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《電沉積并硫化合成feslt2gt薄膜制備工藝及光電性能》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、浙扛大學(xué)碩士學(xué)位論文縷玲:電沉積并硫化合成FeS2薄膜制備工藝及光電性能摘要立方晶系的FeS2(pyrite)是一種具有合適禁帶寬度(RmO.95eV)和較高光吸收系數(shù)(L一<700nm時,o侈>5x105cm‘1)的半導(dǎo)體材料,其組元元素儲量十分豐富、無毒,環(huán)境相容性好,而且在制備太陽電池時可以以薄膜形式使用,成本較低,與已有半導(dǎo)體材孝斗相比,是一種較有研究價值的太陽能電池材料。本文采用恒流電沉積及氧化處理制備Fe30a先驅(qū)體,再經(jīng)熱硫化退火使先驅(qū)膜轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑eS2薄膜的方法,研究了硫化時間、壓力、溫度等硫化參數(shù)對薄膜組織結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。主要研究結(jié)果如下:采用N
2、a2S203和FeS04水溶液電沉積200。C熱處理,可以制備多孔Fe304薄膜。在4004C硫化2h即有形成FeS2的反應(yīng)發(fā)生。硫化時間較短時,F(xiàn)eS2薄膜基體保持先驅(qū)膜的多孔形態(tài)。隨硫化時間延長,F(xiàn)eS2晶體生長進(jìn)一步完善,晶粒持續(xù)長大而晶格常數(shù)減小,先驅(qū)膜多孔遺傳形態(tài)漸趨不明顯,薄膜的光吸收系數(shù)、電阻率和載流子濃度升高。當(dāng)硫化時間超過10h后,電學(xué)性能變化不明顯。400。C硫化20h時,較低的硫化壓力易導(dǎo)致硫化反應(yīng)不充分,薄膜組織中Fe304和FeS2共存,較高的硫化壓力易導(dǎo)致基底膜層同時被硫化。當(dāng)硫化壓力高于20kPa時,F(xiàn)e304先驅(qū)膜可充分轉(zhuǎn)變成具有細(xì)小晶粒形
3、態(tài)的FeS2,薄膜形態(tài)也由多孔疏松演變?yōu)榫鶆蚱秸A蚧瘔毫Φ淖兓梢詫?dǎo)致相變微觀應(yīng)力、點缺陷數(shù)量的變化,有可能造成薄膜幾何連續(xù)性及缺陷能級分布的變化,結(jié)果導(dǎo)致了在40kPa硫壓條件下FeS2薄膜的光吸收系數(shù)出現(xiàn)極小值。能明顯發(fā)生FeS2合成反應(yīng)的溫度為300。C,溫度超過400’C可使反應(yīng)更為充分。然而,過商的硫化溫度也會產(chǎn)生一些不利影響,如500。C易造成基底的硫化,600"C易造成晶粒的粗化。隨硫化溫度升高,薄膜的結(jié)晶性能得到改善,薄膜的先驅(qū)體形態(tài)逐步消失,并表現(xiàn)出明顯的顆粒狀形貌。晶粒尺寸隨硫化溫度的升高而增大。FeS2晶格常數(shù)在500℃硫化時趨近標(biāo)準(zhǔn)值并且薄膜表現(xiàn)
4、出最大的光吸收系數(shù)。薄膜的電阻率隨硫化溫度的升高而增大,而載流子濃度的變化卻與此相反。關(guān)鍵詞:FeS2薄膜,電沉積,硫化參數(shù),組織結(jié)構(gòu),光電性能羔鬯塑璧主蘭堡笙苧堡笙!皇堡塑塹墮垡魚墮壁墜墮墮型墨三堇些堂皇堡璧A(chǔ)bstractTheironp蜘te(FeS2)withcubiccrystalstructurehasattractedconsiderableattentionasapotentialcandidatefortheabsorbermaterialsforphotovoltaicapplicationsorthin-filmsolarcellsduetoitsh
5、ighabsorptioncoefficient(a一>5x105cm。1as九≤700腳1andsuitableenergybandgap(Eg-O.95ev).MoreoveLtheconstituentcomponentsofFeS2areabundan%cheapandnon-toxic。Intheinvestigation,theprecursiveFe304filmswerepreparedbyconstantcurrentelectrodepositingandoxidationtreating.ThepolycrystallineFeS2filmswere
6、obtmnedbyannealingtheFe304insulfurizingatmosphere.Theeffectsofthesulfidationparameters,suchastemperature,timeandsulfurvaporpressure,OnthemicrostructureandphotoelectricalcharacteristicsofFeS2thinfilmswereinvestigated.Someresearchresultswereobtainedasfollows:ThepolyporousFe304filmsCanbeobta
7、inedbyelectrodepositingintheaqueoussolutionofNa2S203andFeS04andannealingat200+C.ThereactiontransformedfromFe304tOFeS2occnrsundertheconditionofsulfarizingat400。Conlyfor2h.TheFeS2thinfilmspreparedbysulfin'izingtheprecursiveFe304filmsforashorterperiodshowapolyporousmor