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《嚴(yán)格耦合波的分析建模算法與其在光學(xué)散射測(cè)量中的應(yīng)用研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、AThesisSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementsfortheDegreeofMasterofEngineeringImplementationandApplicationofRigorousCoupled-WaveAnalysisinOpticalScatterometryCandidate:MaYuanMajor:MechatronicEngineeringSupervisor:ProfessorLiuShiyuanHuazhongUniversityof
2、ScienceandTechnologyWuhan430074,P.R.ChinaJanuary,2012獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個(gè)人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除文中已經(jīng)標(biāo)明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的研究成果。對(duì)本文的研究做出貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到，本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。學(xué)位論文作者簽名：日期：年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，即：學(xué)校有權(quán)保留并向
3、國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)華中科技大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編本學(xué)位論文。保密□，在______年解密后適用本授權(quán)書(shū)。本論文屬于不保密□。（請(qǐng)?jiān)谝陨戏娇騼?nèi)打“√”）學(xué)位論文作者簽名：指導(dǎo)教師簽名：日期：年月日日期：年月日華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要目前，由于光學(xué)散射測(cè)量具有快速、無(wú)接觸、非破壞、低成本等特點(diǎn)，在納米制造的在線測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。光學(xué)散射測(cè)量由兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)支撐，即正向光學(xué)特性
4、建模和反向幾何參數(shù)提取。在諸多正向光學(xué)特性建模方法中，嚴(yán)格耦合波分析理論因其建模精度高、適用對(duì)象廣，普遍應(yīng)用于周期性納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性建模中。本文闡述了基于嚴(yán)格耦合波分析的建模理論與方法，實(shí)現(xiàn)了基于嚴(yán)格耦合波分析的光學(xué)特性建模計(jì)算，評(píng)估了該算法性能，并提出了一種估計(jì)收斂級(jí)次以實(shí)現(xiàn)快速建模的方法，最后研究了其在光學(xué)散射測(cè)量中的應(yīng)用。分別針對(duì)一維周期結(jié)構(gòu)和二維周期結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)要闡述了嚴(yán)格耦合波分析理論的原理，在此基礎(chǔ)上建立了基于嚴(yán)格耦合波分析的光學(xué)特性計(jì)算模型，并推導(dǎo)實(shí)現(xiàn)了相應(yīng)建模算法。為驗(yàn)證該算法的精確度，與商用建模軟件
5、比較，對(duì)于一維和二維周期-7-3結(jié)構(gòu)的求解精度分別達(dá)到了10和10量級(jí)。通過(guò)仿真分析，評(píng)估了基于嚴(yán)格耦合波分析的正向建模求解算法的穩(wěn)定性、收斂性、計(jì)算精度和計(jì)算效率。針對(duì)一維矩形光柵收斂級(jí)次和結(jié)構(gòu)參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行了大量仿真分析，發(fā)現(xiàn)了收斂級(jí)次與光柵周期的近似線性關(guān)系和隨入射波長(zhǎng)的變化規(guī)律。通過(guò)進(jìn)一步仿真分析發(fā)現(xiàn)收斂級(jí)次隨波長(zhǎng)-周期比的變化規(guī)律，實(shí)現(xiàn)了預(yù)估未知結(jié)構(gòu)的收斂級(jí)次，并取得了較為滿意的結(jié)果。建立了基于嚴(yán)格耦合波分析的納米結(jié)構(gòu)反射光譜、橢偏光譜和穆勒偏振光譜計(jì)算模型，并通過(guò)改變結(jié)構(gòu)參數(shù)和套刻誤差定性分析了基于
6、反射光譜測(cè)量、橢偏光譜測(cè)量和穆勒偏振光譜測(cè)量的靈敏度。通過(guò)仿真分析，發(fā)現(xiàn)穆勒偏振光譜測(cè)量方法通過(guò)改變方位角，可獲取待測(cè)結(jié)構(gòu)更為豐富的光譜信息，且對(duì)套刻誤差方向性敏感，因而可實(shí)現(xiàn)更為靈敏的納米測(cè)量。本學(xué)位論文開(kāi)展的研究，將有助于納米結(jié)構(gòu)基于散射光譜測(cè)量法中快速、精確光學(xué)特性建模計(jì)算。關(guān)鍵詞：嚴(yán)格耦合波分析，納米結(jié)構(gòu)，光學(xué)散射，建模，仿真，收斂級(jí)次，靈敏度I華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractTheopticalcriticaldimension(OCD)metrology,alsocalledscatterome
7、try,isoneofthewell-knownopticaltechniquesthathasgainedconsiderableinterestintheindustrialenvironmentbecauseitisfast,noncontact,nondestructive,andoflow-cost,comparedtoothertechniques.Currently,therigorouscoupled-waveanalysis(RCWA)methodhasbeenwidelyusedinOCDmet
8、rologyfortheopticalmodelingofperiodicstructures.ThisthesisinvestigatestheimplementationofRCWA,aswellasitsapplicationinOCDmetrology.TheprincipleandimplementationofRCWAisintroducedfo
