資源描述：
《EG2001X針測(cè)機(jī)的保養(yǎng)和維護(hù)》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、壹、機(jī)臺(tái)名稱：EG2001XFULLYAUTOPROBER．貳、適用產(chǎn)品：4”－6”芯片．參、操作說明：一、機(jī)臺(tái)各部主要配置圖及說明如下：二、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)1．執(zhí)行系統(tǒng)（THEEXECUTIVESUBSYSTEM）2．左右行動(dòng)系統(tǒng)(THEX-YMOTIONSUBSYSTEM)3．高度升降系統(tǒng)(THETHETA，ZMOTIONSUBSYSTEM)4．品片傳達(dá)系統(tǒng)(THEMATERIALHANDLINGSUBSYSTEM)5．影像處理系統(tǒng)(THEVISIONSUBSYSTEM)EG2001X針測(cè)機(jī)的保養(yǎng)和維護(hù)程序一．EG2001X全自動(dòng)針測(cè)機(jī)l.設(shè)備興材料：工具組維修用潤滑油(非腐蝕性)清潔
2、用的布,細(xì)砂紙,酒精2.作業(yè)程序：保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法晶圓承載臺(tái)用布清潔承載臺(tái)，用酒精洗凈INK漬移動(dòng)平臺(tái)用翹棒翹起CHUCK，用細(xì)砂紙磨去鐵溴，再用布清潔平臺(tái)和CHUCK底部并打蠟自動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)用吸塵器和布清潔干凈INKERS用酒精清潔INKER，并檢查接線是否斷裂，魚線動(dòng)作是否正常VISIONMODULE用氣槍及吸塵器清潔干掙P(guān)OWERMODULE用氣槍及吸塵器清潔干凈散熱風(fēng)扇用氣槍及吸塵器清潔干凈電路板清潔用氣槍及吸塵器清潔干凈，并用酒精清潔電路板金手指二．EG2001X半自動(dòng)針測(cè)機(jī)1.設(shè)備興材料：工具組維修用潤滑油(非腐蝕性)清潔用的布和細(xì)砂紙，酒精2.作業(yè)程序：全自動(dòng)保養(yǎng)項(xiàng)目中
3、去除自動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)，影映控制箱和PROIFILE的調(diào)整，其它同全自動(dòng)。三．機(jī)臺(tái)的水平校正1.設(shè)備與材料：精密水平儀2.作業(yè)程序：先用水平儀在CHUCK平臺(tái)上取三個(gè)方向，分別調(diào)整CHUCK底座的三顆螺絲至水平儀數(shù)值偏差在10MIL之內(nèi)：同樣用水平儀測(cè)鎖圓盤的三個(gè)點(diǎn)調(diào)整平臺(tái)的三個(gè)螺絲至偏差在10MIL之內(nèi)。四．PROFILE的校正：1.移動(dòng)CHUCK至PROFILE頭的下方(WAFEROFF)2.按PROG＋0鍵(將PROFILE頭降下)3.按PROG+Z鍵(將PROFILE頭與CHUCK接觸，高度約255MIL)4.將CHUCK高度調(diào)至247MIL(PROFILE動(dòng)作時(shí)與CHUCK間距
4、為8MIL)時(shí)，PROFILEBOX的LO,HI燈會(huì)減，如不滅則調(diào)旋鈕至亮的一方旋轉(zhuǎn)5.調(diào)節(jié)好后，UP時(shí)HI燈亮，DOWN時(shí)LO燈亮PROBER各BOARD說明：A1：SYSTEMMEMORYPCB1.包含主系統(tǒng)程序2.存儲(chǔ)程序參數(shù)/演算數(shù)值輸入3.內(nèi)部時(shí)間控制A2：MOTIONCONTROLLOGICPCB主要控制X-YMOTORLOGIC產(chǎn)生MOTORDRIVEPULSE1.控制MOTOR速度2.控制TRAVEL距離3.控制軸向移動(dòng)4.控制管理移動(dòng)方向A3：SYSTEMCPUPCB1.RUN主系統(tǒng)程序2.控制所有PCB3.傳達(dá)資料4.管理所有的I/OPORTS（A4、A7）5.
5、控制AUTOALIGNMENT(和VISIONMODULE配合)6.執(zhí)行溫度補(bǔ)償A4：TESTERINTERFACEPCB含有3個(gè)I/OPORTS：1.TESTER：TESTSTART，TESTCOMPLETE，REJECTLINES2.RS2323.IEEE-488A5：THETA,ZFUNCTIONPCBl.作THETA、ZINKERDRIVERPCB到SYSTEMCPU的界面；INKING信號(hào)：邊緣SENSOR輸入：THETA，ZDRIVER信號(hào)：ZENCODER。2.作CPU到SOLENOIDDRIVERPCB的界面3.作CPU到PROFILER的界面4.作JOYSTICK
6、和THETASWITCH到CPU的界面A6：MATERIALHANDLINGLOGICPCB1.控制所有WAFERLOADING和UNLOADING部分：控制LOADROLLER或皮帶MOTOR．PREALINGSPINDERMOTOR．TRANSFERARMMOTOR．UNLOADROLLER或皮帶偵測(cè)WAFER平邊2.控制MATERIAL，HANDLINGGSOLENOID(供給ENABLE信號(hào)到AI0)3.控制INDEXER動(dòng)作A7：4-PORTSERIAL,l/OPCBRS-232PORRTTO:WAFERIDREADER:HOTCHUCKCONTROLLERSECSHOS
7、TPRINTERA8：256RAMPCBDISKSYSTEMCONTROLBOARD(可能移動(dòng)機(jī)震動(dòng)使板子接觸下良,造成無法開機(jī))A9：TRMPERATURECOMPENSATIONMULTIPEXERPCB1.HOTCHUCK控制2.PLATENTEMPERATUREBEADA10：SOLENOIDDRIVERPCB驅(qū)動(dòng)所有的SOLENOID控制A11：THETA、ZINKERDRIVRPCB1.驅(qū)動(dòng)THETA和ZMOTOR(ERUN)2.驅(qū)動(dòng)INKERS(E－IN
