復(fù)合式mems微夾持器的研究

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1、哈爾濱工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄摘要.........................................................................................................................IAbstract............................................................................................................

2、..........II第1章緒論...............................................................................................................11.1研究的目的和意義...........................................................................................11.2國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀.............

3、..................................................................................11.2.1探針式微作業(yè)工具....................................................................................21.2.2真空吸附式作業(yè)工具............................................................

4、....................31.2.3微夾持器...................................................................................................41.3課題來源..........................................................................................................81.4課題的主要研究?jī)?nèi)

5、容.......................................................................................8第2章基于復(fù)合驅(qū)動(dòng)的微構(gòu)件操作方法研究......................................................102.1引言......................................................................................

6、..........................102.2微操作中的尺度效應(yīng).....................................................................................102.2.1粘著現(xiàn)象分析.........................................................................................102.2.2微操作中粘著力..............

7、........................................................................112.2.3粘著力的減弱與克服..............................................................................132.2.4尺度效應(yīng)下作業(yè)工具設(shè)計(jì)原則..............................................................152.3復(fù)合

8、驅(qū)動(dòng)微操作方法.....................................................................................152.3.1總體方案設(shè)計(jì).........................................................................................152.3.2微夾持器操作力學(xué)模型建立..

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