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《EG2001X針測機的保養(yǎng)和維護》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、壹、機臺名稱：EG2001XFULLYAUTOPROBER．貳、適用產(chǎn)品：4”－6”芯片．參、操作說明：一、機臺各部主要配置圖及說明如下：二、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)1．執(zhí)行系統(tǒng)（THEEXECUTIVESUBSYSTEM）2．左右行動系統(tǒng)(THEX-YMOTIONSUBSYSTEM)3．高度升降系統(tǒng)(THETHETA，ZMOTIONSUBSYSTEM)4．品片傳達系統(tǒng)(THEMATERIALHANDLINGSUBSYSTEM)5．影像處理系統(tǒng)(THEVISIONSUBSYSTEM)EG2001X針測機的保養(yǎng)和維護程序一．EG2001X全自動針測機l.設(shè)備興材料：工具組維修用潤滑油(非腐蝕性)清潔
2、用的布,細砂紙,酒精2.作業(yè)程序：保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法晶圓承載臺用布清潔承載臺，用酒精洗凈INK漬移動平臺用翹棒翹起CHUCK，用細砂紙磨去鐵溴，再用布清潔平臺和CHUCK底部并打蠟自動傳輸機構(gòu)用吸塵器和布清潔干凈INKERS用酒精清潔INKER，并檢查接線是否斷裂，魚線動作是否正常VISIONMODULE用氣槍及吸塵器清潔干掙P(guān)OWERMODULE用氣槍及吸塵器清潔干凈散熱風扇用氣槍及吸塵器清潔干凈電路板清潔用氣槍及吸塵器清潔干凈，并用酒精清潔電路板金手指二．EG2001X半自動針測機1.設(shè)備興材料：工具組維修用潤滑油(非腐蝕性)清潔用的布和細砂紙，酒精2.作業(yè)程序：全自動保養(yǎng)項目中
3、去除自動傳輸機構(gòu)，影映控制箱和PROIFILE的調(diào)整，其它同全自動。三．機臺的水平校正1.設(shè)備與材料：精密水平儀2.作業(yè)程序：先用水平儀在CHUCK平臺上取三個方向，分別調(diào)整CHUCK底座的三顆螺絲至水平儀數(shù)值偏差在10MIL之內(nèi)：同樣用水平儀測鎖圓盤的三個點調(diào)整平臺的三個螺絲至偏差在10MIL之內(nèi)。四．PROFILE的校正：1.移動CHUCK至PROFILE頭的下方(WAFEROFF)2.按PROG＋0鍵(將PROFILE頭降下)3.按PROG+Z鍵(將PROFILE頭與CHUCK接觸，高度約255MIL)4.將CHUCK高度調(diào)至247MIL(PROFILE動作時與CHUCK間距
4、為8MIL)時，PROFILEBOX的LO,HI燈會減，如不滅則調(diào)旋鈕至亮的一方旋轉(zhuǎn)5.調(diào)節(jié)好后，UP時HI燈亮，DOWN時LO燈亮PROBER各BOARD說明：A1：SYSTEMMEMORYPCB1.包含主系統(tǒng)程序2.存儲程序參數(shù)/演算數(shù)值輸入3.內(nèi)部時間控制A2：MOTIONCONTROLLOGICPCB主要控制X-YMOTORLOGIC產(chǎn)生MOTORDRIVEPULSE1.控制MOTOR速度2.控制TRAVEL距離3.控制軸向移動4.控制管理移動方向A3：SYSTEMCPUPCB1.RUN主系統(tǒng)程序2.控制所有PCB3.傳達資料4.管理所有的I/OPORTS（A4、A7）5.
5、控制AUTOALIGNMENT(和VISIONMODULE配合)6.執(zhí)行溫度補償A4：TESTERINTERFACEPCB含有3個I/OPORTS：1.TESTER：TESTSTART，TESTCOMPLETE，REJECTLINES2.RS2323.IEEE-488A5：THETA,ZFUNCTIONPCBl.作THETA、ZINKERDRIVERPCB到SYSTEMCPU的界面；INKING信號：邊緣SENSOR輸入：THETA，ZDRIVER信號：ZENCODER。2.作CPU到SOLENOIDDRIVERPCB的界面3.作CPU到PROFILER的界面4.作JOYSTICK
6、和THETASWITCH到CPU的界面A6：MATERIALHANDLINGLOGICPCB1.控制所有WAFERLOADING和UNLOADING部分：控制LOADROLLER或皮帶MOTOR．PREALINGSPINDERMOTOR．TRANSFERARMMOTOR．UNLOADROLLER或皮帶偵測WAFER平邊2.控制MATERIAL，HANDLINGGSOLENOID(供給ENABLE信號到AI0)3.控制INDEXER動作A7：4-PORTSERIAL,l/OPCBRS-232PORRTTO:WAFERIDREADER:HOTCHUCKCONTROLLERSECSHOS
7、TPRINTERA8：256RAMPCBDISKSYSTEMCONTROLBOARD(可能移動機震動使板子接觸下良,造成無法開機)A9：TRMPERATURECOMPENSATIONMULTIPEXERPCB1.HOTCHUCK控制2.PLATENTEMPERATUREBEADA10：SOLENOIDDRIVERPCB驅(qū)動所有的SOLENOID控制A11：THETA、ZINKERDRIVRPCB1.驅(qū)動THETA和ZMOTOR(ERUN)2.驅(qū)動INKERS(E－IN
