金屬銅輔助刻蝕制備黑硅的研究.pdf

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4、他個人或集體己經發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體,均已在文中W明確方式說明并且表達了謝意。本人完全意識到本聲明的法律結果由本人承擔。六/燈.//研究生簽名;《抑.0期:南京大學學位論文使用授權聲明木學位論文作者同意學校保留并向國家有關部口或機構送交學位論文的復,可W采用影印印件和電子文檔、縮印或掃描等復制手段保存論文。本文電子文一檔的內容和紙質論文的內容相致。除在保密期內的論文外,允許論文被查閱和借閱,可W公布(包括刊登)論文的全部或者部分內容。論文的公布(包括刊登)

5、授權南京大學研究生院辦理。■玄w'i導師研究生簽名:衰故日期:戊金屬銅輔助刻蝕制備黑娃的研究作者:虞棟導師;張鳳鳴教授南京大學物理學院固體微結構物理國家重點實驗室DrtationforMasterDereeisseg-tudof;tchnSyCuassis1edchemicale:igforfabricatingnano-curedistrutsliconBDonYuygSupervisedbyProf.Fe打gmingZhangCollabo

6、rativeInnovationCenterofAdvancedMicrostrucutres,LabofSolidStateMicrostructures,SchoolofPhsicsy,NaninUniversitjgy南京大學研究生畢業(yè)論文中文摘要首巧用紙畢業(yè)論文題目:金屬銅輔助刻蝕制備黑娃的研究凝聚態(tài)物理專業(yè)12級碩壬生姑名:虞採指導教師(接若、職稱):張鳳鳴教授摘要黑強的制備及其在太陽能電池上的有效應用一,是進步降低光伏電池制造成一^^。

7、本^及提升光電轉換效率的有效途徑之金屬輔助刻蝕法是最近興起的,具有操作方便、成本低廉、適合大規(guī)模制造的黑娃制備方法。本文對此方法進行了改進,利用金屬銅輔助單步濕法刻蝕,在多晶撞及單晶插上成功制備出黑娃,并系統(tǒng)研究了其反應機理。相較于常用的金屬輔助刻蝕法;(1,本文的研究意義在于)金屬銅相較于銀、金、錯等其他貴金屬成本更低;(2)金屬銅易去除,不易殘留于強片中形成雜質和新的復合中也(3)減反效果優(yōu)異;(4)可制成多種;類形貌,并可通過反應條件進行調控。本文的主要內容包括:、、在多晶娃上,我們通過對雙

8、氧水氨氣酸硝酸銅濃度及反應溫度的調節(jié),當反應6CTC,H0:H:CuN〇=2M:6M:0M來調控黑娃形貌溫度為223)2.08[][巧[(]00nm ̄1)n時,刻蝕出的黑娃樣品具有最低反射率,在30CKm波段內達到了5%的水平。此外,我們還研究了娃

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