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1、為了確保“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用，我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)備安裝到位后，中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn)，熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)?；赩EE的MEMS濾波器在片測試系統(tǒng) 摘要：MEMS濾波器具有小型化、低插損、高帶外抑制等優(yōu)點(diǎn)，是微波通信系統(tǒng)研究的重要方向之一。隨著MEMS濾波器需求量的不斷增加，傳統(tǒng)的手動測試篩選方式已經(jīng)不能滿足多通道組件裝配的需求。本文采用AgilentVEE作為軟件開發(fā)平臺，設(shè)計了一種MEMS濾波器自動測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了濾波器在片微波測試和數(shù)據(jù)自動存儲，能夠滿足大規(guī)模測試的要求。 關(guān)鍵詞：AgilentVEE
2、；MEMS濾波器；在片測試系統(tǒng) 中圖分類號：TP273文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：1007--0124-02 MEMSFilterOnWaferTestSystemBasedonVEE MaJie，SunTianling，YangZhihu，ZhangLijiang，CuiYuxing Abstract：TheMEMSfilterhasgoodqualityinminiaturization，lowinsertionlossandhighbandrejection，whichisoneoftheimportantdirectionsintheresearchofmicrowav
3、ecommunicationsystem.AstheincreasingdemandofMEMSfilter，thetraditionalmanualtestingalreadycan'tmeettherequirementsofmulti-channelmoduleassembly.Thisletterjustly為了充分發(fā)揮“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備的作用，我們不僅把資源運(yùn)用于課堂教學(xué)，還利用系統(tǒng)的特色欄目開展課外活動，對學(xué)生進(jìn)行安全教育、健康教育、反邪教教育等豐富學(xué)生的課余文化生活。為了確?！敖虒W(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用，我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)
4、備安裝到位后，中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn)，熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)。introducesawaytorealizeMEMSFilterautomatictestsystembasedonAgilentVEEsoftwareplatform.Thissystemsolvestheonwafermicrowavetest，automaticdatastorage，andhasagoodprospectinlarge-scaleMEMSfiltertest. KeyWords：AgilentVEE；MEMSfilter；onwafertestsystem ?V波器在
5、信號傳輸鏈路中起著頻率選擇作用，是微波通信系統(tǒng)中必不可少的組成部分。隨著單片微波集成電路的發(fā)展，傳統(tǒng)濾波器已經(jīng)無法滿足射頻微波組件小型化的要求。MEMS濾波器不僅具有低的插入損耗、高的Q值和良好的帶外抑制，而且在體積和可集成性上具有明顯的優(yōu)勢，是微波選頻元件的熱門研究方向[1-3]?！ EMS濾波器在使用前需要進(jìn)行測試篩選，判斷其指標(biāo)是否滿足要求。傳統(tǒng)篩選方法采用手動測試和記錄數(shù)據(jù)，測試效率低，無法滿足大批量產(chǎn)品的供貨要求。本文正是基于此開展研究，通過VEE程序?qū)崿F(xiàn)探針臺控制、S參數(shù)提取計算和測試數(shù)據(jù)存儲。測試過程完全自動化，生成數(shù)據(jù)實(shí)時顯示，并自動保存到相應(yīng)的文件夾?！ ?測試系統(tǒng)
6、的組成 測試系統(tǒng)由探針臺、測試儀器和控制電腦三部分組成，采用GPIB接口進(jìn)行通信。在測試過程中，通過Agilent為了充分發(fā)揮“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備的作用，我們不僅把資源運(yùn)用于課堂教學(xué)，還利用系統(tǒng)的特色欄目開展課外活動，對學(xué)生進(jìn)行安全教育、健康教育、反邪教教育等豐富學(xué)生的課余文化生活。為了確保“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用，我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)備安裝到位后，中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn)，熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)。VEE程序?qū)ο到y(tǒng)各組成部分進(jìn)行控制和數(shù)據(jù)交換，計算濾波器參數(shù)，最后以s2p和Excel格式進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲?！ ∮布?/p>
7、部分 測試系統(tǒng)采用GPIB總線進(jìn)行通信控制[4]，按照圖1方式進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)硬件控制和數(shù)據(jù)采集功能，圖中粗實(shí)線表示微波通路，虛線表示GPIB控制通路。測試系統(tǒng)中矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀提供射頻信號激勵和S參數(shù)測量，微波探針臺進(jìn)行移動控制和壓針，測試計算機(jī)用于系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)交換和存儲?！ ≤浖糠帧 ≤浖脚_ AgilentVEE與NILabVIEW是目前兩大主流的虛擬儀器編程開發(fā)平臺[5-6]。AgilentVEE與本系統(tǒng)采用的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀具有良好
