jn單晶生長(zhǎng)爐技術(shù)資料(95)

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1、常州江南電力光伏科技有限公司專(zhuān)業(yè)晶體生長(zhǎng)爐研發(fā)企業(yè)技術(shù)文件目錄設(shè)備技術(shù)說(shuō)明書(shū)2一、設(shè)備名稱(chēng)2二、設(shè)備的功能概述2三、設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)3四、設(shè)備的規(guī)格書(shū)5五、設(shè)備的制造工藝流程。12六、設(shè)備的檢驗(yàn)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)13七、設(shè)備部件構(gòu)成表23八、設(shè)備相關(guān)圖紙資料241、設(shè)備總圖242、設(shè)備地基圖253、電控柜圖26九、主要進(jìn)口部件清單表27十、售后服務(wù)計(jì)劃28十一、設(shè)計(jì)、制造標(biāo)準(zhǔn)31十二、通用制造工藝、檢驗(yàn)及驗(yàn)收簡(jiǎn)介33十三、設(shè)備的特殊工藝36十四、質(zhì)量控制及質(zhì)量保證38十五、操作界面示意39十六、直流電源技術(shù)參數(shù)40地址：江蘇常州漢江西路99號(hào)電話(huà)：0519-688822

2、30~35郵箱：czjndl@126.com郵編：213022第40頁(yè)共40頁(yè)常州江南電力光伏科技有限公司專(zhuān)業(yè)晶體生長(zhǎng)爐研發(fā)企業(yè)設(shè)備技術(shù)說(shuō)明書(shū)一、設(shè)備名稱(chēng)名稱(chēng)：TDR-JN系列單晶硅爐二、設(shè)備的功能概述TDR-JN系列全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，是采用直拉法生長(zhǎng)單晶硅材料的專(zhuān)用設(shè)備。該設(shè)備集機(jī)械、電氣控制、儀表、真空密封、高溫壓力容器等領(lǐng)域技術(shù)于一體，綜合了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品之優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)合理，配置了美國(guó)RockwellAutomation公司分布式PAC數(shù)字SCADA控制系統(tǒng)及高像素CCD影像視覺(jué)采集技術(shù)?？垢蓴_性好，可靠性高，維修方便。自主研發(fā)的全自動(dòng)控制技

3、術(shù)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)技術(shù)空白，技術(shù)水平處于國(guó)際先進(jìn)水平。設(shè)備采用電腦控制系統(tǒng)和觸摸式屏幕顯示的直觀形象的界面控制，系統(tǒng)運(yùn)行平穩(wěn)，可靠性高，拉晶工藝全過(guò)程直觀顯示，能實(shí)現(xiàn)從抽真空、檢漏、爐壓控制、熔料、穩(wěn)定、溶接、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾、停爐全過(guò)程的自動(dòng)控制。適用于20/22/24英寸熱場(chǎng)，拉制6～12英寸無(wú)錯(cuò)位、等徑度好的高質(zhì)量單晶棒。單晶成晶率達(dá)80%以上。本設(shè)備配制高，關(guān)鍵件從美國(guó)及日本等引進(jìn)，使用壽命長(zhǎng)，維修率低，因此運(yùn)行成本也低。TDR-JN系列全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐主要由主機(jī)、加熱電源、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)三大部分組成。1.主機(jī)部分：機(jī)架，立柱。雙層水冷式結(jié)構(gòu)爐體。

4、水冷式閥座。晶體提升及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。坩堝提升及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。籽晶提拉和坩堝提升裝置的水平調(diào)整裝置。氬氣系統(tǒng)及配套件采用高品質(zhì)的進(jìn)口件。高品質(zhì)的真空系統(tǒng)，自動(dòng)真空檢漏及爐壓控制。水冷系統(tǒng)及過(guò)熱保警裝置。爐壓異常報(bào)警系統(tǒng)。2.加熱器電源：地址：江蘇常州漢江西路99號(hào)電話(huà)：0519-68882230~35郵箱：czjndl@126.com郵編：213022第40頁(yè)共40頁(yè)常州江南電力光伏科技有限公司專(zhuān)業(yè)晶體生長(zhǎng)爐研發(fā)企業(yè)全水冷電源裝置采用最新專(zhuān)利電源技術(shù)和/或原裝進(jìn)口IGBT及超快恢復(fù)二極管等功率器件，配以特效高頻變壓器，構(gòu)成新一代高頻開(kāi)關(guān)電源。采用移相全橋軟開(kāi)關(guān)（ZVS）及

5、CPU獨(dú)立控制技術(shù)，提高了電能轉(zhuǎn)換效率，不需要功率因數(shù)補(bǔ)償裝置，是傳統(tǒng)晶閘管整流電源的更新?lián)Q代產(chǎn)品。比傳統(tǒng)電源節(jié)電20%。3.單晶爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（包括觸摸屏人機(jī)界面操作顯示控制軟件與PAC數(shù)字SCADA晶體生長(zhǎng)過(guò)程控制軟件）。CCD測(cè)徑系統(tǒng)ADC。就地柜（包括分布式PLC、直流伺服電機(jī)調(diào)速器、傳感器接口及加熱器電源控制接口等硬件系統(tǒng)）?？刂乒瘢ㄖ鱌AC和觸摸屏工業(yè)平板PC機(jī)，雙顯示屏，SCADA監(jiān)控系統(tǒng)等）。三、設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)功能FunctionTDR85-JNTDR95-JNTDR105-JN拉制晶棒直徑ingotDiameter6"/8

6、"6.5"/10"8"/12"最大裝料量MaximumChargeAmount95kg120kg150kg可拉晶棒最大長(zhǎng)度MaximumCrystallength2000mm2000mm1700mm可用坩格規(guī)格RecommendedCrucible20"20"/22"22"/24"晶體升降行程TotalSeedTravel3400mm3500mm3700mm晶體提升速度（低）SeedSlowLiftSpeed0.2～10.5mm/min晶體提升速度（高）SeedHighLiftSpeed500mm/min晶體旋轉(zhuǎn)速度SeedRotatingSpeed2～40rp

7、m坩堝升降行程TotalCrucibleTravel400mm坩堝升降速度（低）CrucibleSlowLiftSpeed0.04～0.63mm/min坩堝升降速度（高）CrucibleHighLiftSpeed150mm/min地址：江蘇常州漢江西路99號(hào)電話(huà)：0519-68882230~35郵箱：czjndl@126.com郵編：213022第40頁(yè)共40頁(yè)常州江南電力光伏科技有限公司專(zhuān)業(yè)晶體生長(zhǎng)爐研發(fā)企業(yè)功能FunctionTDR85-JNTDR95-JNTDR105-JN坩堝旋轉(zhuǎn)速度CrucibleRotatingSpeed0.5～20rpm中爐筒內(nèi)徑F

8、urnacedimens