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《氧化銅-鋯復(fù)合膜的制備與性能表征研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、南京理工大學(xué)碩士學(xué)位論文氧化銅-鋯復(fù)合膜的制備與性能表征研究姓名：崔慶華申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：軍事化學(xué)與煙火技術(shù)指導(dǎo)教師：沈瑞琪20070601摘要本文采用金屬zr靶和CuO陶瓷靶，利用磁控濺射法制備了zr薄膜和CuO薄膜，研究了不同工藝條件對薄膜質(zhì)量性能和制備薄膜的沉積速率的影響，得到了zr薄膜和CuO薄膜的最佳制備工藝條件。利用掃描電子顯微鏡(sEM)、能譜分析(EDs)、X射線衍射儀(XKD)等分析手段對薄膜的微觀形貌、成分和相組成進行了研究，結(jié)果表明制各的薄膜光滑致密，成分和靶材基本一致．薄膜均為晶相結(jié)構(gòu)。在最佳工藝條件下制備了zr
2、薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr復(fù)合膜，并對薄膜進行了光聲光譜的檢測和分析。結(jié)果表明zr薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr復(fù)合膜的光聲波譜的波形基本上一樣。先出現(xiàn)一個負峰，然后出現(xiàn)一個正峰。隨著入射激光束能量的升高，同種薄膜的光聲波譜的峰值增大。在相同入射激光束能量下，CuO薄膜的光聲波譜的峰值大于Zr薄膜的：CuO-Zr復(fù)合膜的光聲波譜的峰值大于zr薄膜和CuO薄膜的，峰值間的差值為zr和CuO之問發(fā)生的氧化還原反應(yīng)產(chǎn)生的熱量所致。關(guān)鍵詞：磁控濺射復(fù)合膜光聲光譜反應(yīng)性光聲譜ABSTRACTThisthesisisattemptingtoprove
3、thatthebestpreparationconditionshavebeenachievedfromtheexperimentsontheeffectsofthedifferentoperatingconditionsOntheperformaneesofthefilmsanddepositionrate．TheseexperimentsadoptedmetallicZrtargetandceramicCuOtargettopreparezrfilmsandCuOfilmsbymeansofmagnetronsputtering．Them
4、orphology,chemicalcompositionandphaseconstitutionofthepreparedfilmswereanalyzedthroughSEM．EDSandXRD．Tberesultsshowthatthefilmsweresmooth,thatthechemicaleompositiunsofthefilmsWerebasic．a(chǎn)Uythe愛蚰easthoseofthetargets．a(chǎn)ndthattbefilmswgqrecrystal．111cphotoacousticspectrumsofZrfil
5、ms。CuOfilmsandCuO-Zrfilmswhich、黼preparedunderthebestpreparationconditions，wereexaminedandanalyzed．ⅡleresultsshowthatthephotoacoustiespectrumsofthesefilmsWerebasicallythesa．tnewithanegativewavecrestcomingfirstandthenapositiveone．Forthesamefilm，thepeakvalueofthephotoaenusties
6、pectrumlosewiththeincreaseofthelaserenergy．ExposedtOthesanleamountoflasererlergy,thepeal【valueoftheCuOfilmWasgreaterthanthatoftheZrftlm,andthepeal【valueoftheCuO-Zrfilmwasgreaterthanthatofthesinglefilm。Thedifferencesofthepeakvalueswereprovedtoberesultingfromtheebemiealreacti
7、onheatbetweentheZrfilmandtheCuO6lm．Keyword：magnetronsputtering,compoundti／m,photoacoustiespectrum,reactivityphotoacoustiespl∞tl'umⅡ聲明本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，在本學(xué)位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的材料。與我一同工作的同事對本學(xué)位論文做出的貢獻均已在論文中作了明確的說明。研究生簽名：年月日學(xué)
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