資源描述：
《mems光開關(guān)的研究及市場分析》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、集成電路專業(yè)學(xué)年論文論文題目：MEMS光開關(guān)的研究及市場分析學(xué)院：電子工程學(xué)院年級：專業(yè)：姓名：學(xué)號：指導(dǎo)教師：畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）原創(chuàng)性聲明本人所呈交的畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文（設(shè)計(jì)）不包含其他個(gè)人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對本論文（設(shè)計(jì)）的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中作了明確說明并表示謝意。作者簽名：日期：畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）授權(quán)使用說明本論文（設(shè)計(jì)）作者完全了解紅河學(xué)院有關(guān)保留、使用畢業(yè)論文（設(shè)計(jì)）的規(guī)定，學(xué)校有權(quán)保留論文（設(shè)計(jì)）并向相關(guān)部門送交論文（設(shè)計(jì)）的電子版和紙質(zhì)版。有權(quán)將論
2、文（設(shè)計(jì)）用于非贏利目的的少量復(fù)制并允許論文（設(shè)計(jì)）進(jìn)入學(xué)校圖書館被查閱。學(xué)?？梢怨颊撐模ㄔO(shè)計(jì)）的全部或部分內(nèi)容。保密的論文（設(shè)計(jì)）在解密后適用本規(guī)定。作者簽名：指導(dǎo)教師簽名：日期：日期：I摘要光開關(guān)是光通信網(wǎng)絡(luò)的重要功能器件,MEMS光開關(guān)是最具發(fā)展前景的光開關(guān)之一。在簡介不同種類光開關(guān)原理特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，詳細(xì)分析了當(dāng)前主要的MEMS光開關(guān)的分類、結(jié)構(gòu)、工藝與性能特點(diǎn)，并給出了研究與發(fā)展情況和采用MEMS體硅工藝制作的三種結(jié)構(gòu)的微機(jī)械光開關(guān)。它們的工作原理都基于硅數(shù)字微鏡技術(shù)。這三種光開關(guān)采用了靜電力驅(qū)動，具有較低的驅(qū)動電壓。在硅基上制作了光纖自對準(zhǔn)耦合槽，并對光開關(guān)的開關(guān)特性
3、進(jìn)行了計(jì)算機(jī)模擬與分析，并進(jìn)行結(jié)果分析。關(guān)鍵詞微機(jī)械；光開關(guān)；開關(guān)陣列；微鏡；硅-玻璃鍵合；光纖通信IIAbstractOpticalswitchisanimportantfunctionaldeviceinopticalfibrecommunicationnetworks,MEMSopticalswitchisoneofthemostpromisefulopticalswitches.Thispaperintroducesbasicprinciplesandcharactersofseveralkindsofopticalswitches,andillustratesthecl
4、assification,structures,fabricationmethodsandfunctionalcharactersofcurrentMEMSopticalswitchindetails.AndrecentdevelopmentandprogressonthisresearchareaarepresentedandthreekindsofMEMSopticalswitcheswithdifferentmechanicalstructuresareproducedbythebulk-micromachiningprocesses.Theirprinciplesofop
5、erationareallbasedonsilicondigitalmicromirrorstechnology.Theelectrostaticactuatorswithlowdrivingvoltageareusedinthethreekindsofopticalswitch.Thegroovesusedforopticalfibersbeingself-alignedcouplingaremadeonsiliconsubstratefordevice.Computersimulationandanalysisofon-offcharacteristicshowthatthe
6、secondandthethirdopticalswitcheshaveswitchingtime.KeywordsMEMS;opticalswitch;switcharray;micromirror;silicon-on-glassbonding；opticalfibercommunicationIII目錄摘要........................................................................................................................................
7、....IAbstract...................................................................................................................................III前言.............................................................................................
