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《feptblt4gtc納米復(fù)合多層薄膜的制備與表征》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、摘要本文采用磁控濺射方法制各了適用于硬磁盤存儲的FePt，B#納米復(fù)合多層薄膜，利用FePt的磁性及B。C的非磁性、良好的機械性及自潤滑性，將硬磁盤制造中的三層工藝減少為一層，具有良好的應(yīng)用前景。并利用振動樣品磁強計、x射線衍射儀、x光電子能譜儀、磁力顯微鏡、透射電子顯微鏡、納牛力學(xué)探針等分析手段，研究了樣品隨Fe儼t原子的比例、退火溫度、B4c的摻雜量、循環(huán)單層的結(jié)構(gòu)、循環(huán)單層中FePt的含量對樣品磁性能的影響以及B4C的含量對樣品硬度的影響。實驗結(jié)果表明，若使用制備態(tài)一退火工藝，其它工藝參數(shù)一定時，F(xiàn)e／Pt的濺射時間比為7：1時原子比最佳，矯頑力最大；退火溫度為500
2、℃時矯頑力的大小比較合適；B4C的濺射時間為100S時樣品的矯頑力最大并在大于200s后逐漸趨于定值，即B4c到達一定厚度后會阻礙退火過程中Fe／Pt原子的擴散，形成明顯的分層結(jié)構(gòu)；Fe／Pm徊4C結(jié)構(gòu)比F叩佃4C結(jié)構(gòu)更能使Fe／Pt原子混合均勻，得到更大的矯頑力；單循環(huán)層中FePt層越厚得到的矯頑力越大；薄膜的硬度隨B。C的含量單調(diào)增大。若使用原位加溫500℃工藝，同樣發(fā)現(xiàn)Fc／Pt的濺射時問比為7：1時原子比最佳：薄膜的矯頑力隨FePt層及B。C層的厚度均增加；薄膜的硬度隨B。C的含量線性單調(diào)增大。由此可見，無論在哪種工藝條件下。通過調(diào)節(jié)FePt層的厚度以及調(diào)節(jié)B4C層
3、的厚度可以調(diào)節(jié)薄膜的矯頑力大小以及薄膜的硬度，選取合適的參數(shù)可以滿足實際生產(chǎn)中硬磁盤存儲的需要。進一步優(yōu)化工藝以及在工藝上的繼續(xù)探索，相信FcP佃。c納米復(fù)合多層薄膜會是一種非常有實用價值和發(fā)展?jié)摿Φ募夹g(shù)。關(guān)鍵詞：磁控濺射FeP佃。C薄膜矯頑力硬度AbstI甚ctInthisresearch，themethodOfmagnetronsputteringsystemhasbeenusedtopfeparenaIlo-multilayerFcP佃；4Cthinfilmwhichusedinharddiskstorage．Thestudywhichutilizedthcma弘et
4、ismofFePtandmenon-magnetism，900dmechanismandself-lubricatiOnofB4C，reducetllelayersinharddiskmanufacturefromtllreet0one，haVegoodpotcntialinapplication．T11esamplehavestudiedontheratioofFB／Ptatoms，annealingtemperatIlfe，contentofB4C，st九lctureofsin出ecyclelayer，innuenceofma印etismbyFePtcontentins
5、in出ecyde1ayerandinnuenceofhardnessbyB4Ccontentbyseveralanal”icalmethods，suchasVSM，Ⅺm，XPS，MFMandNANOINDENTER．Hereisollrresults．Ifweuseas—deposjted—allIleaJingtechnology，thesputtertimeofFe／Ptat7：1isthebestwhenOtherpar鋤etefsconstantly，thecoerdVityisthehi曲estinthatcase；CoerciVity麗llbeappropria
6、teinapplicationwhen砌ealingtemperatureis500℃；coerdVityisthehi曲estwhcnspunertimeofB4cis100s柚dtendtoaconstantafter2(燧，whichmeansacenenkindofttlicknessofB4Clayerwouldblockthedif￡llseofFe，壬'tatomsinannealingpmcessfredy’becomeanobviouss印arateIayerstnlcn】re；ThestmctIlreofFe／Pt，11e／B4Cwouldgetmore
7、unifo加F色／Ptatomsandh嚕hercoercivitythanF啦臼，B4C；More也ickefFePtinSin酎ecydelaycrcouldgethigllefcoerciv醇Hardness0f塒msinc鼻朗sewith助C’scontentraised．Ifwckc印subst眥etempefatureat500℃duringdeposition，alsofindnlespu滟rtimeofFe冊at7：1ismebcsf；C0erdvityincrcase謝fhbotllFePt柚dB
