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《jn單晶生長爐技術資料(95)》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、常州江南電力光伏科技有限公司專業(yè)晶體生長爐研發(fā)企業(yè)技術文件目錄設備技術說明書2一、設備名稱2二、設備的功能概述2三、設備的主要技術參數(shù)3四、設備的規(guī)格書5五、設備的制造工藝流程。12六、設備的檢驗驗收標準13七、設備部件構成表23八、設備相關圖紙資料241、設備總圖242、設備地基圖253、電控柜圖26九、主要進口部件清單表27十、售后服務計劃28十一、設計、制造標準31十二、通用制造工藝、檢驗及驗收簡介33十三、設備的特殊工藝36十四、質量控制及質量保證38十五、操作界面示意39十六、直流電源技術參數(shù)40地址：江蘇常州漢江西路99號電話：0519-68882230~35郵箱
2、：czjndl@126.com郵編：213022第40頁共40頁常州江南電力光伏科技有限公司專業(yè)晶體生長爐研發(fā)企業(yè)設備技術說明書一、設備名稱名稱：TDR-JN系列單晶硅爐二、設備的功能概述TDR-JN系列全自動晶體生長爐具有自主知識產權，是采用直拉法生長單晶硅材料的專用設備。該設備集機械、電氣控制、儀表、真空密封、高溫壓力容器等領域技術于一體，綜合了國內外同類產品之優(yōu)點，結構合理，配置了美國RockwellAutomation公司分布式PAC數(shù)字SCADA控制系統(tǒng)及高像素CCD影像視覺采集技術?？垢蓴_性好，可靠性高，維修方便。自主研發(fā)的全自動控制技術填補了國內技術空白，技術水
3、平處于國際先進水平。設備采用電腦控制系統(tǒng)和觸摸式屏幕顯示的直觀形象的界面控制，系統(tǒng)運行平穩(wěn)，可靠性高，拉晶工藝全過程直觀顯示，能實現(xiàn)從抽真空、檢漏、爐壓控制、熔料、穩(wěn)定、溶接、引晶、放肩、轉肩、等徑、收尾、停爐全過程的自動控制。適用于20/22/24英寸熱場，拉制6～12英寸無錯位、等徑度好的高質量單晶棒。單晶成晶率達80%以上。本設備配制高，關鍵件從美國及日本等引進，使用壽命長，維修率低，因此運行成本也低。TDR-JN系列全自動晶體生長爐主要由主機、加熱電源、計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。1.主機部分：機架，立柱。雙層水冷式結構爐體。水冷式閥座。晶體提升及旋轉機構。坩堝提升及
4、旋轉機構。籽晶提拉和坩堝提升裝置的水平調整裝置。氬氣系統(tǒng)及配套件采用高品質的進口件。高品質的真空系統(tǒng)，自動真空檢漏及爐壓控制。水冷系統(tǒng)及過熱保警裝置。爐壓異常報警系統(tǒng)。2.加熱器電源：地址：江蘇常州漢江西路99號電話：0519-68882230~35郵箱：czjndl@126.com郵編：213022第40頁共40頁常州江南電力光伏科技有限公司專業(yè)晶體生長爐研發(fā)企業(yè)全水冷電源裝置采用最新專利電源技術和/或原裝進口IGBT及超快恢復二極管等功率器件，配以特效高頻變壓器，構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關（ZVS）及CPU獨立控制技術，提高了電能轉換效率，不需要功率因數(shù)補
5、償裝置，是傳統(tǒng)晶閘管整流電源的更新?lián)Q代產品。比傳統(tǒng)電源節(jié)電20%。3.單晶爐計算機控制系統(tǒng)；計算機控制系統(tǒng)（包括觸摸屏人機界面操作顯示控制軟件與PAC數(shù)字SCADA晶體生長過程控制軟件）。CCD測徑系統(tǒng)ADC。就地柜（包括分布式PLC、直流伺服電機調速器、傳感器接口及加熱器電源控制接口等硬件系統(tǒng)）?？刂乒瘢ㄖ鱌AC和觸摸屏工業(yè)平板PC機，雙顯示屏，SCADA監(jiān)控系統(tǒng)等）。三、設備的主要技術參數(shù)功能FunctionTDR85-JNTDR95-JNTDR105-JN拉制晶棒直徑ingotDiameter6"/8"6.5"/10"8"/12"最大裝料量MaximumChargeAm
6、ount95kg120kg150kg可拉晶棒最大長度MaximumCrystallength2000mm2000mm1700mm可用坩格規(guī)格RecommendedCrucible20"20"/22"22"/24"晶體升降行程TotalSeedTravel3400mm3500mm3700mm晶體提升速度（低）SeedSlowLiftSpeed0.2～10.5mm/min晶體提升速度（高）SeedHighLiftSpeed500mm/min晶體旋轉速度SeedRotatingSpeed2～40rpm坩堝升降行程TotalCrucibleTravel400mm坩堝升降速度（低）Cr
7、ucibleSlowLiftSpeed0.04～0.63mm/min坩堝升降速度（高）CrucibleHighLiftSpeed150mm/min地址：江蘇常州漢江西路99號電話：0519-68882230~35郵箱：czjndl@126.com郵編：213022第40頁共40頁常州江南電力光伏科技有限公司專業(yè)晶體生長爐研發(fā)企業(yè)功能FunctionTDR85-JNTDR95-JNTDR105-JN坩堝旋轉速度CrucibleRotatingSpeed0.5～20rpm中爐筒內徑Furnacedimens
