MEMS晶圓片全參數(shù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng).doc

《MEMS晶圓片全參數(shù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng).doc》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。

1、HeadlineLS1100MEMS晶圓片全參數(shù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)IMAGEOFSOLUTIONBodyCopy系統(tǒng)概述如果你在研發(fā)并制造MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))晶圓片，那么你就需要一套測(cè)試系統(tǒng)來測(cè)量晶圓片上的芯片是否達(dá)到了你的設(shè)計(jì)要求。除了用來連接芯片管腳的探針臺(tái)之外，測(cè)試系統(tǒng)還包括一系列測(cè)量?jī)x器，主要用于測(cè)量晶圓片的動(dòng)態(tài)參數(shù)和靜態(tài)參數(shù)。除了這些硬件設(shè)備之外，對(duì)于批量制造而言，測(cè)量的自動(dòng)化也是非常重要的一個(gè)方面。LS1100系列MEMS晶圓片全參數(shù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)是航天新銳針對(duì)客戶的要求開發(fā)出的系列解決方案，其中包括流量計(jì)、加速

2、度計(jì)等。LS1100根據(jù)應(yīng)用不同，分為L(zhǎng)S1101A、LS1102A和LS1103A三個(gè)系列解決方案：LS1101A適用于大規(guī)模產(chǎn)線生產(chǎn)，測(cè)量速度快，圓片規(guī)模大的場(chǎng)合；LS1102A適用于小批量試制及研發(fā)，測(cè)試參數(shù)設(shè)置靈活；LS1103A為綜合測(cè)試系統(tǒng)，設(shè)定有不同模式，綜合了LS1101A和LS1102A的特點(diǎn)，是一個(gè)比較完整的解決方案。系統(tǒng)特點(diǎn)1、大幅度加快了測(cè)量速度芯片連接點(diǎn)可以多達(dá)24通道。任何2通道之間的參數(shù)可以自動(dòng)選擇，快速完成測(cè)量；靜態(tài)參數(shù)和動(dòng)態(tài)參數(shù)不需要改變連接，可以連續(xù)測(cè)量；校準(zhǔn)文件使測(cè)量精度有切實(shí)保證。2

3、、適應(yīng)多種被測(cè)晶圓片針對(duì)不同芯片設(shè)計(jì)方式的晶圓片，Map圖生成后作為配置文件的一部分，可以自由修改、存儲(chǔ)、調(diào)用；對(duì)應(yīng)的失效統(tǒng)計(jì)分析功能可以針對(duì)不同的晶圓片，省去測(cè)試后的大量數(shù)據(jù)分析和處理工作。3、真正的定制化的自動(dòng)系統(tǒng)硬件升級(jí)簡(jiǎn)易；軟件按客戶需求可以不定期地修改或升級(jí)；數(shù)據(jù)庫功能強(qiáng)大、保密性好。