金屬銅輔助刻蝕制備黑硅的研究.pdf

《金屬銅輔助刻蝕制備黑硅的研究.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。

1、、漏１纖麵編顯義戀識(shí)豁：．＇記‘恤．巧－／＾ｖ；甚會(huì)濟(jì)巧篇詩旣羅載置磅＾＃，占義蠻；或：ｆ－＇’＇＇．＇’＇．－？’．：＾：．’＾：＇－＊．作４＆，．？＞．乂ｖ接省：．，。＞氣＞產(chǎn)石；ｒｒｉ寺．ｖ肛．甚／＾＾、．公皆：’＾驗(yàn)：．試｜＾產(chǎn)■■穿巧＇｜＇■馨－－■■．：ｌｙ，參馨零Ｉ攀鄉(xiāng)賽炎壽０麵難等．．、－？、．．－－．．心：：、：．、’心：；￣；／Ｖ‘ｉ：；；，；六＾ｊ；＼為，挺：究生畢化論ｆ：囊心報(bào)＇＇■戶．＇等衝．怎沖請(qǐng)幫去學(xué)似覆夢心＾；＃Ｉ按？＊：暫珊

2、ｌｖｉ藝聲務(wù)謂據(jù)樹．．＇＇、、…‘．，‘＾＇；．聲＞Ｖ一―、少義＇．－，ｃ，．作．批，；鴻勢分．＾．—＇、’－盧：皆讓屬銅輔助讀備鄰備咎的研究．．？心追立長站Ｖ文題．推苗＾草Ｖ．、喜嘴各義嘴托．爭璋嘉靡曼，；疼攝賽騎：苗南＾＇？難詩辯藏論法、觀／維馨聚態(tài)物理：識(shí)黎譯［始￣￣｜．’＇＇＂‘吁＾．：－；．＇－＇乃．．．．’．，．＾．；．：＾當(dāng)Ｘ蟲扣Ｖ咕；；＊：於＞．：也：證於、％斯戸，、＇、．？；＇？．－沾．人Ｖ；：‘器轅Ｖ．石苗嫌絲鳳鴻轅詳．瓣ｙ聲：濤．讀棋＇■；：ｒ

3、＇＇＇＾．：ｖ．＾每這堿皆矜鳴奪證沒＾游．：悉雙糟薄禱＇、．．．－Ｖ．．：嘗観．；游薦：載；＾；堿Ｓ謀＇＇＇＊＇＇＇＇＇＇＇■＇＂■－＾＂■■？？■＇■＇■＇■：■．１：．＾ｖ■／；ｌｆ－．＇Ｊ矜苦?？退及元{纖鴻：ｉ繳卿舉緣學(xué)號(hào)：ＭＧ１２２２０６７論文答辯日期：２０１５年５月１８日指導(dǎo)教師戶（簽字）南京大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明，，獨(dú)立進(jìn)行的研：所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下究工作所取得的成果，本論文。盡我所知，除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外不包含任何其

4、他個(gè)人或集體己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對(duì)本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中Ｗ明確方式說明并且表達(dá)了謝意。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。六／燈．／／研究生簽名；《抑．０期：南京大學(xué)學(xué)位論文使用授權(quán)聲明木學(xué)位論文作者同意學(xué)校保留并向國家有關(guān)部口或機(jī)構(gòu)送交學(xué)位論文的復(fù)，可Ｗ采用影印印件和電子文檔、縮印或掃描等復(fù)制手段保存論文。本文電子文一檔的內(nèi)容和紙質(zhì)論文的內(nèi)容相致。除在保密期內(nèi)的論文外，允許論文被查閱和借閱，可Ｗ公布（包括刊登）論文的全部或者部分內(nèi)容。論文的公布（包括刊登）

5、授權(quán)南京大學(xué)研究生院辦理。■玄ｗ＇ｉ導(dǎo)師研究生簽名：衰故日期：戊金屬銅輔助刻蝕制備黑娃的研究作者：虞棟導(dǎo)師；張鳳鳴教授南京大學(xué)物理學(xué)院固體微結(jié)構(gòu)物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室ＤｒｔａｔｉｏｎｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｒｅｅｉｓｓｅｇ－ｔｕｄｏｆ；ｔｃｈｎＳｙＣｕａｓｓｉｓ１ｅｄｃｈｅｍｉｃａｌｅ：ｉｇｆｏｒｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇｎａｎｏ－ｃｕｒｅｄｉｓｔｒｕｔｓｌｉｃｏｎＢＤｏｎＹｕｙｇＳｕｐｅｒｖｉｓｅｄｂｙＰｒｏｆ．Ｆｅ打ｇｍｉｎｇＺｈａｎｇＣｏｌｌａｂｏ

6、ｒａｔｉｖｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｕｔｒｅｓ，ＬａｂｏｆＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｓｉｃｓｙ，ＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｊｇｙ南京大學(xué)研究生畢業(yè)論文中文摘要首巧用紙畢業(yè)論文題目：金屬銅輔助刻蝕制備黑娃的研究凝聚態(tài)物理專業(yè)１２級(jí)碩壬生姑名：虞採指導(dǎo)教師（接若、職稱）：張鳳鳴教授摘要黑強(qiáng)的制備及其在太陽能電池上的有效應(yīng)用一，是進(jìn)步降低光伏電池制造成一＾＾。

7、本＾及提升光電轉(zhuǎn)換效率的有效途徑之金屬輔助刻蝕法是最近興起的，具有操作方便、成本低廉、適合大規(guī)模制造的黑娃制備方法。本文對(duì)此方法進(jìn)行了改進(jìn)，利用金屬銅輔助單步濕法刻蝕，在多晶撞及單晶插上成功制備出黑娃，并系統(tǒng)研究了其反應(yīng)機(jī)理。相較于常用的金屬輔助刻蝕法；（１，本文的研究意義在于）金屬銅相較于銀、金、錯(cuò)等其他貴金屬成本更低；（２）金屬銅易去除，不易殘留于強(qiáng)片中形成雜質(zhì)和新的復(fù)合中也（３）減反效果優(yōu)異；（４）可制成多種；類形貌，并可通過反應(yīng)條件進(jìn)行調(diào)控。本文的主要內(nèi)容包括：、、在多晶娃上，我們通過對(duì)雙

8、氧水氨氣酸硝酸銅濃度及反應(yīng)溫度的調(diào)節(jié)，當(dāng)反應(yīng)６ＣＴＣ，Ｈ０：Ｈ：ＣｕＮ〇＝２Ｍ：６Ｍ：０Ｍ來調(diào)控黑娃形貌溫度為２２３）２．０８［］［巧［（］００ｎｍ￣１）ｎ時(shí)，刻蝕出的黑娃樣品具有最低反射率，在３０ＣＫｍ波段內(nèi)達(dá)到了５％的水平。此外，我們還研究了娃