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《mems光開關(guān)的研究及市場分析__本科畢業(yè)設計論文.doc》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、集成電路專業(yè)學年論文論文題目:MEMS光開關(guān)的研究及市場分析學院:電子工程學院年級:專業(yè):姓名:學號:指導教師:畢業(yè)論文(設計)原創(chuàng)性聲明本人所呈交的畢業(yè)論文(設計)是我在導師的指導下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知,除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外,本論文(設計)不包含其他個人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本論文(設計)的研究做出重要貢獻的個人和集體,均已在文中作了明確說明并表示謝意。作者簽名:日期:畢業(yè)論文(設計)授權(quán)使用說明本論文(設計)作者完全了解紅河學院有關(guān)保留、使用畢業(yè)論文(設計)的規(guī)定,學校有權(quán)保留論文(設計)并向相關(guān)部門送交論文(設計)的電子版和紙質(zhì)版。有權(quán)將論文(設計)用
2、于非贏利目的的少量復制并允許論文(設計)進入學校圖書館被查閱。學??梢怨颊撐模ㄔO計)的全部或部分內(nèi)容。保密的論文(設計)在解密后適用本規(guī)定。作者簽名:指導教師簽名:日期:日期:I摘要光開關(guān)是光通信網(wǎng)絡的重要功能器件,MEMS光開關(guān)是最具發(fā)展前景的光開關(guān)之一。在簡介不同種類光開關(guān)原理特點的基礎上,詳細分析了當前主要的MEMS光開關(guān)的分類、結(jié)構(gòu)、工藝與性能特點,并給出了研究與發(fā)展情況和采用MEMS體硅工藝制作的三種結(jié)構(gòu)的微機械光開關(guān)。它們的工作原理都基于硅數(shù)字微鏡技術(shù)。這三種光開關(guān)采用了靜電力驅(qū)動,具有較低的驅(qū)動電壓。在硅基上制作了光纖自對準耦合槽,并對光開關(guān)的開關(guān)特性進行了計算機模擬與分析,
3、并進行結(jié)果分析。關(guān)鍵詞微機械;光開關(guān);開關(guān)陣列;微鏡;硅-玻璃鍵合;光纖通信IIAbstractOpticalswitchisanimportantfunctionaldeviceinopticalfibrecommunicationnetworks,MEMSopticalswitchisoneofthemostpromisefulopticalswitches.Thispaperintroducesbasicprinciplesandcharactersofseveralkindsofopticalswitches,andillustratestheclassification,struc
4、tures,fabricationmethodsandfunctionalcharactersofcurrentMEMSopticalswitchindetails.AndrecentdevelopmentandprogressonthisresearchareaarepresentedandthreekindsofMEMSopticalswitcheswithdifferentmechanicalstructuresareproducedbythebulk-micromachiningprocesses.Theirprinciplesofoperationareallbasedonsili
5、condigitalmicromirrorstechnology.Theelectrostaticactuatorswithlowdrivingvoltageareusedinthethreekindsofopticalswitch.Thegroovesusedforopticalfibersbeingself-alignedcouplingaremadeonsiliconsubstratefordevice.Computersimulationandanalysisofon-offcharacteristicshowthatthesecondandthethirdopticalswitch
6、eshaveswitchingtime.KeywordsMEMS;opticalswitch;switcharray;micromirror;silicon-on-glassbonding;opticalfibercommunicationIII目錄摘要............................................................................................................................................IAbstract.......................
7、............................................................................................................III前言.............................................................................................