資源描述:
《基于vee的mems濾波器在片測試系統(tǒng)》由會員上傳分享,免費(fèi)在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、為了確保“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用,我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)備安裝到位后,中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn),熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)?;赩EE的MEMS濾波器在片測試系統(tǒng) 摘要:MEMS濾波器具有小型化、低插損、高帶外抑制等優(yōu)點(diǎn),是微波通信系統(tǒng)研究的重要方向之一。隨著MEMS濾波器需求量的不斷增加,傳統(tǒng)的手動測試篩選方式已經(jīng)不能滿足多通道組件裝配的需求。本文采用AgilentVEE作為軟件開發(fā)平臺,設(shè)計了一種MEMS濾波器自動測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了濾波器在片微波測試和數(shù)據(jù)自動存儲,能夠滿足大規(guī)模測試的要求。 關(guān)鍵詞:AgilentVEE
2、;MEMS濾波器;在片測試系統(tǒng) 中圖分類號:TP273文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A文章編號:1007--0124-02 MEMSFilterOnWaferTestSystemBasedonVEE MaJie,SunTianling,YangZhihu,ZhangLijiang,CuiYuxing Abstract:TheMEMSfilterhasgoodqualityinminiaturization,lowinsertionlossandhighbandrejection,whichisoneoftheimportantdirectionsintheresearchofmicrowav
3、ecommunicationsystem.AstheincreasingdemandofMEMSfilter,thetraditionalmanualtestingalreadycan'tmeettherequirementsofmulti-channelmoduleassembly.Thisletterjustly為了充分發(fā)揮“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備的作用,我們不僅把資源運(yùn)用于課堂教學(xué),還利用系統(tǒng)的特色欄目開展課外活動,對學(xué)生進(jìn)行安全教育、健康教育、反邪教教育等豐富學(xué)生的課余文化生活。為了確?!敖虒W(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用,我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)
4、備安裝到位后,中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn),熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)。introducesawaytorealizeMEMSFilterautomatictestsystembasedonAgilentVEEsoftwareplatform.Thissystemsolvestheonwafermicrowavetest,automaticdatastorage,andhasagoodprospectinlarge-scaleMEMSfiltertest. KeyWords:AgilentVEE;MEMSfilter;onwafertestsystem ?V波器在
5、信號傳輸鏈路中起著頻率選擇作用,是微波通信系統(tǒng)中必不可少的組成部分。隨著單片微波集成電路的發(fā)展,傳統(tǒng)濾波器已經(jīng)無法滿足射頻微波組件小型化的要求。MEMS濾波器不僅具有低的插入損耗、高的Q值和良好的帶外抑制,而且在體積和可集成性上具有明顯的優(yōu)勢,是微波選頻元件的熱門研究方向[1-3]?! EMS濾波器在使用前需要進(jìn)行測試篩選,判斷其指標(biāo)是否滿足要求。傳統(tǒng)篩選方法采用手動測試和記錄數(shù)據(jù),測試效率低,無法滿足大批量產(chǎn)品的供貨要求。本文正是基于此開展研究,通過VEE程序?qū)崿F(xiàn)探針臺控制、S參數(shù)提取計算和測試數(shù)據(jù)存儲。測試過程完全自動化,生成數(shù)據(jù)實(shí)時顯示,并自動保存到相應(yīng)的文件夾?! ?測試系統(tǒng)
6、的組成 測試系統(tǒng)由探針臺、測試儀器和控制電腦三部分組成,采用GPIB接口進(jìn)行通信。在測試過程中,通過Agilent為了充分發(fā)揮“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備的作用,我們不僅把資源運(yùn)用于課堂教學(xué),還利用系統(tǒng)的特色欄目開展課外活動,對學(xué)生進(jìn)行安全教育、健康教育、反邪教教育等豐富學(xué)生的課余文化生活。為了確保“教學(xué)點(diǎn)數(shù)字教育資源全覆蓋”項目設(shè)備正常使用,我校做到安裝、教師培訓(xùn)同步進(jìn)行。設(shè)備安裝到位后,中心校組織各學(xué)點(diǎn)管理人員統(tǒng)一到縣教師進(jìn)修學(xué)校進(jìn)行培訓(xùn),熟悉系統(tǒng)的使用和維護(hù)。VEE程序?qū)ο到y(tǒng)各組成部分進(jìn)行控制和數(shù)據(jù)交換,計算濾波器參數(shù),最后以s2p和Excel格式進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲?! ∮布?/p>
7、部分 測試系統(tǒng)采用GPIB總線進(jìn)行通信控制[4],按照圖1方式進(jìn)行連接,實(shí)現(xiàn)硬件控制和數(shù)據(jù)采集功能,圖中粗實(shí)線表示微波通路,虛線表示GPIB控制通路。測試系統(tǒng)中矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀提供射頻信號激勵和S參數(shù)測量,微波探針臺進(jìn)行移動控制和壓針,測試計算機(jī)用于系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)交換和存儲?! ≤浖糠帧 ≤浖脚_ AgilentVEE與NILabVIEW是目前兩大主流的虛擬儀器編程開發(fā)平臺[5-6]。AgilentVEE與本系統(tǒng)采用的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀具有良好