z3電源相數(shù)3相4電源功率200KW真空機(jī)組電源功率11.5KW,電控系統(tǒng)電源10KW5圮煙尺寸520?550Kg870X870X480mm推薦660?800Kg1040XI040X480
4、mm推薦6鑄錠尺寸520Kg840X840X316mm660Kg1000X1000X283mm7爐內(nèi)真空度抽空極限真空度IPa以下長(zhǎng)晶等階段工作壓力600mbar允許泄漏量W2Pa/5min測(cè)量范圍0.0133?1.33X10BPa8爐內(nèi)溫度與測(cè)量最高極限溫度1575°C測(cè)量最高溫度1800°CR型熱電偶重復(fù)精度：土0.5°C紅外測(cè)溫儀重復(fù)精度：+rc9內(nèi)/外部尺寸爐體內(nèi)直徑C2100mm爐體內(nèi)高度2625mm下腔室升降行程950mm隔熱鋼籠升降行程380mm主機(jī)（長(zhǎng)X寬X高）3230X3200X4850mm平臺(tái)（含單邊梯子）（長(zhǎng)X寬X高）5160X4730X4160mm10重量主機(jī)55
5、00kg平臺(tái)3350kg11冷卻水入口壓力最大0.45MPa入、出口壓力差0.25MPa入口水溫W28°C（最好24±1°C）流量160?180L/min12備用水（緊急情況）流量>160L/min停水時(shí)能立即換至備用水維持時(shí)間$10h13所需氮?dú)鈮毫?.3MPa以上可選項(xiàng)用量6?7n?/硅錠14所需氮?dú)鈮毫?.3MPa以上用量70?75n?/硅錠流量控制范圍0?200L/min15壓縮空氣壓力0.5?0.7MPa用量0.5m3/爐流量100L/min16所需真空機(jī)組電源電壓380V功率11.5KW頻率50Hz相數(shù)3相17所需電控系統(tǒng)電源電壓380V功率10KW頻率50Hz相數(shù)3相18所
6、需加熱系統(tǒng)電源電壓380V功率200KW頻率50Hz相數(shù)3相19泄露率7、序號(hào)貨物名稱規(guī)格型號(hào)單位數(shù)量備注1主機(jī)JZ-460/660臺(tái)—、1、Z2L樂(lè)適通2電控柜厶、?、一*、工3變壓器電源柜臺(tái)英杰電器4真空機(jī)組臺(tái)力鑫5熱場(chǎng)套西格里石墨美國(guó)UC保溫氈五、變壓器技術(shù)規(guī)范1.輸入額定電壓：變壓器每相帶3個(gè)抽頭3AC380V,3AC400V,3AC420V額定頻率：50/60HZ電壓波動(dòng)范圍：342V~418V2.輸出額定容量：200KW額定電壓：3AC25V3.其他加熱控制方式：定周期調(diào)功方式調(diào)壓方式：變壓器
