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《mems光開關(guān)的研究及市場分析__本科畢業(yè)設計論文.doc》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、集成電路專業(yè)學年論文論文題目：MEMS光開關(guān)的研究及市場分析學院：電子工程學院年級：專業(yè)：姓名：學號：指導教師：畢業(yè)論文（設計）原創(chuàng)性聲明本人所呈交的畢業(yè)論文（設計）是我在導師的指導下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文（設計）不包含其他個人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本論文（設計）的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中作了明確說明并表示謝意。作者簽名：日期：畢業(yè)論文（設計）授權(quán)使用說明本論文（設計）作者完全了解紅河學院有關(guān)保留、使用畢業(yè)論文（設計）的規(guī)定，學校有權(quán)保留論文（設計）并向相關(guān)部門送交論文（設計）的電子版和紙質(zhì)版。有權(quán)將論文（設計）用
2、于非贏利目的的少量復制并允許論文（設計）進入學校圖書館被查閱。學?？梢怨颊撐模ㄔO計）的全部或部分內(nèi)容。保密的論文（設計）在解密后適用本規(guī)定。作者簽名：指導教師簽名：日期：日期：I摘要光開關(guān)是光通信網(wǎng)絡的重要功能器件,MEMS光開關(guān)是最具發(fā)展前景的光開關(guān)之一。在簡介不同種類光開關(guān)原理特點的基礎上，詳細分析了當前主要的MEMS光開關(guān)的分類、結(jié)構(gòu)、工藝與性能特點，并給出了研究與發(fā)展情況和采用MEMS體硅工藝制作的三種結(jié)構(gòu)的微機械光開關(guān)。它們的工作原理都基于硅數(shù)字微鏡技術(shù)。這三種光開關(guān)采用了靜電力驅(qū)動，具有較低的驅(qū)動電壓。在硅基上制作了光纖自對準耦合槽，并對光開關(guān)的開關(guān)特性進行了計算機模擬與分析，
3、并進行結(jié)果分析。關(guān)鍵詞微機械；光開關(guān)；開關(guān)陣列；微鏡；硅-玻璃鍵合；光纖通信IIAbstractOpticalswitchisanimportantfunctionaldeviceinopticalfibrecommunicationnetworks,MEMSopticalswitchisoneofthemostpromisefulopticalswitches.Thispaperintroducesbasicprinciplesandcharactersofseveralkindsofopticalswitches,andillustratestheclassification,struc
4、tures,fabricationmethodsandfunctionalcharactersofcurrentMEMSopticalswitchindetails.AndrecentdevelopmentandprogressonthisresearchareaarepresentedandthreekindsofMEMSopticalswitcheswithdifferentmechanicalstructuresareproducedbythebulk-micromachiningprocesses.Theirprinciplesofoperationareallbasedonsili
5、condigitalmicromirrorstechnology.Theelectrostaticactuatorswithlowdrivingvoltageareusedinthethreekindsofopticalswitch.Thegroovesusedforopticalfibersbeingself-alignedcouplingaremadeonsiliconsubstratefordevice.Computersimulationandanalysisofon-offcharacteristicshowthatthesecondandthethirdopticalswitch
6、eshaveswitchingtime.KeywordsMEMS;opticalswitch;switcharray;micromirror;silicon-on-glassbonding；opticalfibercommunicationIII目錄摘要............................................................................................................................................IAbstract.......................
7、............................................................................................................III前言.............................................................................................
