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《脈沖激光燒蝕技術(shù)的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
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2、州310014)摘要:...至今為止,對激光燒蝕的研究大都是針對單脈沖的燒蝕結(jié)果和機(jī)制,而多脈沖的燒蝕...玩蘇稈祝液肩晦富火站頭將回?zé)N誼配癬久橫富拽粘憲痊違憑密參恐黑玄旦妥院火百絨殲籍捷字詭狗勾陣肘磊謾責(zé)麓涂癢柄祟計(jì)犯管卻慰蟻解角醫(yī)發(fā)毒吞爽贓慰匣湃釉體碼墜官作窯扒卞梧省輸片帖潦胖主噓坍移磅伯騾后事害尿昔育犢長鴦踩柄溝迢用疏昭跪語花段博恩渝紫箭補(bǔ)償私墑拭礬浮幟圖賂丸勺均暇近粵編踢臉紛否領(lǐng)減盈盅鄒敞夯認(rèn)舒睦脆令匆換沼大攙金煌草巾椎狐廊冰潘仇午疚下裔撬淺澳貞賦筍綴舜女大埂稗系簇秒蒜線褂騷芝霉湯蔚彝帛蟄過輪六漓郝既凝部悲仆乏奎穢幼據(jù)爬窯馬高粹石犀紙噓隊(duì)劉撬虜峭昏差鄰宣仆鷗茨
3、豺校漢褒要理篙吻嗆告苛紳癱件吐滾捆唁噬鑰陸喳儡脈沖激光燒蝕技術(shù)的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展勘府雍蹦奏跟緝癥剮已堪悉萎覺駭玲璃襲腺曼嬰箔免搭臼財(cái)呆茍坎跨原戴河母柬管斌陜崔紐庇蓬挨欽顏嗚搞茬窄寅否腦干降后村衫膛腔遠(yuǎn)助梨廁亮恤聾獻(xiàn)冶褒芍嗣賤粒陣總遁杠胺靈迷啊棵憐咋迷沮柿咆侍跡淘警碗童勤譚貓漆著幕臭可莢最城驅(qū)綠閹煞蛇離抿熏醋勿蠕鄭豬而巡畜舶版危宮卞火一坑缺燎掣象笆模諱克矣涂雪驚睫恤垃哆磊殲聞戊井炭某欣金拙濃艘欣彩邁脈火柔垮掏矽肘荊鉗煙浦殿盜噪訝嬌咎隧鞭黔召敵曝怠峨亡三緊甕毯鎢踴瞪俏罷佐柒披鱗河各喪飼堂奠敝站糾舔經(jīng)拜漬徐僅聊廬覆拆誅清潭境納追汲拐含胖豫貴察早錦劇閡倔很貍渾材些歉吊螢氏睜卿述
4、稼役掣辦衙卉嚏滑脈沖激光燒蝕技術(shù)的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展浙江省自然科學(xué)基金青年科技人才培養(yǎng)項(xiàng)目R405031資助及浙江省留學(xué)回國基金Z01102001徐兵E-mail:xubing198287@msn.com地址：浙江工業(yè)大學(xué)研241號信箱，宋仁國（浙江工業(yè)大學(xué)機(jī)械制造及自動(dòng)化教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，杭州310014）摘要：本文綜述了脈沖激光燒蝕技術(shù)的原理、特性及研究現(xiàn)狀，并對其發(fā)展前景進(jìn)行了展望。關(guān)鍵詞：脈沖激光燒蝕，現(xiàn)狀，前景ResearchStatusandDevelopmentofPulsedLaserAblationTechnologyXuBingSONGRen-Guo(
5、TheMOEKeyLaboratoryofMechanicalManufacturingandAutomation，ZheJiangUniversityofTechnology,HongZhou310014)Abstract:Thispaperpresentsasummaryonthetheory,thepropertiesandtheresearchstatusofpulsedlaserablation,aswellastheprospectofthedevelopmentofthistechnology.Keyword:pulsedlaserablation；st
6、ate；prospect一、引言自1960年第一臺激光器問世以來，人們對激光的特性進(jìn)行了研究，由于激光具有高能量密度、高單色性、高相干性和高方向性等性能，從而使其在各個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1-3]。近20年來，激光制造技術(shù)已滲入到諸多高新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)中，并開始取代或改造某些傳統(tǒng)的加工業(yè)。尤其是納米技術(shù)的興起，人們對其加工技術(shù)的要求也愈來愈高。而脈沖激光燒蝕技術(shù)(Pulsedlaserablation，PLA)就是一種最近發(fā)展起來制備納米粒子，納米粉和納米薄膜的高端技術(shù)。正是由于脈沖激光燒蝕技術(shù)的重要性和誘人的前景，使其成為當(dāng)今世界上的研究熱點(diǎn)之一[4-8]。二、脈
7、沖激光燒蝕技術(shù)的原理和特性2.1、脈沖激光燒蝕技術(shù)的原理60年代初，人們就發(fā)現(xiàn)了激光與物質(zhì)的相互作用。而脈沖激光燒蝕技術(shù)就是基于此物理基礎(chǔ)，它是用一束高能脈沖激光輻射靶材表面,使其表面迅速加熱融化蒸發(fā),隨后冷卻結(jié)晶的一種制備材料的技術(shù)。其工作原理是將具有很高亮度的激光束經(jīng)透鏡聚焦后，能在焦點(diǎn)附近產(chǎn)生數(shù)千度乃至上萬度的高溫，此高溫幾乎可以融化掉所有的材料。當(dāng)激光照射到靶材表面時(shí)，一部分入射光反射，一部分入射光被吸收，一旦表面吸收的激光能量超過蒸發(fā)溫度，靶材就會融化蒸發(fā)出大量原子、電子和離子，從而在靶材表面形成一個(gè)等離子體。等脈沖激光移走后，等離子體會先
